專利名稱：基板用收納容器以及輸送該基板用收納容器的輸送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板用收納容器以及輸送該基板用收納容器的輸送設(shè)備，所述基板用 收納容器構(gòu)成為具備容器主體，該容器主體具備基板收納空間，該基板收納空間能夠以使 多張基板在上下方向上隔開間隔地排列的狀態(tài)收納所述基板；和風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，其向上述 容器主體的上述基板收納空間供給清潔空氣，上述容器主體在其側(cè)部形成有用于使上述基 板出入的出入口和用于將由上述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組供給的清潔空氣供給至上述基板收納空間 的供氣口。
背景技術(shù)：
所述基板用收納容器在收納液晶顯示器或等離子顯示器所使用的玻璃基板等基 板時(shí)使用，構(gòu)成為能夠以使多張基板在上下方向上隔開間隔地排列的層疊狀態(tài)將所述基板 收納于基板收納空間。進(jìn)而，在將玻璃基板等要求高清潔度的基板收納于基板用收納容器 的情況下，使用使得基板用收納容器的基板收納空間的清潔度比外部清潔度高的局部清潔 技術(shù)。即，構(gòu)成為將容器主體形成為在上下左右具備側(cè)壁的筒狀，并以與形成于其前后方向 的一側(cè)部的供氣口對(duì)置的狀態(tài)設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組(FFU)，利用風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組將清潔空氣供 給到基板收納空間。進(jìn)而，通過這樣將清潔空氣供給到基板收納空間而在基板收納空間中 形成沿著基板的氣流，從而將基板收納空間的清潔度維持得較高，以防止塵埃附著于基板。在這種基板用收納容器中，以往風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組裝配于FFU用框體，該FFU用框體以 能夠相對(duì)于筒狀的容器主體分離/結(jié)合的方式安裝于筒狀的容器主體。即，在清洗基板用 收納容器的情況下，由于在FFU用框體中裝配有包含電裝部件的風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，因此，無法 利用水溶液等液體清洗，因此使容器主體從FFU用框體分離而僅清洗容器主體(例如參照 專利文獻(xiàn)1。)。進(jìn)而，F(xiàn)FU用框體以風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組與供氣口對(duì)置的方式安裝于容器主體，其形狀在 側(cè)面觀察時(shí)形成為I字狀(在上下方向較長地延伸的形狀)。并且，對(duì)FFU用框體相對(duì)于容器主體的安裝加以說明，使FFU用框體的下端部從上 方側(cè)卡合于在容器主體的下端部設(shè)置的卡合支承板，并且使設(shè)置于FFU用框體的上端部的 卡合部件從上方側(cè)卡合于容器主體的上端部，從而使FFU用框體結(jié)合于容器主體，在使容 器主體從FFU用框體分離的情況下，使FFU用框體相對(duì)于容器主體向上方側(cè)移動(dòng)，來使容器 主體從FFU用框體分離。專利文獻(xiàn)1日本特開2008-094494號(hào)公報(bào)(第“0054”段、圖15)在上述現(xiàn)有的基板用收納容器中，由于FFU用框體的側(cè)面觀察時(shí)的形狀形成為I 字狀(在上下方向較長地延伸的形狀)，因此FFU用框體單體的穩(wěn)定性差，容易傾倒，因此， 難以使容器主體的分離自動(dòng)化。若加以說明，可以考慮到在使容器主體從FFU用框體分離的情況下，通過在支承 FFU用框體的下表面的狀態(tài)下抬起FFU用框體，從而使容器主體從FFU用框體分離，但由于 FFU用框體的側(cè)面觀察時(shí)的形狀為I字狀，單體的穩(wěn)定性差，因此，在分離時(shí)FFU用框體有可能傾倒。這樣，由于在使容器主體從FFU用框體分離時(shí)，F(xiàn)FU用框體有可能傾倒，所以難以 使該分離的作業(yè)自動(dòng)化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述實(shí)際情況而完成的，其目的在于提供容易使容器主體的分離 自動(dòng)化的基板用收納容器。本發(fā)明的基板用收納容器具備容器主體，該容器主體具備基板收納空間，該基板 收納空間能夠以使多張基板在上下方向上隔開間隔地排列的狀態(tài)收納所述基板；和風(fēng)機(jī)過 濾機(jī)組，其向上述容器主體的上述基板收納空間供給清潔空氣，這里，上述容器主體在其側(cè) 部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于將由上述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組供給的清潔空氣供 給至上述基板收納空間的供氣口。能夠載置支承上述容器主體的載置支承部件構(gòu)成為具 備載置支承上述容器主體的支承部分；以及裝配部分，該裝配部分以在由該支承部分載 置支承上述容器主體的狀態(tài)下使上述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組位于與上述供氣口對(duì)置的位置的方式 裝配有上述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，在上述支承部分形成有開口部，從該開口部能夠在上下方向插 入和取出承接支承體，上述容器主體構(gòu)成為，在上述容器主體的下部由插入上述開口部中 的上述承接支承體承接支承的狀態(tài)下，上述容器主體能夠相對(duì)于上述載置支承部件向上方 側(cè)分離。S卩，構(gòu)成為以與供氣口對(duì)置的狀態(tài)設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，利用風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組將清潔 空氣供給到基板收納空間。通過這樣將清潔空氣供給到基板收納空間以在基板收納空間中 形成沿著基板的氣流，從而較高地維持基板收納空間的清潔度，防止塵埃附著于基板。進(jìn)而，在將容器主體載置支承于載置支承部件的支承部分以使容器主體與載置支 承部件結(jié)合的狀態(tài)下，將承接支承體從下方側(cè)插入開口部，由此，在由該插入的承接支承體 承接支承容器主體的下部的狀態(tài)下，使容器主體相對(duì)于載置支承部件相對(duì)地抬起，從而能 夠使容器主體相對(duì)于載置支承部件向上方側(cè)分離。載置支承部件構(gòu)成為具備裝配有風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的裝配部分和用于載置支承容器 主體的支承部分，作為載置支承部件的在橫向側(cè)面觀察時(shí)的形狀，能夠利用裝配部分的I 字狀的部分(在上下方向較長地延伸的部分)和支承部分的一字狀的部分(在水平方向較 長地延伸的部分)整體形成為L字狀，因此，在使容器主體從載置支承部件分離時(shí)，通過支 承用于載置支承容器主體的支承部分，從而能夠一體地支承裝配有風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的裝配部 分。由此，能夠以大的面積穩(wěn)定性良好地支承包括裝配部分在內(nèi)的載置支承部件，因此，在 使容器主體相對(duì)于載置支承部件分離時(shí)，裝配部分不易傾倒，容易使容器主體的分離自動(dòng) 化。因此，能夠提供容易使容器主體的分離自動(dòng)化的基板用收納容器。在本發(fā)明的實(shí)施方式中，優(yōu)選上述載置支承部件的上述支承部分構(gòu)成為平板狀， 上述容器主體構(gòu)成為，其下部通過將多個(gè)框部件排列成格子狀而構(gòu)成，上述框部件由上述 承接支承體承接支承。S卩，容器主體的下部由于通過將多個(gè)框部件排列成格子狀而構(gòu)成因此開口，但由 于載置支承容器主體的載置支承部件的支承部分構(gòu)成為平板狀，所以在使容器主體載置支 承于載置支承部件的狀態(tài)下，能夠利用載置支承部件封閉容器主體的下部的開口。由此，通過將框部件排列成格子狀而構(gòu)成容器主體的下部，從而容器主體能夠?qū)崿F(xiàn)輕量化，同時(shí)在將容器主體載置支承于載置支承部件的狀態(tài)下，能夠封閉容器主體的下 部，容易利用所供給的清潔空氣在基板收納空間中形成沿著基板的氣流。并且，通過將載置 支承部件中的支承部分構(gòu)成為平板狀，從而，利用支承部分的重量化，使與裝配部分的重力 平衡成為能夠穩(wěn)定性更良好地支承載置支承部件的平衡。在本發(fā)明的實(shí)施方式中，優(yōu)選在上述載置支承部件上以由立起設(shè)置于上述載置支 承部件的出入口側(cè)的端部的一對(duì)支承用框部件支承的狀態(tài)裝配有間門裝置，該間門裝置具 備由電動(dòng)式馬達(dá)朝一個(gè)方向及相反方向被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)滾筒；以及卷繞于上述旋轉(zhuǎn)滾 筒且伴隨上述旋轉(zhuǎn)滾筒的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行送出操作和卷繞操作的薄片狀的門部分，該間門裝置對(duì) 上述容器主體的上述出入口進(jìn)行開閉，在上述間門裝置的下方且是上述一對(duì)支承用框部件 之間的位置形成有通過口，相對(duì)于上述載置支承部件向上方側(cè)分離后的上述容器主體能夠 沿著出入上述基板的方向通過該通過口。S卩，閘門裝置通過從旋轉(zhuǎn)滾筒送出門部分，從而能夠利用該送出的門部分關(guān)閉容 器主體的出入口，在這樣關(guān)閉出入口的狀態(tài)下，能夠防止塵埃從出入口侵入基板收納空間。 并且，間門裝置通過將門部分卷繞于旋轉(zhuǎn)滾筒，從而能夠打開容器主體的出入口，在這樣打 開出入口的狀態(tài)下，閘門裝置整體位于比通過口靠上方的位置，相對(duì)于載置支承部件向上 方側(cè)分離后的容器主體能夠沿著出入基板的方向通過通過口。進(jìn)而，由于具備電動(dòng)式馬達(dá)等的閘門裝置無法用水溶液等液體清洗，所以在清洗 基板用收納容器時(shí)，需要使閘門裝置從容器主體分離。根據(jù)本特征構(gòu)成，閘門裝置裝配于載 置支承部件，因此，通過使容器主體從載置支承部件分離，從而能夠使間門裝置從容器主體 分離，因此能夠容易地分離容器主體。并且，能夠通過形成于閘門裝置下方的通過口使容器主體移動(dòng)，所以與在閘門裝 置的上方移動(dòng)的情況相比，能夠抑制使容器主體從載置支承部件分離時(shí)容器主體向上方側(cè) 的移動(dòng)量，因此，在這點(diǎn)上也能夠容易地分離容器主體。在本發(fā)明的實(shí)施方式中，優(yōu)選上述支承部分具有覆蓋上述容器主體的底面整體的 大小。本發(fā)明的輸送設(shè)備是輸送基板用收納容器的設(shè)備，優(yōu)選該輸送設(shè)備設(shè)有中繼輸送 機(jī)構(gòu)，該中繼輸送機(jī)構(gòu)配設(shè)于輸送上述基板用收納容器的收納容器輸送機(jī)構(gòu)與輸送上述容 器主體的容器主體輸送機(jī)構(gòu)之間，從上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)接收上述基板用收納容器，并 使上述容器主體從上述載置支承部件分離，然后將該分離后的上述容器主體交接到上述容 器主體輸送機(jī)構(gòu)，上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，以上述載置支承部件中的上述支承部分 位于比上述裝配部分靠上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)所存在的一側(cè)的位置的狀態(tài)，將上述基板用 收納容器交接到上述中繼輸送機(jī)構(gòu)，上述中繼輸送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為具備第一支承體，其以載置 支承上述載置支承部件的狀態(tài)從上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)接收上述基板用收納容器；作為上 述承接支承體的第二支承體，其將上述容器主體載置輸送至水平方向的上述容器主體輸送 機(jī)構(gòu)所存在的一側(cè)而將上述容器主體交接到上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)；以及升降操作機(jī)構(gòu)， 其使上述第二支承體相對(duì)于上述第一支承體相對(duì)地升降移動(dòng)，上述第二支承體構(gòu)成為，利 用上述升降操作機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述第一支承體相對(duì)地升降移動(dòng)，由此，上述第二支承體能夠 在比載置支承于上述第一支承體的上述載置支承部件的載置面位于下方的非輸送狀態(tài)、和 從下方側(cè)插入于上述載置支承部件的上述開口部中而載置支承上述容器主體的上述下部以使上述容器主體從上述載置支承部件向上方側(cè)分離的輸送狀態(tài)之間進(jìn)行切換，并且，上 述第二支承體在上述輸送狀態(tài)下將上述容器主體交接至上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)。即，中繼輸送機(jī)構(gòu)在將載置支承部件載置支承于第一支承體的狀態(tài)下從收納容器 輸送機(jī)構(gòu)接收基板用收納容器，然后利用升降操作機(jī)構(gòu)使第二支承體相對(duì)于第一支承體相 對(duì)地上升移動(dòng)以將第二支承體從非輸送狀態(tài)切換至輸送狀態(tài)，由此，第二支承體從下方側(cè) 插入載置支承部件的開口部中，利用該插入的第二支承體載置支承容器主體的下部，從而 將容器主體從載置支承部件向上方側(cè)分離。然后，容器主體由第二支承體載置輸送至容器 主體輸送機(jī)構(gòu)所存在的一側(cè)而交接到容器主體輸送機(jī)構(gòu)。這樣，在輸送設(shè)備中，能夠使容器 主體從載置支承部件自動(dòng)地分離。在本發(fā)明的實(shí)施方式中，優(yōu)選該輸送設(shè)備設(shè)有使用液體對(duì)上述容器主體進(jìn)行清洗 的清洗裝置，上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，將從上述中繼輸送機(jī)構(gòu)接收的上述容器主體 輸送至上述清洗裝置。即，在利用清洗裝置清洗基板用收納容器的情況下，由于在載置支承部件中裝配 有風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，所以需要使容器主體從載置支承部件分離而僅清洗容器主體，但由于在 輸送設(shè)備中能夠自動(dòng)地使容器主體從載置支承部件分離，因此，不需要人為地使容器主體 從載置支承部件分離，能夠容易地僅清洗容器主體。


圖1是第一實(shí)施方式中的輸送設(shè)備的主視圖。圖2是第一實(shí)施方式中的基板用收納容器的結(jié)合立體圖。圖3是第一實(shí)施方式中的基板用收納容器的分解立體圖。圖4是第一實(shí)施方式中的容器主體的立體圖。圖5是第一實(shí)施方式中的載置支承部件的立體圖。圖6是第一實(shí)施方式中的基板用收納容器的分解作用圖。圖7是第一實(shí)施方式中的基板用收納容器的分解作用圖。圖8是第二實(shí)施方式中的基板用收納容器的結(jié)合立體圖。圖9是第二實(shí)施方式中的基板用收納容器的分解立體圖。標(biāo)號(hào)說明1 基板2基板用收納容器3容器主體4載置支承部件5風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組7收納容器輸送機(jī)構(gòu)8中繼輸送機(jī)構(gòu)9容器主體輸送機(jī)構(gòu)21 出入口22 供氣 口23a框部件
27支承部分28裝配部分31 開口部41第一支承體42第二支承體(承接支承體)43升降操作機(jī)構(gòu)46a支承用框部件47閘門裝置48旋轉(zhuǎn)滾筒49門部分50 通過口S基板收納空間W清洗裝置
具體實(shí)施例方式下面，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的基板用收納容器以及輸送該基板用收納容器的輸送設(shè) 備的實(shí)施方式進(jìn)行說明。這里，對(duì)多個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明，但一個(gè)實(shí)施方式的特征與其它實(shí) 施方式的特征的組合也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。[第一實(shí)施方式]首先，根據(jù)

本發(fā)明的第一實(shí)施方式。如圖1所示，輸送設(shè)備是輸送基板用收納容器2的設(shè)備。由該輸送設(shè)備輸送的基 板用收納容器2中，容器主體3和用于載置支承該容器主體3的載置支承部件4能夠分離 地構(gòu)成。進(jìn)而，在輸送設(shè)備中設(shè)置有輸送基板用收納容器2的作為收納容器輸送機(jī)構(gòu)的 堆裝起重機(jī)7 ；使基板用收納容器2中的容器主體3從載置支承部件4分離的中繼輸送機(jī) 構(gòu)8 ；以及輸送容器主體3的作為容器主體輸送機(jī)構(gòu)的輥式輸送器9，中繼輸送機(jī)構(gòu)8配設(shè) 于堆裝起重機(jī)7與輸送器9之間。堆裝起重機(jī)7構(gòu)成為，將從收納基板用收納容器2的收納架10取出的基板用收納 容器2交接到中繼輸送機(jī)構(gòu)8，并且將從中繼輸送機(jī)構(gòu)8接收的基板用收納容器2收納于收 納架10，從而在收納架10與中繼輸送機(jī)構(gòu)8之間輸送基板用收納容器2。收納架10具有 多個(gè)收納部，所述多個(gè)收納部形成有在上下方向上排列的多個(gè)列以及在水平方向上排列的 多個(gè)行。在一個(gè)收納部中收納一個(gè)基板用收納容器2。中繼輸送機(jī)構(gòu)8構(gòu)成為，從堆裝起重機(jī)7接收基板用收納容器2，并使容器主體3 從載置支承部件4分離，然后將該分離后的容器主體3交接至輸送器9，并且從輸送器9接 收容器主體3，并使該容器主體3與載置支承部件4結(jié)合，然后將基板用收納容器2交接至 堆裝起重機(jī)7，從而在堆裝起重機(jī)7與輸送器9之間輸送基板用收納容器2且使容器主體3 與載置支承部件4分離/結(jié)合。輸送器9構(gòu)成為，將從中繼輸送機(jī)構(gòu)8接收的容器主體3交接到對(duì)基板1或容器 主體3進(jìn)行處理的處理裝置11，并且將從處理裝置11接收的容器主體3交接到中繼輸送機(jī)8構(gòu)8，從而在中繼輸送機(jī)構(gòu)8與處理裝置11之間輸送容器主體3。并且，輸送設(shè)備設(shè)置于潔凈空間13，且設(shè)置有使清潔空氣從天花板部向地板部通 風(fēng)的下流式(down flow type)的清潔空氣通風(fēng)機(jī)構(gòu)14。該清潔空氣通風(fēng)機(jī)構(gòu)14中，構(gòu)成地板部的格柵地板15的下方空間與構(gòu)成天花板 部的空氣過濾器16的上方空間利用具備通風(fēng)風(fēng)扇17和預(yù)濾器18的循環(huán)路19連通，一邊 利用預(yù)濾器18(pre-filter)和空氣過濾器16使?jié)崈艨臻g13內(nèi)的空氣凈化一邊使其循環(huán)， 從而使清潔空氣從潔凈空間13的天花板部通向地板部。[基板用收納容器]如圖2和圖3所示，在輸送設(shè)備中輸送的基板用收納容器2構(gòu)成為具備容器主體 3，其具備基板收納空間S，該基板收納空間S能夠以使矩形的基板1在上下方向上隔開間隔 地排列的狀態(tài)收納多張基板1 ；風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5，其向容器主體3的基板收納空間S供給清 潔空氣；以及載置支承部件4，所述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5裝配于該載置支承部件4中，并且該載 置支承部件4載置支承容器主體3。風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5分別具備一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇以及一個(gè)或 多個(gè)過濾器，風(fēng)扇和過濾器通過一個(gè)或多個(gè)框架而單元化。如圖4所示，容器主體3構(gòu)成為，在其側(cè)部形成有用于使基板1出入的出入口 21 以及用于將由風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5供給的清潔空氣供給到基板收納空間S的供氣口 22。進(jìn)而， 出入口 21形成于容器主體3的前側(cè)部，供氣口 22形成于容器主體3的后側(cè)部，出入口 21 和供氣口 22以相互對(duì)置的方式形成。另外，圖4(a)表示從前方側(cè)左斜上方觀察的容器主 體3的立體圖，對(duì)容器主體3的一部分進(jìn)行剖切。并且，圖4(b)表示從后方側(cè)左斜下方觀 察的容器主體3的立體圖。對(duì)容器主體3加以說明，容器主體3構(gòu)筑四棱柱狀的框部件而形成主體框架23，該 主體框架23的上部和左右的橫側(cè)部被側(cè)板M封閉而形成為門形。這里，所謂門形是在前 后方向觀察時(shí)，由在一個(gè)橫側(cè)部與另一個(gè)橫側(cè)部中沿上下方向延伸的一對(duì)側(cè)部對(duì)、和在這 一對(duì)側(cè)板M的上端部分之間水平地延伸的側(cè)板M形成的形狀。進(jìn)而，容器主體3的前側(cè) 部未被側(cè)板M封閉，在該前側(cè)部形成有出入口 21。并且，容器主體3的后側(cè)部也未被側(cè)板 M封閉，在該后側(cè)部形成有供氣口 22。即，容器主體3的前側(cè)部始終處于開放從而打開的 狀態(tài)。容器主體3的下部通過將下部形成用的框部件23a排列成格子狀而構(gòu)成，由于未被 側(cè)板M封閉因而開口，但如圖2所示，在將容器主體3載置支承于載置支承部件4的狀態(tài) 下，由該載置支承部件4的支承部分27封閉。這里，所謂格子狀是指，沿一個(gè)方向延伸的多 個(gè)框部件23a適合地與沿著不同于所述一個(gè)方向的其它方向(優(yōu)選垂直方向)延伸的多個(gè) 框部件23a交叉。在各個(gè)交叉點(diǎn)，優(yōu)選交叉的框部件之間相對(duì)于彼此固定。另外，構(gòu)成下部 的下部形成用的框部件23a相當(dāng)于本申請(qǐng)中的構(gòu)成容器主體3的底部的多個(gè)框部件。如上 所述，優(yōu)選容器主體3的下部的大致整體(例如80%)處于開口狀態(tài)，但也可以利用封閉部 件堵塞容器主體3的下部的一部分。在該情況下，可以利用載置支承部件4的支承部分27 堵塞容器主體3的下部的未由封閉部件堵塞的部分、即容器主體3的下部中朝下方開口的 部分。g卩，容器主體3構(gòu)成為，從供氣口 22供給由風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5供給的清潔空氣，并使 清潔空氣在基板收納空間S內(nèi)從后方側(cè)通向前方側(cè)，且使清潔空氣從出入口 21排出。進(jìn)而， 通過使清潔空氣在基板收納空間S內(nèi)從后方側(cè)通向前方側(cè)，從而利用該氣流防止塵埃附著于基板1，并且，通過使清潔空氣從出入口 21排出，從而防止塵埃從出入口 21侵入基板收納 空間S。并且，在容器主體3中具備用于載置支承收納于基板收納空間S中的基板1的基 板支承體25，該基板支承體25支承于主體框架23。并且，基板支承體25根據(jù)沿上下方向 隔開間隔地排列的多張基板1的張數(shù)而在上下方向排列設(shè)置多個(gè)，多個(gè)基板支承體25分別 由在橫向排列的多根棒材構(gòu)成。這些棒材分別在容器主體3的前后方向水平地延伸。附帶 說一下，在容器主體3的內(nèi)部空間中形成有基板收納空間S。如圖5所示，載置支承部件4構(gòu)成為具備載置支承容器主體3的支承部分27 ；以 及裝配部分觀，該裝配部分觀以在由該支承部分27載置支承容器主體3的狀態(tài)下使風(fēng)機(jī) 過濾機(jī)組5位于與供氣口 22對(duì)置的位置的方式裝配風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5。另外，圖5 (a)是從前 方側(cè)左斜上方觀察的載置支承部件4的立體圖，圖5 (b)是從后方側(cè)左斜下方觀察的載置支 承部件4的立體圖。如圖2等所示，支承部分27的水平方向的寬度優(yōu)選與容器主體3的寬度方向的寬 度大致相同或比其大，支承部分27的前后方向的尺寸優(yōu)選與容器主體3的前后方向的尺寸 大致相同或比其大。這里，所謂“大致相同”是指適合地在5%的誤差以內(nèi)相同。因此，支承 部分27優(yōu)選具有覆蓋上述容器主體3的底面整體的大小，并且支承部分27優(yōu)選覆蓋上述 容器主體3的底面的至少50%。對(duì)載置支承部件4加以說明，載置支承部件4的支承部分27在俯視時(shí)呈矩形格子 狀地構(gòu)筑框部件而形成支承框架四，在該支承框架四上安裝底板30來構(gòu)成為平板狀。并 且，載置支承部件4的裝配部分觀以從支承部分27的后端部立起設(shè)置的狀態(tài)連結(jié)于支承 部分27，并且，風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5在以立起姿勢(shì)沿容器寬度方向排列的狀態(tài)下裝配有三臺(tái)。進(jìn) 而，載置支承部件4由側(cè)視時(shí)為一字狀(即在水平方向較長地延伸)的支承部分27和側(cè)視 時(shí)為I字狀(即在上下方向較長地延伸)的裝配部分觀形成為側(cè)視時(shí)為L字狀(即具有與 沿水平方向呈直線狀延伸的部分的端部連接的、沿垂直方向呈直線狀延伸的部分的形狀)。 另外，底板30以在寬度方向排列四張且在前后方向排列三行的方式安裝共計(jì)12張。在支承部分27中，以在排列的底板30的三行中分別形成在位于寬度方向兩端的 兩張底板30的形態(tài)，形成有開口部31，從該開口部31能夠在上下方向插入和取出后述的 升降式支承體42。這樣形成的開口部31在容器寬度方向隔開間隔地形成兩行，它們分別 形成為沿著容器前后方向的形狀。附帶說一下，載置支承部件4中的位于兩行開口部31之 間的部分由堆裝起重機(jī)7支承，開口部31的位于容器寬度方向外側(cè)的部分在收納于收納架 10時(shí)被支承。在裝配部分觀中設(shè)置有覆蓋載置支承于載置支承部件4的容器主體3的后端部 的罩部32。該罩部32形成為覆蓋容器主體3的后端部的左右的橫側(cè)方以及上方的形狀。 并且，如圖6所示，罩部32構(gòu)成為，在容器主體3載置支承于支承部分27的狀態(tài)下，在容器 主體3的上部與罩部32之間形成有上下方向的間隙，通過形成該間隙，從而如圖7所示，在 使容器主體3相對(duì)于載置支承部件4向上方側(cè)分離時(shí)，容器主體3不會(huì)與罩部32接觸。如圖5(b)所示，在載置支承部件4中具備非接觸供電裝置33的受電部33a，構(gòu)成 為在收納于收納架10的狀態(tài)下，利用從收納架10所具備的非接觸供電裝置33的供電部 33b (參照?qǐng)D1)供給的電力，使風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5動(dòng)作。
并且，在載置支承部件4中還具備貯存供給至受電部33a的電力的蓄電池(未圖 示)，構(gòu)成為在利用堆裝起重機(jī)7輸送基板用收納容器2時(shí)等受電部33a從供電部3 離開 從而不再對(duì)基板用收納容器2供給電力的狀態(tài)下，利用貯存于蓄電池中的電力使風(fēng)機(jī)過濾 機(jī)組5動(dòng)作。在基板用收納容器2中具備限制機(jī)構(gòu)34，在將容器主體3載置支承于載置支承部 件4的狀態(tài)下，該限制部件34限制容器主體3相對(duì)于載置支承部件4向水平方向的移動(dòng)。 該限制機(jī)構(gòu)34由定位銷3 和凹部34b構(gòu)成，所述定位銷34a以連結(jié)支承于載置支承部件 4的支承框架四的形態(tài)設(shè)置并且比載置支承部件4的上表面向上方突出，所述凹部34b形 成于容器主體3的下部形成用的框部件23a。進(jìn)而，限制機(jī)構(gòu)34構(gòu)成為，在將容器主體3載 置于載置支承部件4時(shí)，定位銷3 與凹部34b卡合，從而限制容器主體3相對(duì)于載置支承 部件4向水平方向的移動(dòng)。進(jìn)而，容器主體3的下部形成用的框部件23a配設(shè)成，其一部分的沿著容器前后方 向的框部件23a(在圖4(b)中用假想線表示的框部件23a)在將容器主體3載置支承于載置 支承部件4的狀態(tài)下位于形成于載置支承部件4的開口部31的正上方。進(jìn)而，構(gòu)成為在下 部形成用的框部件23a由插入開口部31中的后述的升降式支承體42承接支承的狀態(tài)下， 容器主體3被抬起，構(gòu)成為在下部形成用的框部件23a由插入開口部31中的升降式支承體 42承接支承的狀態(tài)下，容器主體3能夠相對(duì)于載置支承部件4向上方側(cè)分離。接著，對(duì)輸送設(shè)備加以說明。在輸送設(shè)備中，作為處理裝置11設(shè)置有清洗裝置W， 該清洗裝置W使用作為液體的水溶液來清洗容器主體3。以下，對(duì)利用堆裝起重機(jī)7、中繼 輸送機(jī)構(gòu)8以及輸送器9在收納架10與清洗裝置W之間輸送基板用收納容器2以及分離 后的容器主體3的情況進(jìn)行說明。附帶說一下，在該情況下，輸送未收納基板1的基板用收 納容器2。[堆裝起重機(jī)7]首先，對(duì)堆裝起重機(jī)7加以說明。如圖1所示，收納架10以相互對(duì)置的狀態(tài)設(shè)有一對(duì)，該收納架10在上下方向和架 寬度方向并排設(shè)置有收納基板用收納容器2的收納部10a，在這一對(duì)收納架10之間配設(shè)有 堆裝起重機(jī)7。堆裝起重機(jī)7構(gòu)成為具備行進(jìn)臺(tái)車37，其在形成于一對(duì)收納架10之間的 行進(jìn)路徑36上沿著其縱長方向行進(jìn)移動(dòng)；升降臺(tái)38，其由立起設(shè)置在行進(jìn)臺(tái)車37上的升 降立柱引導(dǎo)并支承為升降自如；以及支承于升降臺(tái)38的叉式的移載裝置39。移載裝置39 構(gòu)成為，能夠在一對(duì)收納架10與自身之間以及中繼輸送機(jī)構(gòu)8與自身之間移載基板用收納 容器2，且能夠繞縱軸軸心回轉(zhuǎn)。附帶說一下，在收納架10的收納部IOa中，以使裝配有風(fēng) 機(jī)過濾機(jī)組5的后端部比形成有出入口 21的前端部位于行進(jìn)路徑36側(cè)的狀態(tài)，收納有基 板用收納容器2。中繼輸送機(jī)構(gòu)8以與行進(jìn)路徑36相鄰的狀態(tài)設(shè)置，堆裝起重機(jī)7構(gòu)成為，能夠?qū)?基板用收納容器2交接至中繼輸送機(jī)構(gòu)8，并且能夠從中繼輸送機(jī)構(gòu)8接收基板用收納容器 2。進(jìn)而，堆裝起重機(jī)7構(gòu)成為能夠通過使移載裝置39回轉(zhuǎn)而使所輸送的基板用收納容器 2的朝向變更180°，在輸送目的地的中繼輸送機(jī)構(gòu)8的位置相對(duì)于輸送源的收納部IOa的 位置位于行進(jìn)路徑36的相反側(cè)的情況下，通過移載裝置39的回轉(zhuǎn)使基板用收納容器2的 朝向變更180°而交接至中繼輸送機(jī)構(gòu)8，并且，在輸送目的地的中繼輸送機(jī)構(gòu)8的位置相11對(duì)于輸送源的收納部IOa的位置位于行進(jìn)路徑36的相同側(cè)的情況下，不變更基板用收納容 器2的朝向而交接至中繼輸送機(jī)構(gòu)8，由此，在相對(duì)于中繼輸送機(jī)構(gòu)8交接基板用收納容器 2時(shí)，以使基板用收納容器2的后端部比前端部位于行進(jìn)路徑36側(cè)的狀態(tài)進(jìn)行交接。進(jìn)而，在中繼輸送機(jī)構(gòu)8的從行進(jìn)路徑36離開的一側(cè)設(shè)有輸送器9，在從堆裝起 重機(jī)7交接到中繼輸送機(jī)構(gòu)8的時(shí)刻，基板用收納容器2處于其前端部位于比后端部靠輸 送器9所存在的一側(cè)的位置的狀態(tài)，換言之，處于載置支承部件4中的支承部分27位于比 裝配部分觀靠輸送器9所存在的一側(cè)的位置的狀態(tài)。即，堆裝起重機(jī)7構(gòu)成為，通過在使 基板用收納容器2的后端部比前端部位于行進(jìn)路徑36側(cè)的狀態(tài)將基板用收納容器2交接 到中繼輸送機(jī)構(gòu)8，從而以載置支承部件4中的支承部分27位于比裝配部分觀靠輸送器9 所存在的一側(cè)的位置的狀態(tài)，將基板用收納容器2交接到中繼輸送機(jī)構(gòu)8。[中繼輸送機(jī)構(gòu)]接著，對(duì)中繼輸送機(jī)構(gòu)8加以說明。如圖6和圖7所示，中繼輸送機(jī)構(gòu)8構(gòu)成為具備作為第一支承體的固定式支承體 41，其以載置支承載置支承部件4的狀態(tài)從堆裝起重機(jī)7接收基板用收納容器2 ；作為第二 支承體的升降式支承體42，其將容器主體3載置輸送至水平方向的輸送器9所存在的一側(cè) 而將容器主體3交接到輸送器9 ；以及升降操作機(jī)構(gòu)43，其使升降式支承體42相對(duì)于固定 式支承體41升降移動(dòng)并由電動(dòng)式或液壓式氣缸等構(gòu)成(參照?qǐng)D1)。另外，升降式支承體 42相當(dāng)于本申請(qǐng)的承接支承體。作為升降操作機(jī)構(gòu)43，還可以利用具有電氣馬達(dá)和螺釘?shù)?裝置等現(xiàn)有的裝置。固定式支承體41構(gòu)成為，以位置固定狀態(tài)設(shè)置在行進(jìn)路徑36與輸送器9之間的 部位，以載置支承載置支承部件4中的在容器寬度方向上比開口部31靠外側(cè)的部分的形 態(tài)，載置支承基板用收納容器2中的容器寬度方向的兩端部。由此，固定式支承體41構(gòu)成 為，即使在使容器主體3從載置支承部件4分離的狀態(tài)下也能夠僅載置支承剩下的載置支 承部件4。升降式支承體42利用升降操作機(jī)構(gòu)43相對(duì)于固定式支承體41升降移動(dòng)，由此， 升降式支承體42構(gòu)成為能夠在比載置支承于固定式支承體41的載置支承部件4的載置面 位于下方的非輸送狀態(tài)(參照?qǐng)D6)、和從下方側(cè)插入于載置支承部件4的開口部31中而載 置支承容器主體3的下部以使容器主體3從載置支承部件4向上方側(cè)分離的輸送狀態(tài)(參 照?qǐng)D7)之間進(jìn)行切換。另外，載置支承部件4的載置面相當(dāng)于載置支承部件4中的支承部 分27的上表面。并且，在升降式支承體42中設(shè)置有載置支承容器主體3的能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的多 個(gè)驅(qū)動(dòng)輥42a，通過在承接支承容器主體3的狀態(tài)下使驅(qū)動(dòng)輥4 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，能夠?qū)θ萜髦?體3沿著其容器前后方向(基板出入方向)在水平方向進(jìn)行輸送，能夠?qū)⑷萜髦黧w3交接 至輸送器9或者從輸送器9接收容器主體3。對(duì)升降式支承體42加以說明，升降式支承體42中的驅(qū)動(dòng)輥42a設(shè)置成，在將基板 用收納容器2載置支承于固定式支承體41從而將基板用收納容器定位于預(yù)先設(shè)定的分離 作業(yè)位置的狀態(tài)下，位于該被載置支承的基板用收納容器2中的開口部31的正下方。進(jìn)而，升降式支承體42構(gòu)成為，在基板用收納容器2由固定式支承體41載置支 承的狀態(tài)下，當(dāng)利用升降操作機(jī)構(gòu)43上升移動(dòng)而從非輸送狀態(tài)切換到輸送狀態(tài)時(shí)，驅(qū)動(dòng)輥4 從下方側(cè)貫穿插入在載置支承部件4的開口部31中，從而承接支承由驅(qū)動(dòng)輥4 載置 支承于載置支承部件4的容器主體3的下部并向上方側(cè)抬起容器主體3。這樣從載置支承 部件4被抬起的容器主體3相對(duì)于載置支承部件4向上方側(cè)分離。此時(shí)的容器主體3的基 于升降操作機(jī)構(gòu)43的抬起量設(shè)定為比定位銷34a中的從底板30突出的部分的長度長的 量，在抬起容器主體3而使其分離的狀態(tài)下，容器主體3不會(huì)被限制機(jī)構(gòu)34限制，而是處于 能夠相對(duì)于載置支承部件4沿水平方向輸送的狀態(tài)。附帶說一下，在容器主體3的上部與 罩部32之間形成的上下方向的間隙形成為比定位銷3 中的從底板30突出的部分的長度 大的間隔。由此，在升降式支承體42被切換至輸送狀態(tài)的狀態(tài)下，由該升降式支承體42承接 支承的容器主體3未被限制機(jī)構(gòu)34限制相對(duì)于載置支承部件4的向水平方向的移動(dòng)，能夠 利用驅(qū)動(dòng)輥4 的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)在水平方向輸送容器主體3，中繼輸送機(jī)構(gòu)8能夠?qū)⑷萜髦黧w3 交接至輸送器9或從輸送器9接收容器主體3。并且，在載置支承部件4由固定式支承體41載置支承且容器主體3由升降式支承 體42載置支承的狀態(tài)下，若升降式支承體42利用升降操作機(jī)構(gòu)43下降移動(dòng)而從輸送狀態(tài) 切換至非輸送狀態(tài)，則驅(qū)動(dòng)輥4 從載置支承部件4的開口部31朝下方側(cè)被拔出，由驅(qū)動(dòng) 輥4 承接支承的容器主體3下降至載置支承部件4上以使定位銷3 與凹部34b卡合。 這樣下降至載置支承部件4的容器主體3載置支承于載置支承部件4而與載置支承部件4纟口口。[輸送器]接著，對(duì)輸送器9加以說明。如圖1所示，輸送器9由輥式輸送器構(gòu)成，構(gòu)成為將從中繼輸送機(jī)構(gòu)8接收的容器 主體3輸送至清洗裝置W，并且將從清洗裝置W輸送來的容器主體3交接至中繼輸送機(jī)構(gòu) 8。進(jìn)而，輸送器9設(shè)置成，其輸送面的高度與輸送狀態(tài)下的升降式支承體42的輸送面處于 相同的高度，構(gòu)成為在升降式支承體42被切換至輸送狀態(tài)的狀態(tài)下，能夠?qū)⑷萜髦黧w3交 接至升降式支承體42或從升降式支承體42接收容器主體3。因此，在這樣構(gòu)成的輸送設(shè)備中，如下所述輸送基板用收納容器2。即，利用堆裝起 重機(jī)7從收納架10取出基板用收納容器2，并利用中繼輸送機(jī)構(gòu)8將容器主體3從基板用 收納容器2分離，利用輸送器9將容器主體3輸送至清洗裝置W。在清洗裝置W中，在從基 板用收納容器2卸下風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組5和受電部33a等電裝機(jī)械的狀態(tài)下僅清洗容器主體3。 進(jìn)而，利用輸送器9從清洗裝置W輸送容器主體3，利用中繼輸送機(jī)構(gòu)8將容器主體3結(jié)合 于載置支承部件4，并利用堆裝起重機(jī)7將基板用收納容器2收納于收納架10。[第二實(shí)施方式]接著，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的基板用收納容器、以及輸送該基板用收納容器的輸送 設(shè)備的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，第二實(shí)施方式除了基板用收納容器2的結(jié)構(gòu)不同之外，與第一實(shí)施方式同 樣構(gòu)成，因此，對(duì)于與第一實(shí)施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予相同的標(biāo)號(hào)并省略說明，主要對(duì)與第一 實(shí)施方式不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖8和圖9所示，在支承部分27中設(shè)有前罩部46，該前罩部46覆蓋載置支承 于載置支承部件4的容器主體3的前端部。該前罩部46形成為覆蓋容器主體3的前端部的左右的橫側(cè)方以及上方的形狀。并且，在容器主體3載置支承于支承部分27的狀態(tài)下， 在容器主體3的上部與前罩部46之間形成有上下方向的間隙，通過形成該間隙，從而在使 容器主體3相對(duì)于載置支承部件4向上方側(cè)分離時(shí)，容器主體3不會(huì)與前罩部46接觸。另 外，罩部32和前罩部46的上端的左右兩端部彼此利用框部件相互連結(jié)。進(jìn)而，在基板用收納容器2設(shè)有對(duì)容器主體3的出入口 21進(jìn)行開閉的閘門裝置 47。該閘門裝置47構(gòu)成為具備由電動(dòng)式馬達(dá)朝正反方向驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)滾筒48 ；以及卷 繞于旋轉(zhuǎn)滾筒48且伴隨旋轉(zhuǎn)滾筒48的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行送出操作和卷繞操作的薄片狀的門部分 49，該間門裝置47以由前罩部46載置支承的形態(tài)裝配于載置支承部件4。進(jìn)而，利用支承部分27和前罩部46形成通過口 50，相對(duì)于載置支承部件4向上方 側(cè)分離后的容器主體3能夠沿著容器前后方向(基板出入方向)通過該通過口 50。間門裝 置47構(gòu)成為能夠在將門部分49送出至通過口 50而利用門部分49關(guān)閉通過口 50的關(guān)閉 狀態(tài)、和卷繞門部分49而使門部分49退避至比通過口 50靠上方的位置的打開狀態(tài)之間進(jìn) 行切換。即，閘門裝置47構(gòu)成為，在關(guān)閉狀態(tài)下關(guān)閉載置支承部件4中的通過口 50，由此關(guān) 閉容器主體3的出入口 21。進(jìn)而，前罩部46的覆蓋容器主體3的前端部的左右橫側(cè)方的部分相當(dāng)于立起設(shè)置 在載置支承部件4的出入口側(cè)端部的一對(duì)支承用框部件46a，在間門裝置47的下方且是一 對(duì)支承用框部件46a之間的位置形成有通過口 50。另外，載置支承部件4的前端部相當(dāng)于 出入口側(cè)端部。[其它實(shí)施方式](1)在上述實(shí)施方式中，將多個(gè)框部件排列成格子狀而構(gòu)成容器主體3的下部，并 且不用側(cè)板M封閉該容器主體3的下部而是利用構(gòu)成為平板狀的載置支承部件4的支承 部分27對(duì)其進(jìn)行封閉，但也可以構(gòu)成為利用側(cè)板M封閉容器主體3的下部，并將容器主體 3形成為橫臥姿勢(shì)的筒狀、即具有矩形截面的水平延伸的筒狀。在該情況下，載置支承部件 4的支承部分27也可以不構(gòu)成為平板狀，也可以不具備底板30。(2)在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成為利用升降操作機(jī)構(gòu)43使第二支承體升降移動(dòng)，但 也可以構(gòu)成為利用升降操作機(jī)構(gòu)43使第一支承體升降移動(dòng)，并且，也可以構(gòu)成為利用升降 操作機(jī)構(gòu)43分別使第一支承體和第二支承體升降移動(dòng)。(3)在上述實(shí)施方式中，作為收納容器輸送機(jī)構(gòu)設(shè)有堆裝起重機(jī)7，但作為收納容 器輸送機(jī)構(gòu)，也可以由載置輸送基板用收納容器的輸送器或在載置基板用收納容器的狀態(tài) 下行進(jìn)的臺(tái)車構(gòu)成。并且，作為容器主體輸送機(jī)構(gòu)設(shè)有輸送器9，但作為容器主體輸送機(jī)構(gòu) 也可以由在載置容器主體3的狀態(tài)行進(jìn)的臺(tái)車或堆裝起重機(jī)構(gòu)成。(4)在上述實(shí)施方式中，在容器主體3的前側(cè)部形成出入口 21，在容器主體3的后 側(cè)部形成供氣口 22，并使出入口 21和供氣口 22以相互對(duì)置的方式形成，但也可以在容器主 體3的前側(cè)部形成出入口 21，在容器主體3的左右的橫側(cè)部形成供氣口 22，并使出入口 21 和供氣口 22以不相互對(duì)置的方式形成等，可以適當(dāng)變更在容器主體3的側(cè)部形成出入口 21 和供氣口 22的部位。
權(quán)利要求
1.一種基板用收納容器，該基板用收納容器具備容器主體，該容器主體具備基板收納空間，該基板收納空間能夠以使多張基板在上下 方向上隔開間隔地排列的狀態(tài)收納所述基板；和風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，其向上述容器主體的上述基板收納空間供給清潔空氣，這里，上述容器 主體在其側(cè)部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于將由上述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組供給的 清潔空氣供給至上述基板收納空間的供氣口，其特征在于，能夠載置支承上述容器主體的載置支承部件構(gòu)成為具備載置支承上述容器主體的支 承部分；以及裝配部分，該裝配部分以在由該支承部分載置支承上述容器主體的狀態(tài)下使 上述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組位于與上述供氣口對(duì)置的位置的方式裝配有上述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，在上述支承部分形成有開口部，從該開口部能夠在上下方向插入和取出承接支承體， 上述容器主體構(gòu)成為，在上述容器主體的下部由插入上述開口部中的上述承接支承體 承接支承的狀態(tài)下，上述容器主體能夠相對(duì)于上述載置支承部件向上方側(cè)分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板用收納容器，其特征在于， 上述載置支承部件的上述支承部分構(gòu)成為平板狀，上述容器主體構(gòu)成為，其下部通過將多個(gè)框部件排列成格子狀而構(gòu)成，上述框部件由 上述承接支承體承接支承。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板用收納容器，其特征在于，在上述載置支承部件以由立起設(shè)置于上述載置支承部件的出入口側(cè)的端部的一對(duì)支 承用框部件支承的狀態(tài)裝配有間門裝置，該間門裝置具備由電動(dòng)式馬達(dá)朝一個(gè)方向及相 反方向被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)滾筒；以及卷繞于上述旋轉(zhuǎn)滾筒且伴隨上述旋轉(zhuǎn)滾筒的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行 送出操作和卷繞操作的薄片狀的門部分，該閘門裝置對(duì)上述容器主體的上述出入口進(jìn)行開 閉，在上述間門裝置的下方且是上述一對(duì)支承用框部件之間的位置形成有通過口，相對(duì)于 上述載置支承部件向上方側(cè)分離后的上述容器主體能夠沿著出入上述基板的方向通過該 通過口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板用收納容器，其特征在于， 上述支承部分具有覆蓋上述容器主體的底面整體的大小。
5.一種輸送設(shè)備，該輸送設(shè)備用于輸送權(quán)利要求1或2所述的基板用收納容器，其特征 在于，該輸送設(shè)備設(shè)有中繼輸送機(jī)構(gòu)，該中繼輸送機(jī)構(gòu)配設(shè)于輸送上述基板用收納容器的收 納容器輸送機(jī)構(gòu)與輸送上述容器主體的容器主體輸送機(jī)構(gòu)之間，從上述收納容器輸送機(jī)構(gòu) 接收上述基板用收納容器，并使上述容器主體從上述載置支承部件分離，然后將該分離后 的上述容器主體交接到上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)，上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，以上述載置支承部件中的上述支承部分位于比上述裝 配部分靠上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)所存在的一側(cè)的位置的狀態(tài)，將上述基板用收納容器交接 到上述中繼輸送機(jī)構(gòu)，上述中繼輸送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為具備第一支承體，其以載置支承上述載置支承部件的狀態(tài) 從上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)接收上述基板用收納容器；作為上述承接支承體的第二支承體， 其將上述容器主體載置輸送至水平方向的上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)所存在的一側(cè)而將上述容器主體交接到上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)；以及升降操作機(jī)構(gòu)，其使上述第二支承體相對(duì)于 上述第一支承體相對(duì)地升降移動(dòng)，上述第二支承體構(gòu)成為，利用上述升降操作機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述第一支承體相對(duì)地升降移 動(dòng)，由此，上述第二支承體能夠在比載置支承于上述第一支承體的上述載置支承部件的載 置面位于下方的非輸送狀態(tài)、和從下方側(cè)插入于上述載置支承部件的上述開口部中而載置 支承上述容器主體的上述下部以使上述容器主體從上述載置支承部件向上方側(cè)分離的輸 送狀態(tài)之間進(jìn)行切換，并且，上述第二支承體在上述輸送狀態(tài)下將上述容器主體交接至上 述容器主體輸送機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輸送設(shè)備，其特征在于， 該輸送設(shè)備設(shè)有使用液體對(duì)上述容器主體進(jìn)行清洗的清洗裝置， 上述容器主體輸送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，將從上述中繼輸送機(jī)構(gòu)接收的上述容器主體輸送至上 述清洗裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供容易使容器主體的分離自動(dòng)化的基板用收納容器以及輸送該基板用收納容器的輸送設(shè)備。能夠載置支承容器主體(3)的載置支承部件(4)構(gòu)成為具備載置支承容器主體(3)的支承部分(27)；以及裝配部分(28)，該裝配部分以在由該支承部分(27)載置支承容器主體(3)的狀態(tài)下使風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組(5)位于與供氣口對(duì)置的位置的方式裝配有風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組(5)，在支承部分(27)形成有開口部(31)，從該開口部能夠在上下方向插拔承接支承體，容器主體(3)構(gòu)成為，在容器主體的下部由插入開口部(31)中的承接支承體承接支承的狀態(tài)下，容器主體能夠相對(duì)于載置支承部件(4)向上方側(cè)分離。
文檔編號(hào)B65G49/06GK102040049SQ201010520909
公開日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月23日
發(fā)明者中尾多通夫, 出口喜隆 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福