專利名稱：裝載口及裝載口的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及開(kāi)閉收納有半導(dǎo)體基板的基板收納容器的蓋的裝載口，尤其涉 及可不受被放置的基板收納容器的方向影響開(kāi)閉的反轉(zhuǎn)式裝載口及其控制方 法。
背景技術(shù)：
過(guò)去，可不受被放置的F0UP的方向影響開(kāi)閉的反轉(zhuǎn)式裝載口構(gòu)成為如圖4 所示(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。圖中，41是放置F0UP的裝載板。42及43是使裝載板41旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)、升 降部件。44是載置臺(tái)，從裝載板41接收F0UP后，在工作臺(tái)45上向箭頭D方向 移動(dòng)。47是開(kāi)閉F0UP的蓋的裝載口門。圖中，將F0UP放置在裝載板41上，其 后，通過(guò)旋轉(zhuǎn)、升降部件42、 43使裝載板41旋轉(zhuǎn)，并使裝載板41上的FOUP 的取出口正對(duì)于裝載口門47。將F0UP的取出口正對(duì)于裝載口門47后，通過(guò)旋 轉(zhuǎn)、升降部件42、 43使裝載板降下。裝載板41下降后，F(xiàn)OUP的一部分與載置 臺(tái)44接觸，裝載板41繼續(xù)下降后，F(xiàn)0UP脫離裝載板41,被完全放置在載置臺(tái) 44上。此后，載置臺(tái)44在工作臺(tái)45上向箭頭D方向移動(dòng)，同時(shí)FOUP與裝載口 門47對(duì)接，F(xiàn)OUP門被打開(kāi)，將FOUP內(nèi)部的基板交付給半導(dǎo)體制造裝置。如此，根據(jù)現(xiàn)有的裝載口，不需要另外設(shè)置用于將FOUP從裝載板41交付 給載置臺(tái)44的交付部件，通過(guò)使裝載板41降下能夠?qū)OUP交付給載置臺(tái)44。專利文獻(xiàn)h日本特開(kāi)2004-140011號(hào)公報(bào)(第4-8頁(yè)，圖1)發(fā)明內(nèi)容現(xiàn)有的裝載口，為收納有旋轉(zhuǎn)、升降部件42、 43的控制部的支撐片46向 裝載口前方較大地突出的結(jié)構(gòu)，存在使連接于裝載口前方側(cè)的儲(chǔ)料器等受到結(jié) 構(gòu)上的限制的問(wèn)題。另外，存在在裝載口設(shè)置時(shí)、維修時(shí)等成為障礙的問(wèn)題。 此外，由于最初放置F0UP的裝載板41和載置臺(tái)44相互分開(kāi)，因此將FOUP從 裝載板41交付給載置臺(tái)44時(shí)，需要將載置臺(tái)44定位于規(guī)定的位置，故不是簡(jiǎn) 單的結(jié)構(gòu)，存在成本、可靠性等問(wèn)題。本發(fā)明為鑒于上述問(wèn)題而提出的，目的是提供一種即使為反轉(zhuǎn)式，也不會(huì) 使支撐片突出的小型反轉(zhuǎn)式裝載口。另外，提供一種動(dòng)作效率較高的反轉(zhuǎn)式裝 載口。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明構(gòu)成如下。方案1所述的發(fā)明的特征為，具備用于放置基板收納容器的載置臺(tái)、使 前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、使前述載置臺(tái)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、及使前述載置臺(tái) 升降的升降機(jī)構(gòu)，開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋。方案2所述的發(fā)明的特征為，具備用于放置基板收納容器的至少具有第1 載置臺(tái)和第2載置臺(tái)的載置臺(tái)、使前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、使前述第1載 置臺(tái)和前述第2載置臺(tái)一起旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、固定于前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并僅使前述 第1載置臺(tái)升降的升降機(jī)構(gòu)、及設(shè)置于前述第2載置臺(tái)的固定前述基板收納容 器的夾具，開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋。方案3所述的發(fā)明的特征為，具備在前述第1載置臺(tái)上具有固定前述基 板收納容器的夾具。方案4所述的發(fā)明的特征為，具備檢測(cè)前述移動(dòng)機(jī)構(gòu)、前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、前 述升降機(jī)構(gòu)或前述夾具中的任意一個(gè)到達(dá)規(guī)定位置的位置傳感器。方案5所述的發(fā)明的特征為，具備監(jiān)視前述移動(dòng)機(jī)構(gòu)、前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、前 述升降機(jī)構(gòu)或前述夾具中的任意一個(gè)的從動(dòng)作開(kāi)始的經(jīng)過(guò)時(shí)間的計(jì)時(shí)器。方案6所述的發(fā)明的特征為，前述載置臺(tái)通過(guò)前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行偏心旋轉(zhuǎn)。方案7所述的發(fā)明的特征為，前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有旋轉(zhuǎn)氣缸和帶 帶輪機(jī)構(gòu)。方案8所述的發(fā)明的特征為，由電氣馬達(dá)代替前述旋轉(zhuǎn)氣缸。方案9所述的發(fā)明的特征為，前述升降機(jī)構(gòu)為氣缸。方案IO所述的發(fā)明的特征為，裝載口具備用于放置基板收納容器的載置臺(tái) 和使前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋，前 述載置臺(tái)由第1載置臺(tái)和第2載置臺(tái)構(gòu)成，前述裝載口還具備使前述第1載 置臺(tái)和前述第2載置臺(tái)--起旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、固定于前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并僅使前述
第1載置臺(tái)升降的升降機(jī)構(gòu)、及設(shè)置于前述第2載置臺(tái)的固定前述基板收納容器的夾具，前述裝載口的控制方法包括將前述基板收納容器放置在前述載置 臺(tái)上的步驟、令前述載置臺(tái)進(jìn)行下降動(dòng)作的步驟、令設(shè)置于前述第2載置臺(tái)的 夾具進(jìn)行夾緊動(dòng)作的步驟、令前述載置臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的步驟、及令前述載置 臺(tái)進(jìn)行對(duì)接動(dòng)作的步驟。方案11所述的發(fā)明的特征為，裝載口具備用于放置基板收納容器的載置臺(tái) 和使前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋，前 述載置臺(tái)由第1載置臺(tái)和第2載置臺(tái)構(gòu)成，前述裝載口還具備使前述第1載 置臺(tái)和前述第2載置臺(tái)一起旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、固定于前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并僅使前述第1載置臺(tái)升降的升降機(jī)構(gòu)、及設(shè)置于前述第2載置臺(tái)的固定前述基板收納容器的夾具，前述裝載口的控制方法包括將前述基板收納容器放置在前述載置 臺(tái)t的步驟、令設(shè)置于前述第1載置臺(tái)的夾具進(jìn)行夾緊動(dòng)作的步驟、令前述載 置臺(tái)進(jìn)行下降動(dòng)作的步驟、令前述載置臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的步驟、及令前述載置 臺(tái)進(jìn)行對(duì)接動(dòng)作的步驟。方案12所述的發(fā)明的特征為，前述任意步驟中的動(dòng)作滿足了規(guī)定的聯(lián)鎖條 件后，運(yùn)行其它的步驟。方案13所述的發(fā)明的特征為，前述規(guī)定的聯(lián)鎖條件為檢測(cè)出前述動(dòng)作到達(dá)規(guī)定位置的位置檢測(cè)傳感器的檢測(cè)信號(hào)輸出。方案14所述的發(fā)明的特征為，前述規(guī)定的聯(lián)鎖條件為由計(jì)時(shí)器所規(guī)定的經(jīng)過(guò)時(shí)間。根據(jù)方案1或2所述的發(fā)明，由于載置臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此不受基板收納容器的放置方向的限制，能夠靈活地對(duì)應(yīng)裝載口連接的裝置的形狀。另外，由于 載置臺(tái)自身進(jìn)行升降、旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，因此可小型化。此外，根據(jù)力'案3、 4、 5、 9、 10、 11、 12、 13所述的發(fā)明，由于可同時(shí)進(jìn) 行裝載口各軸的動(dòng)作，因此動(dòng)作效率高，可提高生產(chǎn)能力。


圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施例的裝載口的立體圖。 圖2是表示本發(fā)明的裝載口的升降動(dòng)作的側(cè)視圖。
圖3是表示本發(fā)明的裝載口的升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的說(shuō)明圖。 圖4是表示現(xiàn)有的裝載口的立體圖。符號(hào)說(shuō)明11門12載置臺(tái)13夾具15a、15b 吸附部件16a、16b 彈簧鎖鑰匙31旋轉(zhuǎn)氣缸32帶輪33帶34帶輪35構(gòu)件36升降臺(tái)37a、37b、 37c 活動(dòng)銷38底座臺(tái)39氣缸具體實(shí)施方式
以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。 實(shí)施例1圖l是本發(fā)明的裝載口的立體圖。圖中，12是放置F0UP等基板收納容器的 載置臺(tái)。13是用于固定被放置的基板收納容器的夾具。15a、 15b是用于吸附基 板收納容器的蓋的吸附部件。16a、 16b是用于開(kāi)閉基板收納容器蓋的鑰匙的彈 簧鎖鑰匙。11是用于開(kāi)閉放置在載置臺(tái)12上的基板收納容器的蓋的裝載口門。圖2是本發(fā)明的裝載口的側(cè)視圖。該裝載口的載置臺(tái)12具有升降部件(升 降軸)，構(gòu)成町使載置臺(tái)12升降的結(jié)構(gòu)。圖中，(a)表示升降軸下降后的狀態(tài)， (b)表示升降軸上升后的狀態(tài)。另外，雖然沒(méi)有圖示，但載置臺(tái)12具有旋轉(zhuǎn) 軸，構(gòu)成可使載置臺(tái)12旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。載置臺(tái)12的內(nèi)部由后述的升降臺(tái)36和底 座臺(tái)38構(gòu)成。此處，本發(fā)明與專利文獻(xiàn)l的不同點(diǎn)為，載置臺(tái)12自身進(jìn)行升降和旋轉(zhuǎn)， 不需要裝載板和收納裝載板的旋轉(zhuǎn)、升降部件的控制部的支撐片。圖3是表示進(jìn)行本發(fā)明的裝載口的升降、旋轉(zhuǎn)的內(nèi)部機(jī)構(gòu)的說(shuō)明圖。另外， 虛線表示罩。圖中，36是第1載置臺(tái)，本實(shí)施例中是升降臺(tái)。升降臺(tái)36固定于 氣缸39的本體側(cè)，隨著氣缸39的驅(qū)動(dòng)，升降臺(tái)36進(jìn)行升降。37是活動(dòng)銷，固 定于升降臺(tái)36?；顒?dòng)銷37a、 37c是用于對(duì)被放置的基板收納容器進(jìn)行定位的部 件，與現(xiàn)有的部件相同。31是旋轉(zhuǎn)氣缸，通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。另外， 旋轉(zhuǎn)氣缸31驅(qū)動(dòng)由帶輪32、帶33及帶輪34構(gòu)成的帶 帶輪機(jī)構(gòu)。35是固定 于帶輪34的構(gòu)件，固定有氣缸39的軸。38是第2載置臺(tái)，本實(shí)施例中是底座 臺(tái)。底座臺(tái)38通過(guò)框架(未圖示)固定于構(gòu)件35。旋轉(zhuǎn)氣缸31安裝于直線導(dǎo) 軌(未圖示)，構(gòu)件35通過(guò)軸承安裝在同一直線導(dǎo)軌上。B卩，氣缸39、構(gòu)件35、 升降臺(tái)36及底座臺(tái)38 —體地在紙面左右方向上移動(dòng)。此外，夾具(未圖示) 及正常載置傳感器(未圖示)設(shè)置在底座臺(tái)38上。因此，夾具及正常載置傳感 器在升降臺(tái)36上升后的狀態(tài)下，變?yōu)槁袢胼d置臺(tái)12內(nèi)的狀態(tài)，而無(wú)法從外部 看到。接下來(lái)，對(duì)載置臺(tái)的升降、旋轉(zhuǎn)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。驅(qū)動(dòng)氣缸39將軸推出時(shí)， 氣缸39本體上升，同時(shí)固定于氣缸39本體的升降臺(tái)36上升。相反驅(qū)動(dòng)氣缸39 將軸拉入時(shí)，升降臺(tái)36下降。即，伴隨著氣缸39的驅(qū)動(dòng)，升降臺(tái)36進(jìn)行升降。另外，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)氣缸31時(shí)，驅(qū)動(dòng)由帶輪32、帶33及帶輪34構(gòu)成的帶滯 輪機(jī)構(gòu)，使固定于帶輪34的構(gòu)件35旋轉(zhuǎn)。在構(gòu)件35旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，固定于氣缸 39的升降臺(tái)36進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。此處，由于構(gòu)件35的旋轉(zhuǎn)中心偏離于載置臺(tái)12的中 心，因此載置臺(tái)12進(jìn)行偏心旋轉(zhuǎn)。使載置臺(tái)12進(jìn)行偏心旋轉(zhuǎn)是為了不使放置 在鄰接設(shè)置的載裝口上的基板收納容器相互干擾，在本實(shí)施例中，將放置在載 置臺(tái)12上的基板收納容器自身的轉(zhuǎn)動(dòng)(旋轉(zhuǎn))區(qū)域限制在直徑505mm以內(nèi)。另外，雖然分別說(shuō)明了載置臺(tái)12的升降、旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，但是也可以同時(shí)進(jìn)行 升降、旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。接下來(lái)，對(duì)基板收納容器的蓋沒(méi)有正對(duì)裝載口門ll而被放置時(shí)的裝載口整
體的動(dòng)作，尤其是基板收納容器的開(kāi)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明?；迨占{容器的開(kāi)動(dòng)作以載置臺(tái)12 (升降臺(tái)36)上升后的狀態(tài)作為初始狀態(tài)，按以下的步驟來(lái)進(jìn)行。(1) 將基板收納容器放置在載置臺(tái)12上。(2) 使載置臺(tái)12 (升降臺(tái)36)下降。(3) 夾具夾緊基板收納容器(夾緊動(dòng)作)。(4) 在放置基板收納容器的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)載置臺(tái)12，使基板收納容器的取出 口側(cè)正對(duì)裝載口門ll (旋轉(zhuǎn)動(dòng)作)。(5) 載置臺(tái)12向圖3的紙面右方向移動(dòng)，基板收納容器的蓋與裝載口門 11對(duì)接(對(duì)接動(dòng)作)。(6) 吸附部件15a、 15b吸附基板收納容器的蓋。(7) 彈簧鎖鑰匙16a、 16b使基板收納容器的鑰匙旋轉(zhuǎn)以解除門的鎖定狀態(tài)。由于接下來(lái)的動(dòng)作與現(xiàn)有的裝載口相同，故省略其說(shuō)明。另外，也可同時(shí) 進(jìn)行上述步驟(4)及(5)。此處，基板收納容器的蓋被正對(duì)裝載口門放置時(shí)，不需要上述步驟(4)的 動(dòng)作。另外，操作員按照說(shuō)明書(shū)實(shí)行步驟(1)時(shí)，不需要使載置臺(tái)12 (升降臺(tái) 36)上升的初始狀態(tài)及步驟(2)。 B卩，通過(guò)根據(jù)基板收納容器的放置方法來(lái)取 舍選擇上述步驟，能夠靈活地進(jìn)行對(duì)應(yīng)，也可與沒(méi)有反轉(zhuǎn)功能的現(xiàn)有的裝載口 進(jìn)行同樣的操作。如上所述，本實(shí)施例中的裝載口，由于載置臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此不受基板收 納容器的放置方向的限制，能夠靈活地對(duì)應(yīng)裝載口連接的裝置的形狀。另外， 由于載置臺(tái)自身進(jìn)行升降、旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，因此可實(shí)現(xiàn)小型化，且設(shè)置面積小。實(shí)施例2以下對(duì)本發(fā)明第2實(shí)施例的裝載口進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施例中的裝載口為夾具 設(shè)置在升降臺(tái)上。由于此外的結(jié)構(gòu)與第l實(shí)施例相同，因此省略詳細(xì)的說(shuō)明。 此外，基板收納容器的開(kāi)動(dòng)作按以下的步驟來(lái)進(jìn)行。(1) 將基板收納容器放置在載置臺(tái)12上。(2) 夾具夾緊基板收納容器(夾緊動(dòng)作)。(3) 使載置臺(tái)12 (升降臺(tái)36)下降。 (4) 在放置基板收納容器的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)載置臺(tái)12，使基板收納容器的取出 口側(cè)正對(duì)裝載口門ll (旋轉(zhuǎn)動(dòng)作)。(5) 載置臺(tái)12向圖3的紙面右方向移動(dòng)，基板收納容器的蓋與裝載口門 11對(duì)接(對(duì)接動(dòng)作)。由于接下來(lái)與第l實(shí)施例相同故省略其說(shuō)明。另外，上述步驟(2)至(5) 的動(dòng)作也可同時(shí)進(jìn)行。另外，也可選擇地同時(shí)進(jìn)行步驟(3)至(5)的任意的 動(dòng)作。但是，對(duì)于對(duì)接動(dòng)作比其它動(dòng)作在短時(shí)間內(nèi)完成的情況，為了避免基板 收納容器干擾裝載口本體，需要在步驟(5)的對(duì)接動(dòng)作完成之前完成步驟(3)、 (4)的全部動(dòng)作。作為同時(shí)進(jìn)行上述步驟的動(dòng)作的一個(gè)例子，對(duì)僅同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作(步驟 (4))和對(duì)接動(dòng)作(步驟(5))的情況進(jìn)行說(shuō)明。此處，對(duì)接動(dòng)作在比旋轉(zhuǎn)動(dòng) 作短的時(shí)間內(nèi)完成，作為聯(lián)鎖裝置設(shè)有檢測(cè)出載置臺(tái)到達(dá)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置的檢 測(cè)部件。首先，步驟(3)實(shí)行完成后，裝載口的控制器輸出旋轉(zhuǎn)動(dòng)作指令使載置臺(tái) 12旋轉(zhuǎn)。其次，載置臺(tái)到達(dá)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置后，檢測(cè)部件向控制器輸出信號(hào)(聯(lián) 鎖信號(hào))。再次，控制器接收輸出的信號(hào)，發(fā)出對(duì)接指令。其后，與旋轉(zhuǎn)動(dòng)作一 起同時(shí)進(jìn)行對(duì)接動(dòng)作。如此通過(guò)在旋轉(zhuǎn)動(dòng)作中開(kāi)始對(duì)接動(dòng)作，動(dòng)作時(shí)間可比分別進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作和 對(duì)接動(dòng)作的時(shí)間短，可提高動(dòng)作效率。另外，上述檢測(cè)部件也可以是檢測(cè)出到達(dá)規(guī)定位置的位置傳感器。另外， 也可用計(jì)時(shí)器監(jiān)視從上述各動(dòng)作的開(kāi)始指令開(kāi)始所經(jīng)過(guò)的時(shí)間，經(jīng)過(guò)規(guī)定的經(jīng) 過(guò)時(shí)間后，則可視為檢測(cè)出。無(wú)論如何，只要是能夠檢測(cè)出在旋轉(zhuǎn)動(dòng)作中首先 完成對(duì)接而不會(huì)使基板收納容器干擾裝載口的位置的部件，可以是任意檢測(cè)部 件。另外，同吋動(dòng)作并不局限于上述旋轉(zhuǎn)動(dòng)作和對(duì)接動(dòng)作，也可以是任意其它 軸的組合。而且，并不局限于2個(gè)軸的同時(shí)動(dòng)作，也可以是多個(gè)軸的同時(shí)動(dòng)作。如上所述，由于本實(shí)施例的裝載口為夾具設(shè)置在升降臺(tái)上，因此夾緊基板 收納容器后，由于到對(duì)接為止可同時(shí)實(shí)行動(dòng)作，因此動(dòng)作效率良好，可提高生 產(chǎn)能力。
另外，在上述2個(gè)實(shí)施例中，雖然本發(fā)明的裝載口以氣缸作為驅(qū)動(dòng)部件， 但是也可以使用電氣馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)部件。此外，雖然使載置臺(tái)12旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)為帶，帶輪機(jī)構(gòu)，但并不限于該機(jī)構(gòu)， 也可以利用旋轉(zhuǎn)氣缸的直接驅(qū)動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種裝載口，其特征在于，具備用于放置基板收納容器的載置臺(tái)、使前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、使前述載置臺(tái)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、及使前述載置臺(tái)升降的升降機(jī)構(gòu)，開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋。
9. 如權(quán)利要求8所述的裝載口，其特征在于，前述升降機(jī)構(gòu)為氣缸。
10. --種裝載口的控制方法，前述裝載口具備用于放置基板收納容器的載 置臺(tái)和使前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋， 前述載置臺(tái)由第1載置臺(tái)和第2載置臺(tái)構(gòu)成，前述裝載口還具備使前述第1 載置臺(tái)和前述第2載置臺(tái)--起旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、固定于前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并僅使前 述第1載置臺(tái)升降的升降機(jī)構(gòu)、及設(shè)置于前述第2載置臺(tái)的固定前述基板收納容器的夾具，其特征在于，包括以下步驟將前述基板收納容器放置在前述載置臺(tái)上的步驟、 令前述載置臺(tái)進(jìn)行下降動(dòng)作的步驟、令設(shè)置于前述第2載置臺(tái)的夾具進(jìn)行夾緊動(dòng)作的步驟、令前述載置臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的步驟、及令前述載置臺(tái)進(jìn)行對(duì)接動(dòng)作的步驟。
11. 一種裝載口的控制方法，前述裝載口具備用于放置基板收納容器的戰(zhàn) 置臺(tái)和使前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋， 前述載置臺(tái)由第1載置臺(tái)和第2載置臺(tái)構(gòu)成，前述裝載口還具備使前述第1 載置臺(tái)和前述第2載置臺(tái)一起旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、固定于前述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并僅使前 述第1載置臺(tái)升降的升降機(jī)構(gòu)、及設(shè)置于前述第2載置臺(tái)的固定前述基板收納容器的夾具，其特征在于，包括以下步驟將前述基板收納容器放置在前述載置臺(tái)上的步驟、 令設(shè)置于前述第1載置臺(tái)的夾具進(jìn)行夾緊動(dòng)作的步驟、 令前述載置臺(tái)進(jìn)行下降動(dòng)作的步驟、 令前述載置臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的步驟、 及令前述載置臺(tái)進(jìn)行對(duì)接動(dòng)作的步驟。
12. 如權(quán)利要求10至11中任意一項(xiàng)所述的裝載口的控制方法，其特征在于，前述任意步驟中的動(dòng)作滿足了規(guī)定的聯(lián)鎖條件后，運(yùn)行其它的步驟。
13. 如權(quán)利要求12所述的裝載口的控制方法，其特征在于，前述規(guī)定的聯(lián) 鎖條件為檢測(cè)出前述動(dòng)作到達(dá)規(guī)定位置的位置檢測(cè)傳感器的檢測(cè)信號(hào)輸出。
14. 如權(quán)利要求12所述的裝載口的控制方法，其特征在于，前述規(guī)定的聯(lián) 鎖條件為由計(jì)時(shí)器所規(guī)定的經(jīng)過(guò)時(shí)間。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不受基板收納容器的放置方向的限制，能夠根據(jù)裝載口連接的裝置的形狀靈活地對(duì)應(yīng)，同時(shí)小型的裝載口。另外，提供一種動(dòng)作效率高的裝載口。具體為，裝載口具備用于放置基板收納容器的載置臺(tái)(12)和使前述載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并開(kāi)閉前述被放置的基板收納容器的蓋，還具備使前述載置臺(tái)(12)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、及使前述載置臺(tái)升降的升降機(jī)構(gòu)。
文檔編號(hào)B65G49/07GK101116181SQ20068000397
公開(kāi)日2008年1月30日 申請(qǐng)日期2006年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月8日
發(fā)明者今中崇之, 大崎真, 萩尾光昭 申請(qǐng)人:株式會(huì)社安川電機(jī)