專利名稱：基片傳輸機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種板狀薄基片的傳輸機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種適用于真空腔體中 板狀薄基片的基片傳輸機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展、科技的不斷進(jìn)步和世界能源的日益減少，人們在生 產(chǎn)中越來越重視能源的節(jié)約及利用效率，使得人與自然和諧發(fā)展以滿足中國新 型的工業(yè)化道^^求。
例如，在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示產(chǎn)業(yè)中，企業(yè)為了節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本，都
加大投資研發(fā)力度，不斷地追求節(jié)能的新產(chǎn)品。其中，OLED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn) 品中的一種新產(chǎn)品，OLED即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode ), 又稱為有機(jī)電激光顯示(Organic Electroluminesence Display, OELD ),因?yàn)?具備輕薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且 具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應(yīng)用都聚焦在平板顯示器上， 因?yàn)镺LED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-LCD相提并論的4支術(shù)，且是目前所有 顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以 做成和紙張一樣的厚度；但OLED顯示屏幕與傳統(tǒng)的TFT-LCD顯示屏幕并 不同，其無需背光燈，采用非常薄的有機(jī)材料涂層和玻璃基片，當(dāng)有電流通 過時，這些有機(jī)材料就會發(fā)光，而且OLED顯示屏幕可以做得更輕更薄， 可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能；相應(yīng)地，制造OLED顯示屏幕的 所有設(shè)備必須要保證OLED顯示屏幕的精度要求。OLED的基片材料為非常 薄且易碎的玻璃，在OLED的基片制作工序及后續(xù)工藝中，有很多基片傳輸 裝置，用于在基片加工的過程中傳輸基片，為了保證OLED的質(zhì)量和精度，加工過程中對基片的自動化傳輸要求越來越高的同時，對基片的清潔度也要求 越來越高，因此對基片的傳輸設(shè)備提出了更高的要求。
現(xiàn)有的一種傳輸設(shè)備中，在每一個傳送軸上等距安裝有多個與基片直接接 觸的傳送輥，傳送軸與驅(qū)動軸相連，驅(qū)動軸與馬達(dá)等驅(qū)動設(shè)備相連，傳送軸可 以從驅(qū)動軸獲取旋轉(zhuǎn)力，即當(dāng)馬達(dá)等驅(qū)動設(shè)備開動時，該傳送軸就可以轉(zhuǎn)動并 傳送基片。上述傳送方式由于基片與傳送輥直接接觸，傳輸過程中容易造成基
片的機(jī)械磨損，影響成品的精度和質(zhì)量；同時，由于傳輸各運(yùn)動組件，例如齒
輪、絲桿等的接觸，容易使傳輸設(shè)備的各運(yùn)動組件之間因?yàn)槟Σ炼；?，產(chǎn)生 粉塵進(jìn)入到基片傳送區(qū)域，影響基片的清潔度，并且在傳輸?shù)倪^程中產(chǎn)生較大
噪聲；另外，傳輸各運(yùn)動組件之間的摩擦使得各運(yùn)動組件的使用壽命縮短，傳 輸設(shè)備的使用壽命也隨之縮短。另一種傳送方式是采用工業(yè)機(jī)器人進(jìn)行傳輸， 由于設(shè)備成本較高且占地面積較大，因此其制造成本較高，限制了大規(guī)模的生 產(chǎn)和運(yùn)用。
因此，急需一種低噪音、高清潔度、低生產(chǎn)成本的基片傳輸機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種低噪音、高清潔度、低生產(chǎn)成本的基片傳輸機(jī)構(gòu)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種基片傳輸機(jī)構(gòu)，包括驅(qū) 動裝置、主傳動裝置、底板及兩個次傳動裝置，所述驅(qū)動裝置與所述主傳動裝 置連接，兩個次傳動裝置呈平行的連接于所述底板兩側(cè)且分別與所述主傳動裝 置連接，所述兩次傳動裝置之間形成傳送區(qū)域，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述主傳動 裝置，所述主傳動裝置同步的驅(qū)動兩所述次傳動裝置，其中，所述次傳動裝置 包括軸承箱、磁傳動軸、第 一斜齒輪及多個相互對應(yīng)的第一永石茲齒輪和磁傳輸 單元，所述軸承箱連接于所迷底板上，所述磁傳輸單元呈平行的樞接于所述軸 承箱上，且所述磁傳輸單元具有伸入所述傳送區(qū)域的滾輪；所述第一斜齒輪固 定于所述磁傳動軸上，所述主傳動裝置具有與所述第一斜齒輪相嚙合的第二斜 齒輪，且所述第一斜齒輪與第二斜齒輪的軸向相互垂直；所述第一永磁齒輪固
5定于所述磁傳動軸上，所述磁傳輸單元具有與所述第 一永磁齒輪相對應(yīng)的第二 永磁齒輪，所述第一永^茲齒4侖與第二永^茲齒輪軸向相互垂直，所述第一永》茲齒 輪通過磁場驅(qū)動所述第二永磁齒輪。
較佳地，所述磁傳輸單元還包括與所述第二永磁齒輪固定連接的滾輪軸， 所述滾輪軸與所述軸承箱樞接，所述滾輪軸的一端穿過所述軸承箱并伸入傳送 區(qū)域內(nèi)與所述滾輪連接，更具體地，所述磁傳輸單元還包括墊圈，所述墊圈連 接于朝向傳送區(qū)域的所述滾輪的一側(cè)，且所述滾輪與所述墊圈形成臺階，基片 傳輸時，通過第二永磁齒輪的轉(zhuǎn)動帶動與第二永磁齒輪固定連接的滾輪軸轉(zhuǎn)動， 使?jié)L輪軸上的墊圏及滾輪一起轉(zhuǎn)動，將基片承載于滾輪與墊圈形成臺階上，一 方面利用墊圏與基片之間的摩擦力，實(shí)現(xiàn)基片的傳輸，另一方面通過滾輪的側(cè) 壁對基片進(jìn)行限位，實(shí)現(xiàn)基片在傳輸時的平穩(wěn)，并且能有效的防止基片發(fā)生傳 輸?shù)钠啤?br> 較佳地，所述磁傳輸單元還包括軸套，所述軸套連接于伸入所述傳送區(qū)域 內(nèi)的滾輪軸的一端上，所述滾輪及墊圏依次連接于所述軸套上,滾輪及墊圈通 過軸套連接于傳送區(qū)域內(nèi)的滾輪軸上，可以通過調(diào)節(jié)軸套實(shí)現(xiàn)對滾輪沿著滾輪 軸軸向的調(diào)節(jié)，滾輪沿滾輪軸進(jìn)行軸向調(diào)節(jié)時，墊圈也隨之沿軸向移動，因此 可適應(yīng)不同尺寸的基片傳輸，使得傳輸機(jī)構(gòu)的適用性更強(qiáng)，使用范圍更加廣泛。
較佳地，所述軸承箱呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成安裝槽，所述滾輪軸 樞接于所述安裝槽的兩側(cè)壁上，且所述第二永磁齒輪位于所述安裝槽內(nèi)，進(jìn)一 步避免了在傳動過程中產(chǎn)生的或外界的細(xì)小灰塵顆粒進(jìn)入到傳送區(qū)域內(nèi)，從而 較好的保持真空室和基片的清潔度，為基片所進(jìn)行的下一步工序提供了高質(zhì)量 的基片。
較佳地，所述次傳動裝置還包括軸承座，所述軸承座安裝于所述安裝槽內(nèi)， 所述磁傳動軸樞接于所述軸承座上，且固定于所述^f茲傳動軸上的第 一永磁齒輪 位于所述第二永磁齒輪正下方；由于第 一永磁齒輪與第二永磁齒輪軸向相互垂 直，且第 一永磁齒輪通過磁場驅(qū)動第二永磁齒輪，第 一永磁齒輪與第二永磁齒
方式所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒和噪音，使得基片傳輸時清潔度高、噪聲低，另，由于第一永磁齒輪與第二永磁齒輪為非接觸式傳動方式，使得第一永磁齒輪與 第二永磁齒輪的使用壽命大大增加，進(jìn)而增加了整個基片傳輸機(jī)構(gòu)的壽命并且 使得制造成本大為降低。
較佳地，所述主傳動裝置還包括輸入軸，所述輸入軸與所述驅(qū)動裝置連接，
所述第二斜齒輪位于所述安裝槽內(nèi)并固定于所述輸入軸上；輸入軸與^f茲傳動軸 之間通過斜齒輪傳輸動力，能接受較大功率傳送的同時實(shí)現(xiàn)基片的高速傳送， 由于輸入軸同步的帶動兩次傳動裝置的兩磁傳動軸轉(zhuǎn)動，使得傳動較為平穩(wěn)， 因此沖擊、震動和噪聲大為較小，使斜齒輪及整個傳輸機(jī)構(gòu)的使用壽命增長， 另由于第二斜齒輪位于所述安裝槽內(nèi)，使得發(fā)生接觸傳動的第一斜齒輪與第二 斜齒輪均位于所述安裝槽內(nèi)，通過安裝槽有效的將第一斜齒輪和第二斜齒輪與 傳送區(qū)域和外界隔離開，有效的防止了第一斜齒輪與第二斜齒輪接觸嚙合傳動 時所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒進(jìn)入到傳送區(qū)域內(nèi)，同時也大大的降^f氐了因第一斜齒 輪與第二斜齒輪接觸嚙合傳動時所產(chǎn)生的噪音。
較佳地，所述軸承座或/和所述軸承箱上安裝有傳感器，傳感器可以精確的 控制基片的傳輸位置，保證了基片后續(xù)工藝的制造精度，提高產(chǎn)品的合格率。
較佳地，所述驅(qū)動裝置為伺服電機(jī)，伺服電機(jī)具有低震動、高速高響應(yīng)、 高精度等特性，使得基片在傳輸?shù)倪^程中快速、平穩(wěn)、精確、且低噪音。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)具有平行的連接于底板兩側(cè)且 分別與主傳動裝置連接的兩個次傳動裝置，兩個次傳動裝置之間形成供基片傳 輸?shù)膫魉蛥^(qū)域，主傳動裝置同步的驅(qū)動兩個次傳動裝置；次傳動裝置包括軸承 箱、》茲傳動軸、第一斜齒輪及多個相互對應(yīng)的第一永石茲齒輪和石茲傳輸單元，軸 承箱連接于底板上，磁傳輸單元呈平行的樞接于軸承箱上，且磁傳輸單元具有 伸入傳送區(qū)域的滾輪，還具有與第一永f茲齒4侖相對應(yīng)的第二永》茲齒輪，由于第 一永磁齒輪與第二永石茲齒輪軸向相互垂直，且第 一永^茲齒輪通過f茲場驅(qū)動第二 永磁齒輪，第 一永磁齒輪與第二永磁齒輪之間的非接觸式傳動方式使得基片在 傳輸過程中不會產(chǎn)生因接觸式摩擦傳送方式所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒和噪音，使 得基片傳輸時清潔度高、噪聲低，同時，由于第一永磁齒輪與第二永磁齒輪為 非接觸式傳動方式，使得第一永磁齒輪與第二永磁齒輪的使用壽命大大增加，
7進(jìn)而增加了整個基片傳輸機(jī)構(gòu)的壽命并且使得制造成本大為降低；由于主傳動 裝置具有與第 一斜齒輪相嚙合的第二斜齒輪，且第 一斜齒輪與第二斜齒輪的軸 向相互垂直，主傳動裝置同步的驅(qū)動兩個次傳動裝置，使基片傳輸時沖擊、振 動減小，傳輸更加平穩(wěn)；另，由于具有軸承箱，通過軸承箱有效的將主傳動裝 置與次傳動裝置的具有傳動功能的部分與傳送區(qū)域和外界隔離開，有效的防止 了主傳動裝置與次傳動裝置的具有傳動功能的部分因接觸傳動所產(chǎn)生的細(xì)小灰 塵顆粒進(jìn)入到傳送區(qū)域內(nèi)，同時也大大的降低了因接觸傳動所產(chǎn)生的噪音。


圖la是本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖lb是本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)傳輸基片的狀態(tài)示意圖。
圖2是圖la中A部分的放大示意圖。
圖3是圖la中B部分的放大示意圖。
圖4是圖la中C部分的放大示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。
如圖la、圖lb及圖2所示，本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1包括驅(qū)動裝置(圖中未 示)、主傳動裝置30、底板10及兩個次傳動裝置20,驅(qū)動裝置與主傳動裝置30 連接，兩個次傳動裝置20呈平行的連接于底板10兩側(cè)且分別與所述主傳動裝 置30連接，兩次傳動裝置20之間形成傳送區(qū)域101，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動主傳動 裝置30,主傳動裝置30同步的驅(qū)動兩次傳動裝置20，其中，所述次傳動裝置 20包括軸承箱201、石茲傳動軸202、第一斜齒輪202a及多個相互對應(yīng)的第一永 磁齒輪202b和磁傳輸單元203;軸承箱201連接于所述底板10上，磁傳輸單元 203平行的樞接于軸承箱201上，且磁傳輸單元203具有伸入傳送區(qū)域101的滾 輪203e;第一斜齒輪202a固定于磁傳動軸202上，主傳動裝置30具有與第一斜齒輪202a相嚙合的第二斜齒輪30a,且第 一斜齒輪202a與第二斜齒4侖30a的 軸向相互垂直，第一永》茲齒輪202b固定于磁傳動軸202上，》茲傳輸單元203具 有與所述第 一永磁齒輪202b相對應(yīng)的第二永磁齒輪203b，第 一永/磁齒輪202b 與第二永磁齒輪203b軸向相互垂直，所述第一永磁齒輪202b通過f茲場驅(qū)動第 二永磁齒輪203b;具體地，所述軸承箱201呈中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)形成安裝槽 201a，所述滾輪軸203a樞接于安裝槽的兩側(cè)壁201b上，且所述第二永磁齒輪 203b位于所述安裝槽201a內(nèi)；更具體地，結(jié)合圖3及圖4所示，如下
較佳者，本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1的次傳動裝置20還包括軸承座204,軸承 座204位安裝于安裝槽201a內(nèi)，《茲傳動軸202樞接于所述軸 K座204上，且固 定于磁傳動軸202上的第一永》茲齒輪202b位于所述第二永/磁齒輪203b正下方。 由于第一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b軸向相互垂直，且第一7I^磁齒輪 202b通過磁場驅(qū)動第二永磁齒輪203b,第一永磁齒輪202b與第二永^茲齒輪203b
式所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒和噪音，使得基片傳輸時清潔度高、噪聲低，另，由 于第 一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b為非接觸式傳動方式，4吏得第 一永 磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b的使用壽命大大增加，進(jìn)而增加了整個基片 傳輸機(jī)構(gòu)1的壽命并且使得制造成本大為降低。
較佳者，本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1的磁傳輸單元203還包括與第二永磁齒輪 203b固定連接的滾輪軸203a，所述滾輪軸203a與軸承箱201樞接，所述滾輪軸 203a的一端穿過軸承箱201并伸入傳送區(qū)域內(nèi)101與滾輪203e連接；磁傳輸單 元203還包括墊圏203d,墊圈203d連接于朝向傳送區(qū)域101的滾4侖203e的一 側(cè)，且滾輪203e與墊圏203d形成臺階203f，基片傳輸時將基片承載于滾輪203e 與墊圈203d形成臺階203f上， 一方面利用墊圏203d與基片la的下表面lc之 間的摩擦力，實(shí)現(xiàn)基片la的傳輸，另 一方面通過滾輪203e的側(cè)壁203g對基片 la進(jìn)行限位，實(shí)現(xiàn)基片la在傳輸時的平穩(wěn)，并且能有效的防止基片la發(fā)生傳 輸?shù)钠?；磁傳輸單?03還包括軸套203c,所軸套203c連接于伸入傳送區(qū)域 101內(nèi)的滾輪軸203a的一端上，墊圈203d及滾輪203e依次連接于軸套203c上。
較佳者，本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1的主傳動裝置30包括輸入軸30b及第二斜齒輪30a，輸入軸30b—端與驅(qū)動裝置連接，另一端分別與兩次傳動裝置20連 接，當(dāng)驅(qū)動裝置驅(qū)動主傳動裝置30,主傳動裝置30同步的驅(qū)動兩次傳動裝置 20;主傳動裝置30的第二斜齒輪30a固定于輸入軸30b上，且第二斜齒4侖30a 位于安裝槽201a內(nèi)；在磁傳動軸202上固定有與第二斜齒輪30a相互粘合的第 一斜齒輪202a,第二斜齒輪30a與第一斜齒輪202a的軸向相互垂直，在輸入軸 30b與磁傳動軸202之間通過第二斜齒輪30a與第一斜齒輪202a來傳輸動力， 能滿足較大功率傳送的同時并實(shí)現(xiàn)基片的高速傳送，且由于主傳動裝置30同步 的驅(qū)動兩次傳動裝置20，使得傳動較為平穩(wěn)，因此能夠很好的減小沖擊、震動 和噪聲，使第二斜齒輪30a與第一斜齒輪202a及整個傳輸機(jī)構(gòu)1的使用壽命增 長；另外，由于第二斜齒輪30a位于安裝槽201a內(nèi)，使得發(fā)生接觸傳動的第一 斜齒輪202a與第二斜齒輪30a均位于安裝槽201a內(nèi)，通過安裝槽201a有效的 將第一斜齒輪202a和第二斜齒輪30a與傳送區(qū)域101和外界隔離開，有效的防 止了第一斜齒輪202a與第二斜齒輪30a接觸嚙合傳動時所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒 進(jìn)入到傳送區(qū)域IOI內(nèi)，同時也大大的降低了因第一斜齒輪202a與第二斜齒輪 30a接觸嚙合傳動時所產(chǎn)生的噪音。
如圖la、圖lb及圖3所示，本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1的次傳動裝置20,次傳 動裝置20的軸^^箱201的中空結(jié)構(gòu)形成安裝槽201a，軸承座204安裝于安裝槽 201a內(nèi)，磁傳動軸202樞接于軸承座204上，且固定于磁傳動軸202上的第一 7JC磁齒輪202b位于安裝槽201a內(nèi)，磁傳輸單元203的滾輪軸203a樞接于安裝 槽201a的兩側(cè)壁201b上，且第二永磁齒4侖203b位于安裝槽201a內(nèi)，并位于第 一永i茲齒輪202b的正上方，滾4侖軸203a上的第二永l茲齒壽侖203b與磁傳動軸202 上的第一永磁齒輪202b垂直安裝，傳輸基片時第一永磁齒輪202b通過磁場驅(qū) 動第二永磁齒輪203b,進(jìn)而帶動磁傳輸單元203的滾輪軸203a轉(zhuǎn)動，在磁傳動 軸202與磁傳輸單元203之間利用第一永磁齒輪202b、第二永磁齒輪203b產(chǎn)生 的磁場來傳輸動力；由于第 一永磁齒4侖202b與第二永石茲齒l侖203b軸向相互垂 直，且第 一永磁齒輪202b通過磁場驅(qū)動第二永磁齒輪203b,第 一永磁齒輪202b 與第二 1a茲齒輪203b之間的非接觸式傳動方式使得基片在傳輸過程中不會產(chǎn)生 因接觸式摩擦傳送方式所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒和噪音，使得基片傳輸時清潔度高、噪聲低，同時，由于第一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b為非接觸式 傳動方式，使得第一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b的4吏用壽命大大增加， 進(jìn)而增加了整個基片傳輸機(jī)構(gòu)1的壽命并且使得制造成本大為降低。
如圖la、圖lb及圖4所示，本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1的磁傳輸單元203包括 滾輪軸203a、第二永磁齒輪203b、軸套203c、墊圈203d及滾輪203e,滾輪軸 203a與軸承箱201樞接，且滾輪軸203a的一端穿過軸承箱201并伸入傳送區(qū)域 101內(nèi)與滾輪203e連接，第二永磁齒輪203b固定于滾輪軸203a上且位于軸承 箱201的安裝槽201a內(nèi)，軸套203c連接于伸入傳送區(qū)域101內(nèi)的滾輪軸203a 的一端上，墊圏203d及滾輪203e依次連接于軸套203c上，且滾輪203e與墊圏 203d形成臺階203f;基片傳輸時將基片la承載于滾輪203e與墊圏203d形成臺 階203f上， 一方面利用墊圈203d與基片la之間的摩擦力，實(shí)現(xiàn)基片la的傳輸， 另 一方面通過滾輪203e的側(cè)壁203g對基片la進(jìn)行限位，實(shí)現(xiàn)基片la在傳輸時 的平穩(wěn)，并且能有效的防止基片la發(fā)生傳輸?shù)钠?；另外，由于滾輪203e通過 墊圏203d及軸套203c連接于滾輪軸203a上，可通過調(diào)節(jié)軸套203c對滾輪203e 進(jìn)行軸向調(diào)節(jié)，當(dāng)調(diào)節(jié)滾輪203e時，墊圈203d也隨著滾輪203e —起沿著滾輪 軸203a的軸向移動，因此能適應(yīng)不同尺寸的基片傳輸，使得傳輸機(jī)構(gòu)的適用性 強(qiáng)，使用范圍更加廣泛。
較佳者，本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1在軸承座204或/和軸承箱201上安裝有傳 感器(圖中未示)，所安裝的傳感器可為一個或多個，以檢測齒輪的轉(zhuǎn)速或基片 的移動距離，并將檢測到的信號通過控制系統(tǒng)傳給驅(qū)動裝置，由驅(qū)動裝置調(diào)節(jié) 齒輪的轉(zhuǎn)速，精確的控制基片的傳輸位置，保證了基片后續(xù)工藝的制造精度， 提高產(chǎn)品的合格率；在本發(fā)明中驅(qū)動裝置為伺服電機(jī)，伺服電機(jī)具有低震動、 高速高響應(yīng)、高精度等特性，使得基片在傳輸?shù)倪^程中快速、平穩(wěn)、精確、且 低噪音。
結(jié)合圖la至圖4對本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)l傳輸基片的工作原理做一詳細(xì)的 說明
當(dāng)基片la進(jìn)入到傳送區(qū)域101時，伺服電機(jī)驅(qū)動輸入軸30b轉(zhuǎn)動，固定在 輸入軸30b上的第二斜齒輪30a隨之轉(zhuǎn)動，由于輸入軸30b上的第二斜齒輪30a
11與磁傳動軸202上的第 一斜齒輪202a嚙合，因此帶動磁傳動軸202轉(zhuǎn)動，磁傳 動軸202的轉(zhuǎn)動使得磁傳動軸202上的第 一永磁齒輪202b隨之轉(zhuǎn)動，由于磁傳 動軸202上的第一永磁齒輪202b與磁傳輸單元203的第二永一磁齒輪203b垂直 安裝，磁傳動軸202上的第一永磁齒輪202b與磁傳輸單元203的第二永磁齒輪 203b之間通過磁場作用帶動磁傳輸單元203轉(zhuǎn)動，因此^茲傳輸單元203的滾輪 軸203a隨之轉(zhuǎn)動；由于滾輪軸203a上安裝有軸套203c,墊圈203d及滾輪203e 依次連接于軸套203c上，且滾輪203e與墊圈203d形成臺階203f，滾輪軸203a 轉(zhuǎn)動使墊圈203d與滾輪203e —起轉(zhuǎn)動，通過墊圈203d與被傳輸?shù)幕琹a之間 的摩擦力，實(shí)現(xiàn)基片la的平穩(wěn)傳送，具體地，在基片la傳輸時，基片la承載 于滾輪203e與墊圈203d形成臺階203f上基片la的下表面lc承載于墊圈203d 的上表面上，基片la的兩側(cè)壁lb與滾輪203e的側(cè)壁203g接觸，利用墊圈203d 與基片la的下表面lc之間的摩擦力，實(shí)現(xiàn)基片la的傳輸，并且通過滾輪203e 的側(cè)壁203g對基片la進(jìn)行限位，實(shí)現(xiàn)基片la在傳輸時的平穩(wěn)，并且能有效的 防止基片la發(fā)生傳輸?shù)钠?；?dāng)基片la的尺寸改變時，可以沿著滾輪軸203a 的軸向?qū)L輪203e進(jìn)行調(diào)節(jié)，滾輪203e上的墊圏203d也隨滾輪203e —起沿滾 輪軸203a的軸向移動，來適應(yīng)不同尺寸的基片傳輸。
本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1,具有平行的連接于底板101兩側(cè)且分別與主傳動裝 置30連接的兩個次傳動裝置20,兩個次傳動裝置20之間形成傳送區(qū)域101, 主傳動裝置30同步的驅(qū)動兩個次傳動裝置20;次傳動裝置20包括軸承箱201、 磁傳動軸202、第 一斜齒輪202a及多個相互對應(yīng)的第一7乂磁齒輪202b和磁傳輸 單元203,軸承箱201連接于底板10上，磁傳輸單元203呈平行的樞接于軸承 箱201上，且磁傳輸單元203具有伸入傳送區(qū)域101的滾輪203e,及與第一永 磁齒輪202b相對應(yīng)的第二永磁齒輪203b,第 一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪 203b軸向相互垂直，第一永磁齒輪202b通過磁場驅(qū)動第二永磁齒輪203b,由 于第 一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b軸向相互垂直，且第 一永磁齒輪202b 通過磁場驅(qū)動第二永磁齒輪203b,第 一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b之 間的非接觸式傳動方式使得基片1 a在傳輸過程中不會產(chǎn)生因接觸式摩擦傳送方 式所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒和噪音，使得基片la傳輸時清潔度高、噪聲低，同時，由于第 一永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b為非接觸式傳動方式，使得第一 永磁齒輪202b與第二永磁齒輪203b的使用壽命大大增加，進(jìn)而增加了整個基 片傳輸機(jī)構(gòu)1的壽命并且使得制造成本大為降低；由于主傳動裝置30具有與第 一斜齒輪202a相嚙合的第二斜齒輪30a，且第一斜齒輪202a與第二斜齒輪30a 的軸向相互垂直，主傳動裝置30同步的驅(qū)動兩個次傳動裝置20,使基片傳輸時 沖擊、振動減小，傳輸更加平穩(wěn)；另外，由于具有軸承箱201，通過軸承箱201 有效的將主傳動裝置30與次傳動裝置20的具有傳動功能的部分與傳送區(qū)域和 外界隔離開，有效的防止了主傳動裝置30與次傳動裝置20的具有傳動功能的 部分因接觸傳動所產(chǎn)生的細(xì)小灰塵顆粒進(jìn)入到傳送區(qū)域101內(nèi)，同時也大大的 降低了因因接觸傳動所產(chǎn)生的噪音。
本發(fā)明基片傳輸機(jī)構(gòu)1的第一永磁齒輪202b驅(qū)動第二永磁齒輪203b的原 理及傳感器的安裝及檢測原理等均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做 詳細(xì)的iJt明。
以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明 之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求
1.一種基片傳輸機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動裝置、主傳動裝置、底板及兩個次傳動裝置，所述驅(qū)動裝置與所述主傳動裝置連接，兩個次傳動裝置呈平行的連接于所述底板兩側(cè)且分別與所述主傳動裝置連接，所述兩次傳動裝置之間形成傳送區(qū)域，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述主傳動裝置，所述主傳動裝置同步的驅(qū)動兩所述次傳動裝置，其特征在于所述次傳動裝置包括軸承箱、磁傳動軸、第一斜齒輪及多個相互對應(yīng)的第一永磁齒輪和磁傳輸單元，所述軸承箱連接于所述底板上，所述磁傳輸單元呈平行的樞接于所述軸承箱上，且所述磁傳輸單元具有伸入所述傳送區(qū)域的滾輪；所述第一斜齒輪固定于所述磁傳動軸上，所述主傳動裝置具有與所述第一斜齒輪相嚙合的第二斜齒輪，所述第一斜齒輪與第二斜齒輪的軸向相互垂直，所述第一永磁齒輪固定于所述磁傳動軸上，所述磁傳輸單元具有與所述第一永磁齒輪相對應(yīng)的第二永磁齒輪，所述第一永磁齒輪與第二永磁齒輪軸向相互垂直，所述第一永磁齒輪通過磁場驅(qū)動所述第二永磁齒輪。
2. 如權(quán)利要求1所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述磁傳輸單元還包 括與所述第二永磁齒輪固定連接的滾輪軸，所述滾輪軸與所述軸承箱樞接，所 述滾輪軸的一端穿過所述軸承箱并伸入傳送區(qū)域內(nèi)與所述滾輪連接。
3. 如權(quán)利要求2所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述磁傳輸單元還包 括墊圏，所述墊圏連接于朝向傳送區(qū)域的所述滾輪的一側(cè)，且所述滾4侖與所述 墊圏形成臺階。
4. 如權(quán)利要求3所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述磁傳輸單元還包 括軸套，所述軸套連接于伸入所述傳送區(qū)域內(nèi)的滾輪軸的一端上，所述墊圏及 滾輪依次連接于所述軸套上。
5. 如權(quán)利要求2所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述軸承箱呈中空結(jié) 構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成安裝槽，所述滾輪軸樞接于所述安裝槽的兩側(cè)壁上，且 所述第二永》茲齒輪位于所述安裝槽內(nèi)。
6. 如權(quán)利要求5所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述次傳動裝置還包 括軸承座，所述軸承座安裝于所述安裝槽內(nèi)，所述磁傳動軸樞接于所述軸承座 上，且固定于所述磁傳動軸上的第一永磁齒輪位于所述第二永磁齒輪正下方。
7. 如權(quán)利要求5所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述主傳動裝置還包 括輸入軸，所述輸入軸與所述驅(qū)動裝置連接，所述第二斜齒輪位于所述安裝槽 內(nèi)并固定于所述輸入軸上。
8. 如權(quán)利要求6所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述軸承座或/和所述 軸承箱上安裝有傳感器。
9. 如權(quán)利要求1所述的基片傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動裝置為伺服 電機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基片傳輸機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動裝置、主傳動裝置、底板及兩個次傳動裝置，其中，次傳動裝置包括軸承箱、磁傳動軸、第一斜齒輪及多個相互對應(yīng)的第一永磁齒輪和磁傳輸單元；軸承箱連接于底板上，磁傳輸單元呈平行的樞接于軸承箱上且具有滾輪；第一斜齒輪固定于磁傳動軸上，主傳動裝置具有與第一斜齒輪相嚙合的第二斜齒輪，且第一斜齒輪與第二斜齒輪的軸向相互垂直；第一永磁齒輪固定于磁傳動軸上，磁傳輸單元具有與第一永磁齒輪相對應(yīng)的第二永磁齒輪，第一永磁齒輪與第二永磁齒輪軸向相互垂直，第一永磁齒輪通過磁場驅(qū)動第二永磁齒輪。該基片傳輸機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)基片傳輸過程中的低噪音和高清潔度，同時結(jié)構(gòu)簡單、成產(chǎn)成本低。
文檔編號B65G49/06GK101580179SQ20091003997
公開日2009年11月18日 申請日期2009年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月4日
發(fā)明者楊明生, 王曼媛, 范繼良, 郭業(yè)祥 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司