專利名稱：傳送盒的存儲架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中的存儲裝置，具體地說，涉及一種傳送盒的 存儲架。
背景技術(shù)：
在晶圓制造工廠內(nèi)，傳送盒是主要的晶圓存放設(shè)備，比較常用的是FOUPS (Front Opening Unified Pods,前開式傳送盒)。對于某些準備累積足夠批量進入 工藝設(shè)備的晶圓或者擋片的傳送盒， 一般存放在潔凈室內(nèi)的存儲架上。使用時， 再將傳送盒搬出，由手推運輸車(cart)或其他搬運裝置搬運至需要的制程區(qū)。 傳送盒存儲架的大小根據(jù)廠房潔凈室的空間來決定，為存儲較多的傳送盒，節(jié) 約成本， 一個存儲架在豎直方向設(shè)有若干層隔板。
一般傳統(tǒng)存儲架的隔板是固定的，如果取置高層隔板上的傳送盒，工作人 員需要踮腳或者借助其他工具才能拿到。如果需要取置低層隔板上的傳送盒時， 工作人員需要彎腰才能拿到。 一個裝滿晶圓的傳送盒約有9.8公斤重，長期從事 上述操作，容易導(dǎo)致工作人員腰酸背痛，損害工作人員的身體健康。
有鑒于此，需要提供一種新的存儲架以改善上述問題。

實用新型內(nèi)容
本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種方便取置傳送盒又可以保護工作人 員身體健康的存儲架。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種傳送盒的存儲架，其包括數(shù) 層用于存放傳送盒的隔板，所述隔板可滑動地安裝于存儲架的內(nèi)壁上，該存儲 架還包括升降機構(gòu)，其控制隔板在存儲架內(nèi)的運動。
所述升降機構(gòu)包括制動裝置以及連接制動裝置與隔板的傳動裝置，啟動制 動裝置，通過傳動裝置控制隔板的升降運動。
該制動裝置包括手柄以及第一、第二滑輪，其中手柄與第一滑輪由傳動軸
連接；第一、第二滑輪由繩索連接；第二滑輪通過傳動軸與傳動裝置連接，搖 動手柄可帶動傳動裝置運動。
該傳動裝置包括凸輪、與凸輪配合的傳動部以及連接傳動部與隔板的支架。 進一步地，該凸輪設(shè)有數(shù)個不同深度的凹槽，傳動部通過與不同凹槽配合，使 隔板位于存儲架的不同高度位置。進一步地，該凸輪的轉(zhuǎn)軸位置是固定的。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型增加了高度，充分利用了潔凈室內(nèi)的有限空 間，通過設(shè)置升降機構(gòu)，工作人員不要彎腰或踮腳或其他工具就可以在舒適位 置輕松取置傳送盒，有效地保護了工作人員的身體健康。


圖la、 lb、 lc為采用本實用新型存儲架取置不同高度傳送盒的示意圖。 圖2為本實用新型存儲架的升降機構(gòu)的示意圖。 圖3為圖2升降機構(gòu)的制動裝置的側(cè)視示意圖。 圖4為圖2升降機構(gòu)的傳動裝置的側(cè)視示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的較佳實施例進行描述，以進一步理解其實用 新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。
請參閱圖la、 lb、 lc，本實施例的存儲架1具有三層隔板(未圖示)，每一 隔板上放置一個傳送盒4，所述隔板彼此之間位置固定，但整體可在存儲架l的 內(nèi)壁內(nèi)滑動。該存儲架1比現(xiàn)有存儲架高，且具有足夠空間容納所述放置傳送 盒4的隔板上下移動。該存儲架1的前端位于工作人員腰部的位置處，具有一 個取置窗口 3，也就是說如果工作人員165厘米高，該取置窗口 3就設(shè)置在距離 潔凈室地板100厘米處。工作人員通過該窗口 3搬取或放置傳送盒4。本實施例 中的存儲架1只在豎直方向上存放三個傳送盒2，如果潔凈室空間足夠，該存儲 架還可以豎直方向和水平方向設(shè)置更多的隔板，存放更多的傳送盒。以下僅以 具有在豎直方向具有三個隔板的存儲架1為例，對本實用新型進行詳細描述。
請參閱圖2至圖4，該存儲架1包括有升降機構(gòu)2,該升降機構(gòu)2包括制動
裝置21以及傳動裝置22。該制動裝置21包括安裝在上述取置窗口 3 (見圖la) 附近的手柄211、第一滑輪213以及第二滑輪214。手柄211與第一滑輪213通 過傳動軸231連接，第一滑輪213與第二滑輪214通過繩索232連接。該傳動 裝置22包括凸輪233、具有球形外表面的傳動部222以及連接該傳動部222的 支架223。制動裝置21與傳動裝置22通過第二滑輪214與凸輪221之間的傳動 軸233相連接。所述傳動裝置22安裝于存儲架1的底部，支架223與最下層的 隔板相連。
請參閱圖4,該凸輪221具有三個不同深度的凹槽2210、 2211、 2212，通 過轉(zhuǎn)動凸輪221,傳動部222可依次與凹槽2210、 2211、 2212配合。該凸輪221 的轉(zhuǎn)軸2213的位置是固定的，所以傳動部222與不同凹槽配合可以帶動支架223 向上或向下運動，同時帶動隔板上下運動。
升降^L構(gòu)2的傳動裝置22在如圖4所示位置時，即傳動部222與第一凹槽 2210配合時，存儲架l內(nèi)的傳送盒位于圖lb所示位置，此時可以取置中間的傳 送盒。如果想取置頂層的傳送盒時，請參閱圖la并結(jié)合圖2至圖4,順時針搖 動手柄211，通過傳動軸231帶動第一滑輪213轉(zhuǎn)動，進而通過繩索232帶動第 二滑輪214轉(zhuǎn)動，通過傳動軸233帶動凸輪221順時針轉(zhuǎn)動，直至凸輪221的 第二凹槽2212與傳動部222配合，此時隔板在支架223的帶動下下降到如圖la 所示的位置，頂層的傳送盒位于取置窗口 3，方便工作人員取置，而不需要踮腳 或其他輔助工具。如果想取置底層的傳送盒時，逆時針轉(zhuǎn)動手柄211,帶動凸輪 221逆時針旋轉(zhuǎn)，直至傳動部222與第三凹槽2211配合，此時隔板上升到如圖 lc所示位置，底層傳送盒位于取置窗口 3,方便工作人員取置，而不要彎腰。
本實用新型存儲架相對現(xiàn)有存儲架增加了高度，充分利用潔凈室有限的空 間。通過設(shè)置升降機構(gòu)，工作人員不要彎腰或踮腳或其他工具就可以在腰部位 置也就是上述取置窗口的位置輕松取置傳送盒，有效地保護了工作人員的身體 健康。
另外，本實用新型存儲架使用的升降機構(gòu)不限于上述揭示內(nèi)容，對于本領(lǐng) 域的普通技術(shù)人員來說，可以采用其他業(yè)界通用的機械或電學(xué)機構(gòu)實現(xiàn)傳送盒 的升降運動，且均屬于權(quán)利要求書中保護的內(nèi)容。
權(quán)利要求1.一種傳送盒的存儲架，其包括數(shù)層用于存放傳送盒的隔板，所述隔板可滑動地安裝于存儲架的內(nèi)壁上，其特征在于，該存儲架還包括升降機構(gòu)，其控制隔板在存儲架內(nèi)的運動。
2. 如權(quán)利要求1所述的存儲架，其特征在于所述升降機構(gòu)包括制動裝置以及 連接制動裝置與隔板的傳動裝置，啟動制動裝置，通過傳動裝置控制隔板的升 降運動。
3. 如權(quán)利要求2所述的存儲架，其特征在于該制動裝置包括手柄以及第一、 第二滑輪，其中手柄與第一滑輪由傳動軸連接；第一、第二滑輪由繩索連接； 第二滑輪通過傳動軸與傳動裝置連接，搖動手柄可帶動傳動裝置運動。
4. 如權(quán)利要求2所述的存儲架，其特征在于該傳動裝置包括凸輪、與凸輪配 合的傳動部以及連接傳動部與隔板的支架。
5. 如權(quán)利要求4所述的存儲架，其特征在于該凸輪設(shè)有數(shù)個不同深度的凹槽， 傳動部通過與不同凹槽配合，使隔板位于存儲架的不同高度位置。
6. 如權(quán)利要求4所述的存儲架，其特征在于該凸輪的轉(zhuǎn)軸位置是固定的。
專利摘要本實用新型公開了一種傳送盒的存儲架，涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中的存儲裝置。該存儲架包括數(shù)層用于存放傳送盒的隔板，所述隔板可滑動地安裝于存儲架的內(nèi)壁上，該存儲架還包括升降機構(gòu)，其控制隔板在存儲架內(nèi)的運動。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型增加了高度，充分利用了潔凈室內(nèi)的有限空間，通過設(shè)置升降機構(gòu)，工作人員不要彎腰或踮腳或其他工具就可以在舒適位置輕松取置傳送盒，有效地保護了工作人員的身體健康。
文檔編號B65G1/04GK201065257SQ20072007197
公開日2008年5月28日 申請日期2007年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月29日
發(fā)明者劉佩宜, 李雨庭 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司