一種改進(jìn)的硅片鏟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造涉及一種改進(jìn)的硅片鏟。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體單晶硅晶圓硅片生產(chǎn)線的優(yōu)良率是降低制造成本的關(guān)鍵，其中大部分的操作都是由設(shè)備完成的，而硅片的下載純屬人工操作，由于該工序其直接影響產(chǎn)品的優(yōu)良率，因此是一個(gè)相對(duì)重要的環(huán)節(jié)。進(jìn)而，下載硅片的工具(硅片鏟)也顯得尤為重要。在實(shí)際生產(chǎn)中，硅片鏟的材質(zhì)跟構(gòu)造以及員工的操作是否規(guī)范等直接可以導(dǎo)致拋光后硅片折斷、崩邊、蹭傷等問(wèn)題，從而直接影響產(chǎn)品的優(yōu)良率。因此在員工操作規(guī)范的情況下，硅片產(chǎn)的材質(zhì)跟構(gòu)造可直接影響產(chǎn)品的優(yōu)良率。
[0003]硅片鏟的構(gòu)造主要分為鏟柄跟鏟芯。對(duì)鏟柄的材質(zhì)跟構(gòu)造沒(méi)有過(guò)高的要求，而鏟芯的材質(zhì)可直接影響硅片拋光后的良率，如果鏟芯的材質(zhì)跟構(gòu)造不合理，可直接導(dǎo)致拋光后硅片崩邊，甚至折斷?，F(xiàn)在硅片鏟鏟芯的主要材質(zhì)為乙烯基的聚合物質(zhì)是一種非結(jié)晶性材料，使用非常廣泛，經(jīng)過(guò)加入穩(wěn)定劑、潤(rùn)滑劑、色劑等等；使其具有穩(wěn)定性、不易燃性等等。但是乙烯基的聚合物質(zhì)的特點(diǎn)有:力學(xué)性能優(yōu)良、耐酸堿、化學(xué)穩(wěn)定性好、軟化點(diǎn)低。就是因?yàn)槠滠浕c(diǎn)低，當(dāng)硅片鏟的鏟芯在接觸高硬度的硅片時(shí)容易磨損、變鈍等等。目前的硅片鏟伊柄長(zhǎng)約14cm,纟產(chǎn)芯長(zhǎng)約5cm。鑲?cè)腈a(chǎn)柄約2cm并固定,纟產(chǎn)芯寬約3cm,纟產(chǎn)芯外端加工成為鋒利的平面，規(guī)格單一，對(duì)于不同規(guī)格的硅片使用效果不佳。另外，如圖3和圖4所示，現(xiàn)在的鏟芯的構(gòu)造是一邊鋒利，將不鋒利的一面鑲嵌在鏟柄內(nèi)，中間用兩個(gè)螺絲固定。這種鏟芯的的鋒利面如果損壞后便需要更換新的鏟芯，不利于節(jié)約成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明創(chuàng)造要解決的問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種改進(jìn)的硅片鏟。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是:一種改進(jìn)的硅片鏟，包括鏟柄I和鏟芯2，鏟芯2通過(guò)連接螺栓3鑲嵌在鏟柄I的一端，所述鏟芯2為長(zhǎng)方形鏟芯，鏟芯2的中間與鏟柄I垂直的方向上并排設(shè)置有兩個(gè)通孔4，所述鏟芯2通過(guò)所述通孔4與所述鏟柄I固定且鏟芯2與鏟柄I垂直的兩個(gè)面均是鋒利面。
[0006]優(yōu)選地，所述鏟芯2是由乙烯-四氟乙烯共聚物制作而成的。
[0007]本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:該硅片鏟在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上，對(duì)鏟芯的結(jié)構(gòu)和材質(zhì)進(jìn)行了改進(jìn)，具有高耐磨性、韌性好、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，尤其克服了原有硅片鏟在接觸高硬度的硅片時(shí)容易磨損、變鈍等問(wèn)題，降低了輔料的消耗，提高了硅片質(zhì)量的優(yōu)良率，并降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造的硅片鏟的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2是本發(fā)明創(chuàng)造的硅片鏟中鏟芯的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖3是現(xiàn)有的硅片鏟的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖4是現(xiàn)有的硅片鏟的結(jié)構(gòu)中鏟芯的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]本發(fā)明創(chuàng)造公開(kāi)了一種改進(jìn)的硅片鏟，如圖1和圖2所示，包括鏟柄I和鏟芯2，鏟芯2的中間且與鏟柄I垂直的方向上并排設(shè)置有兩個(gè)通孔4，連接螺栓3穿過(guò)鏟芯2的通孔4鑲嵌在鏟柄I的一端，鏟芯2為長(zhǎng)方形鏟芯，且鏟芯2與鏟柄I垂直的兩個(gè)面均是鋒利面。鏟芯2的主要材質(zhì)優(yōu)選乙烯-四氟乙烯共聚物，該樹(shù)脂是很堅(jiān)韌的氟聚合物，具有耐熱、抗滑動(dòng)性、抗化學(xué)性、高耐磨損性、高韌性等優(yōu)點(diǎn)。
[0013]現(xiàn)在的鏟芯的構(gòu)造是一邊鋒利，將不鋒利的一面鑲嵌在鏟柄內(nèi)，在不鋒利的一面的中間用兩個(gè)螺絲固定。本發(fā)明創(chuàng)造將鏟芯的兩面都加工成鋒利的，并根據(jù)鏟芯的大小設(shè)計(jì)合理的鏟柄，在使用過(guò)程中，如果鏟芯的一面用壞后，還可以用另一面，達(dá)到了一個(gè)鏟芯兩次使用的效果，節(jié)約了成本。
[0014]除此之外，本發(fā)明創(chuàng)造的硅片鏟還可以根據(jù)使用過(guò)程中的而不同需求做成適于應(yīng)用的不同尺寸的鏟芯和鏟柄，發(fā)揮其最優(yōu)的使用效果。
[0015]以上對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改進(jìn)的硅片鏟，包括鏟柄(I)和鏟芯(2)，鏟芯(2)通過(guò)連接螺栓(3)鑲嵌在鏟柄(I)的一端，其特征在于:所述鏟芯(2)為長(zhǎng)方形鏟芯，鏟芯(2)的中間與鏟柄(I)垂直的方向上并排設(shè)置有兩個(gè)通孔(4)，所述鏟芯(2)通過(guò)所述通孔(4)與所述鏟柄(I)固定，且鏟芯(2)與鏟柄(I)垂直的兩個(gè)面均是鋒利面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片鏟，其特征在于:所述鏟芯(2)是由乙烯-四氟乙烯共聚物制作而成的。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種改進(jìn)的硅片鏟，包括鏟柄和鏟芯，鏟芯通過(guò)連接螺栓鑲嵌在鏟柄的一端，其特征在于：所述鏟芯為長(zhǎng)方形鏟芯，鏟芯的中間與鏟柄垂直的方向并排設(shè)置有兩個(gè)連接通孔，且鏟芯與鏟柄垂直的兩個(gè)面均是鋒利面。該硅片鏟在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上，對(duì)鏟芯的結(jié)構(gòu)和材質(zhì)進(jìn)行了改進(jìn)，具有高耐磨性、韌性好、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，尤其克服了原有硅片鏟在接觸高硬度的硅片時(shí)容易磨損、變鈍等問(wèn)題，降低了輔料的消耗，提高了硅片質(zhì)量的優(yōu)良率，并降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】B28D5-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104690839
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310661019
【發(fā)明人】武衛(wèi), 閆繼增, 王力, 石明, 孫晨光
【申請(qǐng)人】天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2013年12月5日