技術(shù)編號：4167806
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及開閉收納有半導(dǎo)體基板的基板收納容器的蓋的裝載口，尤其涉 及可不受被放置的基板收納容器的方向影響開閉的反轉(zhuǎn)式裝載口及其控制方 法。背景技術(shù)過去，可不受被放置的F0UP的方向影響開閉的反轉(zhuǎn)式裝載口構(gòu)成為如圖4 所示(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。圖中，41是放置F0UP的裝載板。42及43是使裝載板41旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)、升 降部件。44是載置臺，從裝載板41接收F0UP后，在工作臺45上向箭頭D方向 移動。47是開閉F0UP的蓋的裝載口門。圖中，將F0UP放置在...
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