專利名稱：一種晶圓盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及晶圓盒的設(shè)計領(lǐng)域，尤其涉及一種易于搬運和底盤不易脫 落的晶圓盒。
背景技術(shù)：
在集成芯片的制程中，用于制作芯片的晶圓在不同制程之間以及制程中運 輸過程中都是儲藏在晶圓盒(Pod)中運輸?shù)?。晶圓盒的使用可為晶圓提供較高 潔凈度環(huán)境，避免晶圓受到潔凈度相對晶圓盒內(nèi)要低的制作車間內(nèi)污染源的污 染。為提高晶圓盒利用率，通常一個晶圓盒中會儲藏多片晶圓。傳統(tǒng)的晶圓盒
請參見


圖1和圖2，晶圓盒由罩面1和底盤4組成。罩面1的兩側(cè)面上分別安裝 有把手2，如
圖1所示把手2為平板把手。底盤4的兩側(cè)面分別開有兩個卡槽 44，每個卡槽44內(nèi)都安放了如圖3所示的卡桿3。每個卡桿3上都制作有一個 向上彎曲的卡齒31和向下彎曲的卡齒32。罩面1的底部12兩側(cè)的內(nèi)壁分別有 兩個如圖4所示的方形槽孔5。當(dāng)將底盤4卡槽44內(nèi)卡齒31和32旋入罩面1 底部12內(nèi)壁對應(yīng)的方形槽孔5內(nèi)時，底盤4就可和罩面1連接。
由于晶罩盒內(nèi)會同時裝有多片晶圓，在不同的制程中會使得平板把手2會 變得濕滑，很容易導(dǎo)致晶圓盒從工作人員手中滑落，導(dǎo)致晶圓盒的損毀。同時， 當(dāng)晶圓盒內(nèi)放入晶圓后，底盤上的卡齒受力會增大，由于卡齒31為向上彎曲的 卡齒，易從方形槽孔5內(nèi)滑出，導(dǎo)致卡齒31損毀，使得底盤4易脫落。

實用新型內(nèi)容
本實用新型目的在于提供一種晶圓盒，以解決傳統(tǒng)晶圓盒存在的晶圓盒易 從工作人員手中滑落的問題，以及底盤易與罩面脫落的問題。
為達(dá)到上述目的，本實用新型的晶圓盒，它包括罩面和底盤，罩面底部兩 側(cè)的內(nèi)壁分別開有兩個槽孔；底盤兩側(cè)面對應(yīng)開有兩個卡槽，該卡槽內(nèi)安放有
卡桿，該卡桿上具有卡齒；底盤通過將卡齒旋入該罩面底部對應(yīng)的槽孔內(nèi)與罩 面連接，其中，晶圓盒還包括安裝在罩面兩側(cè)壁的把手，該把手包括安裝桿， 自安裝桿側(cè)壁延伸出拱形卡手槽，自該拱形卡手槽底部延伸出此把手的托翼， 安裝桿與所述罩面的側(cè)壁連接。該卡桿上具有兩個向下彎曲的卡齒。罩面底部 兩側(cè)的內(nèi)壁分別開的兩個槽孔，每個槽孔由用于安放卡桿上兩個向下彎曲的卡 齒的兩個方形槽組成。該罩面為六面體，底面開口的罩面，底面開口處面積略 大于罩面上端面積。該底盤為方形底盤，此方形底盤面積等于罩面底面開口處 面積。
與目前的晶圓盒相比，本實用新型的晶圓盒，通過安裝帶有卡手槽以及托 翼的把手，工作人員可用手掌托住把手，將手指放入卡手槽內(nèi)，這樣整個晶圓 盒就不易從工作人員的手中滑落。同時，卡桿具有的兩個卡齒均向下彎曲，使 得卡盤上卡齒受力能力增大，能增大底盤的承載力，底盤不易與罩面脫落。
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型的晶圓盒作進(jìn)一步詳細(xì)具體地描述。
圖l是傳統(tǒng)晶圓盒罩面示意圖。 ，
圖2是傳統(tǒng)晶圓盒底盤示意圖。
圖3是圖2所示底盤側(cè)壁卡槽內(nèi)卡齒示意圖。
圖4是
圖1所示罩面底部內(nèi)壁槽孔示意圖。
圖5是本實用新型晶罩盒把手俯視示意圖。
圖6是圖5所示把手側(cè)視示意圖。
圖7是本實用新型底盤側(cè)壁卡槽內(nèi)卡齒示意圖。
圖8是本實用新型晶圓盒示意圖。
具體實施方式
本實用新型晶圓盒，它包括如
圖1所示罩面1和如圖2所示底盤4，罩面1 底部兩側(cè)的內(nèi)壁分別開有兩個槽孔，底盤兩側(cè)面對應(yīng)開有放置卡桿的兩個卡槽 44,安裝在卡槽44內(nèi)的卡桿具有卡齒；底盤通過將卡齒旋入該罩面底部對應(yīng)的
槽孔內(nèi)與罩面連接。從
圖1可看出，罩面1為六面體，底面開口的罩面，底面
開口處面積略大于罩面上端面積。從圖2可看出底盤為方形底盤，此方形底盤 面積等于罩面底面開口處面積。本實用新型的晶圓盒還包括如圖5或圖6所示 安裝在罩面1兩側(cè)壁的把手7,此把手包括安裝桿71,自安裝桿側(cè)壁延伸出換 形卡手槽72,自拱形卡手槽72底部延伸出把手7的托翼73，該安裝桿71與罩 面1的側(cè)壁連接。把手7安裝時，可按卡手槽72朝下，托翼73朝上的方式將 安裝桿71安裝在罩面1的兩側(cè)面，這樣手指可抓住卡手槽，手掌抵住托翼，在 運輸晶圓盒時，晶圓盒就不易從手中脫落。或者，把手7安裝時，按卡手槽72 朝上，托翼73朝下的方式將安裝桿71安裝在罩面1的兩側(cè)面，仍可用手掌4氐 住托翼，手指放入卡手槽來握住把手7。安裝在如圖2所示底盤卡槽內(nèi)卡桿示意 圖請參見圖7?？U8上具有兩個均向下彎曲的卡齒81，這樣當(dāng)將卡齒81旋入 罩面1對應(yīng)的方形槽孔5內(nèi)時，兩個卡齒能同時受力，這樣可有效增大底盤4 的承載力，使得底盤在承受多片晶圓的重力之下不易與罩面l脫落。
對應(yīng)于底盤4上兩側(cè)，每側(cè)均開有兩個卡槽44的位置，罩面1的底部12 的兩側(cè)的內(nèi)壁，每側(cè)也均開有兩個槽孔，每個槽孔均如圖4所示的兩個方形槽
本實用新型的晶圓盒,請參見圖8所示的晶圓盒，通過采用如圖5和圖6 所示的把手，在運輸晶圓盒時，可有效防止晶圓盒從手中滑落。同時，底盤上 卡桿的卡齒采用如圖7所示的卡齒，可有效增加底盤的承載力，使得底盤不易 與罩面脫落。本實用新型的晶罩盒可有效解決傳統(tǒng)晶圓盒存在的晶圓盒易從工 作人員手中滑落的問題，以及底盤易與罩面脫落的問題。
權(quán)利要求1、一種晶圓盒，它包括罩面和底盤，所述罩面底部兩側(cè)的內(nèi)壁分別開有兩個槽孔；所述底盤兩側(cè)面對應(yīng)開有兩個卡槽，所述卡槽安放有卡桿，所述卡桿上具有卡齒；所述底盤通過將卡齒旋入所述罩面底部對應(yīng)的槽孔內(nèi)與罩面連接，其特征在于，所述晶圓盒還包括安裝在罩面兩側(cè)壁的把手，所述把手包括安裝桿，自安裝桿側(cè)壁延伸出拱形卡手槽，自所述拱形卡手槽底部延伸出所述把手的托翼，所述安裝桿與所述罩面的側(cè)壁連接；所述卡桿上具有兩個向下彎曲的卡齒。
2、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，所述罩面底部兩側(cè)的內(nèi)壁分別開槽組成。
3、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，所述罩面為六面體，底面開口的 罩面，底面開口處面積略大于罩面上端面積。
4、 如權(quán)利要求3所述的晶圓盒，其特征在于，所述底盤為方形底盤，所述方形 底盤面積等于罩面底面開口處面積。
專利摘要本實用新型提供了一種晶圓盒，它包括罩面和底盤，該罩面底部兩側(cè)的內(nèi)壁分別開有兩個槽孔；底盤兩側(cè)面對應(yīng)開有放置卡桿的兩個卡槽，卡桿上具有卡齒；底盤通過將卡齒旋入罩面底部對應(yīng)的槽孔內(nèi)與罩面連接。該晶圓盒還包括安裝在罩面兩側(cè)壁的把手，把手包括安裝桿，自安裝桿側(cè)壁延伸出拱形卡手槽，自拱形卡手槽底部延伸出把手的托翼，該安裝桿與所述罩面的側(cè)壁連接；卡桿上具有兩個向下彎曲的卡齒。通過此把手使得晶圓盒不易從手中滑落，采用兩個向下彎曲的卡齒可有效增大底盤的承載力，使得卡盤不易與罩面脫落，從而解決傳統(tǒng)晶圓盒存在的晶圓盒易從手中滑落的問題，以及底盤易與罩面脫落的問題。
文檔編號B65D25/28GK201188416SQ20082005713
公開日2009年1月28日 申請日期2008年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月10日
發(fā)明者明 劉, 彭小艷, 陳宇涵, 黃曉君 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司