技術(shù)編號：4323088
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及晶圓盒的設(shè)計(jì)領(lǐng)域，尤其涉及一種易于搬運(yùn)和底盤不易脫 落的晶圓盒。背景技術(shù)在集成芯片的制程中，用于制作芯片的晶圓在不同制程之間以及制程中運(yùn) 輸過程中都是儲藏在晶圓盒(Pod)中運(yùn)輸?shù)?。晶圓盒的使用可為晶圓提供較高 潔凈度環(huán)境，避免晶圓受到潔凈度相對晶圓盒內(nèi)要低的制作車間內(nèi)污染源的污 染。為提高晶圓盒利用率，通常一個晶圓盒中會儲藏多片晶圓。傳統(tǒng)的晶圓盒請參見附圖說明圖1和圖2，晶圓盒由罩面1和底盤4組成。罩面1的兩側(cè)面上分別安裝 有把手2，如圖1...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。