專利名稱：基片傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基片傳送裝置，更具體地說，涉及用于可靠地傳送基片且檢測(cè)基片接收狀態(tài)的基片傳送裝置。
背景技術(shù)：
在清洗、浸入、沉積和蝕刻處理中，必須將基片傳送至各個(gè)處理位置。這由基片傳送裝置完成。基片傳送裝置是按照預(yù)定程序工作以傳送基片至各個(gè)處理位置的機(jī)械的和自動(dòng)的裝置。
典型的基片傳送裝置具有薄且平的托架，其上放置基片。在托架上形成擋凸以防止在傳送基片時(shí)基片脫離。因?yàn)樵摶瑐魉脱b置簡單地傳送放置在托架上的基片，所以高速傳送時(shí)基片會(huì)在托架上滑動(dòng)。
結(jié)果，為了提高半導(dǎo)體制造設(shè)備的生產(chǎn)率，必須提高基片傳送裝置的基片傳送速度。但是，由于基片傳送裝置的高傳輸速度產(chǎn)生的慣性力，托架上形成的擋凸不能防止基片滑出托架。在使用反射性光學(xué)傳感器檢查基片是否繼續(xù)存在的常規(guī)的基片傳送裝置中，反射性光學(xué)傳感器并非經(jīng)常按照基片的槽口或者平直區(qū)位置檢測(cè)基片。
如前所述，當(dāng)傳送基片時(shí)，常規(guī)的基片傳送裝置不能防止基片滑出。由于基片的滑動(dòng)，該裝置不能高速傳送基片。這會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)特征是提供一種不使用驅(qū)動(dòng)器夾緊托架上的基片的基片傳送裝置。
本發(fā)明的另一個(gè)特征是提供一種在最大基片傳送速度時(shí)牢固地夾緊托架上的基片的基片傳送裝置。
本發(fā)明的又一個(gè)特征是提供一種基片傳送裝置，不管基片的槽口和平直區(qū)位置怎樣，該裝置都能檢查基片是否繼續(xù)存在及是否處于夾緊的狀態(tài)；而且，即使基片旋轉(zhuǎn)時(shí)，該裝置也能檢測(cè)基片。
為了實(shí)現(xiàn)這些特征，本發(fā)明提供一種基片傳送裝置，其包括基座；至少一個(gè)托架，該托架具有在上面放置基片的凹形部件，且從基座上形成的凹槽位置移動(dòng)到基片裝載位置；以及至少一個(gè)夾緊件，當(dāng)所述至少一個(gè)托架從基片裝載位置返回至凹槽位置時(shí)，該夾緊件夾緊放置在托架凹形部件上的基片。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，夾緊件包括推桿和彈性件。推桿具有與基片邊緣接觸的彎曲部分，且設(shè)置在基座上，與所述至少一個(gè)托架在相同的方向上移動(dòng)。彈性件提供彈力以使推桿能從側(cè)面推壓基片的邊緣。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，夾緊件包括與推桿相連的檢查桿；和基片檢測(cè)件，該基片檢測(cè)件包括用于檢測(cè)檢查桿是否移動(dòng)的傳感器。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，上述推桿的彎曲部分比基片的平直區(qū)寬。
在本發(fā)明一些實(shí)施例中，上述托架的凹形部件具有敞開的切口，當(dāng)所述至少一個(gè)托架返回至凹槽位置時(shí)，夾緊件的推桿位于此處。基片的邊緣部分地位于所述敞開的切口上。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，基片傳送裝置還包括光接收傳感器和光發(fā)射傳感器，以檢測(cè)放置在所述至少一個(gè)托架的凹形部件上的基片的接收狀態(tài)。光接收傳感器設(shè)置在基片邊緣的內(nèi)側(cè)，光發(fā)射傳感器設(shè)置在基片邊緣的外側(cè)，斜著對(duì)準(zhǔn)光接收傳感器。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，基座包括安裝在其內(nèi)的驅(qū)動(dòng)器以移動(dòng)所述至少一個(gè)托架?；男D(zhuǎn)和高度是可以控制的。


圖1是按照本發(fā)明的基片傳送裝置的立體圖。
圖2是圖1所示基片傳送裝置的俯視圖。
圖3是圖1所示基片傳送裝置的側(cè)視圖。
圖4顯示安裝在基座處的驅(qū)動(dòng)器組件。
圖5顯示安裝在基座處的夾緊件。
圖6A顯示第一托架移動(dòng)至裝載位置。
圖6B顯示第一托架移動(dòng)至初始位置。
圖7A至圖7C顯示放置不當(dāng)?shù)幕?br> 圖8A和圖8B顯示基片W的槽口和平直區(qū)向推桿移動(dòng)。
圖9和圖10顯示按照本發(fā)明具有光接收傳感器和光發(fā)射傳感器以檢測(cè)基片的基片傳送裝置。
圖11顯示具有兩個(gè)推桿的夾緊件。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖來更充分地說明本發(fā)明，這些附圖顯示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以以不同的方式來實(shí)施，而不應(yīng)該解釋為受此處說明的實(shí)施例所限。相反，提供這些實(shí)施例是為了讓本公開的內(nèi)容詳細(xì)完整，并將本發(fā)明的范圍充分地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。全文中，相似的附圖標(biāo)記表示相似的部件。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，描述具有兩個(gè)托架的基片傳送裝置。可選擇地，基片傳送裝置可以只有一個(gè)托架。
參照?qǐng)D1和圖2，基片傳送裝置100包括主體110、安裝在主體110上部的基座120、在向前和向后方向上移動(dòng)的第一和第二托架130a和130b、夾緊放置在第一和第二托架130a和130b上的基片W的夾緊件140。例如，基座120可以在主體110上旋轉(zhuǎn)，基座120的高度是可以控制的。
例如，基片傳送裝置100具有兩個(gè)托架以進(jìn)行替換操作。兩個(gè)托架中的一個(gè)用于將完全處理好的基片從處理組件處取走，另一個(gè)用于將未處理的基片放置到處理組件處。
第一和第二托架130a和130b可獨(dú)立地在不同高度上前后移動(dòng)。在本實(shí)施例中，第一托架130a設(shè)置得高于第二托架130b。托架130a和130b各自都具有凹形部件132和連接臂136，凹形部件132上放置基片，連接臂136沿著凹形部件132的一側(cè)延伸并與安裝在基座120中的驅(qū)動(dòng)器相連。凹形部件132為“”形，但也可以有各種其它形狀。在凹形部件132的四個(gè)角上形成四個(gè)擋凸134以防止基片脫離。
當(dāng)?shù)谝煌屑?30a或第二托架130b向前(裝載位置)移動(dòng)時(shí)，基片傳送裝置100裝載，當(dāng)它向后(凹槽位置)移動(dòng)時(shí)，基片傳送裝置100傳送。如圖2所示，第一托架130a位于裝載位置，第二托架130b位于凹槽位置。
參照?qǐng)D4，通過安裝在基座120內(nèi)的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器124使得第一和第二托架130a和130b移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)器124可包括電動(dòng)機(jī)124a、用于向第一托架130a或第二托架130b輸送電動(dòng)機(jī)124a動(dòng)力的皮帶輪124b以及用于引導(dǎo)第一托架130a或第二托架130b前后移動(dòng)的導(dǎo)軌124c，這些在圖4中簡單地圖示。無疑，驅(qū)動(dòng)器124可以是其它部件比如汽缸。
參照?qǐng)D2和圖5，夾緊件140起的作用是，當(dāng)?shù)谝煌屑?30a或第二托架130b從裝載位置返回至凹槽位置時(shí)，可靠地夾緊放置在凹形部件132上的基片。夾緊件140包括固定塊142、推桿144和壓縮彈簧146。推桿144安裝在固定塊142上，與第二托架130b在相同的方向上前后移動(dòng)。推桿144具有直接與基片邊緣接觸的彎曲部分144a和兩個(gè)與固定塊142相連的連接桿144b。壓縮彈簧146安裝于連接桿144b處，提供彈力以使推桿144從側(cè)面推壓基片的邊緣。推桿144利用壓縮彈簧146的彈性斥力夾緊基片的邊緣。優(yōu)選的是，推桿144的彎曲部分144a比現(xiàn)有平直區(qū)寬。第一和第二托架130a和130b各自的凹形部件132上具有敞開的切口133，夾緊件140的推桿144位于此處?；吘壊糠值匚挥谒龀ㄩ_的切口133處。
如上所述，夾緊件140具有單個(gè)推桿以夾緊第一和第二托架的基片?？蛇x擇地，如圖11所示，夾緊件140可以具有用于第一托架的推桿144′和用于第二托架的推桿144″。
因?yàn)閵A緊件140不是使用汽缸之類的附加驅(qū)動(dòng)器夾緊基片邊緣，不會(huì)發(fā)生驅(qū)動(dòng)器故障導(dǎo)致的錯(cuò)誤且制造成本降低。
夾緊件140還包括基片檢測(cè)件148以檢測(cè)基片W是否放置在第一托架或者第二托架上?；瑱z測(cè)件148包括與推桿144后端相連的檢查桿148a和用于檢測(cè)檢查桿148a的傳感器148b。如圖6A和圖6B所示，如果基片W正常地放置在第一托架130a或第二托架130b上，且第一托架130a或第二托架130b移動(dòng)到凹槽位置時(shí)，則當(dāng)推桿144與基片邊緣接觸時(shí)，它會(huì)被向后推。此時(shí)，檢查桿148a隨著推桿144向后移動(dòng)，接著，啟動(dòng)傳感器148b檢測(cè)檢查桿148a的末端。
如圖7A至圖7C所示，如果基片W置于凹形部件132的擋凸134上或者放置在一側(cè)，則不會(huì)向后推夾緊件140的推桿144。這樣，傳感器148b關(guān)閉。在這種情況下，傳感器檢測(cè)到?jīng)]有基片或者基片的未夾緊狀態(tài)，拉響警報(bào)并停止處理過程。
如圖8A和圖8B所示，如果基片W的槽口和平直區(qū)面對(duì)推桿144，因?yàn)橥茥U144比平直區(qū)寬，所以向后推動(dòng)推桿144。這樣，啟動(dòng)傳感器148b以檢查基片是否存在和基片的夾緊狀態(tài)。
如上所述，按照本發(fā)明的基片傳送裝置根據(jù)推桿是否移動(dòng)來檢測(cè)基片，而不需要多個(gè)光學(xué)傳感器以檢測(cè)基片。這樣，可避免基片的槽口和平直區(qū)位置導(dǎo)致的故障。
如圖9和10所示，按照本發(fā)明的基片傳送裝置包括光接收傳感器162和光發(fā)射傳感器164以更精密地檢測(cè)基片，它們均為傳輸光纖傳感器。參照?qǐng)D9，光接收傳感器162的末端(光接收面)162a位于基片邊緣的內(nèi)側(cè)，光發(fā)射傳感器164的末端(光發(fā)射面)164a位于基片的外側(cè)。參照?qǐng)D10，光接收傳感器162的末端162a處于基片的下方，光發(fā)射傳感器164的末端164a位于基片的上方。具體地說，光發(fā)射傳感器164和光接收傳感器162沒有設(shè)置在同一條直線上，如圖9所示。也就是說，光接收傳感器162和光發(fā)射傳感器164的光傳輸路徑斜著對(duì)準(zhǔn)以檢測(cè)基片的邊緣。
總之，本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)。
因?yàn)椴皇褂弥T如汽缸之類的附加驅(qū)動(dòng)器夾緊基片的邊緣，所以不會(huì)發(fā)生由驅(qū)動(dòng)器故障導(dǎo)致的錯(cuò)誤，且制造成本降低。按照本發(fā)明的基片傳送裝置根據(jù)推桿是否移動(dòng)來檢測(cè)基片，而不需要多個(gè)光學(xué)傳感器以檢測(cè)基片。這樣，可避免由基片的槽口和平直區(qū)的位置導(dǎo)致的故障。改變了光接收傳感器和光發(fā)射傳感器的位置以更加精密地檢測(cè)基片。
從上述公開的內(nèi)容，本發(fā)明的其它修改和改變對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員是顯而易見的。這樣，雖然此處只具體說明了本發(fā)明的具體實(shí)施例，但是很明顯，還能進(jìn)行多種修改而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種基片傳送裝置，包括基座；至少一個(gè)托架，該托架具有在上面放置基片的凹形部件，且從基座上形成的凹槽位置向基片裝載位置移動(dòng)；以及至少一個(gè)夾緊件，當(dāng)所述至少一個(gè)托架從基片裝載位置返回至凹槽位置時(shí)，該夾緊件夾緊放置在凹形部件上的基片。
2.如權(quán)利要求1所述的基片傳送裝置，其中，所述夾緊件包括推桿，其具有與基片邊緣接觸的彎曲部分，并設(shè)置在基座上，與所述至少一個(gè)托架在相同的方向上移動(dòng)；以及彈性件，其提供彈力以使推桿從側(cè)面推壓基片的邊緣，其中，推桿自動(dòng)夾緊放置在返回至凹槽位置的所述至少一個(gè)托架上的基片的邊緣。
3.如權(quán)利要求2所述的基片傳送裝置，其中，所述夾緊件包括與推桿相連的檢查桿；以及基片檢測(cè)件，該基片檢測(cè)件包括用于檢測(cè)檢查桿是否移動(dòng)的傳感器。
4.如權(quán)利要求2所述的基片傳送裝置，其中，所述彎曲部分比基片的平直區(qū)寬。
5.如權(quán)利要求2所述的基片傳送裝置，其中，所述凹形部件具有敞開的切口，當(dāng)所述至少一個(gè)托架返回至凹槽位置時(shí)，夾緊件的推桿位于此處，基片的邊緣部分地位于所述敞開的切口處。
6.如權(quán)利要求1所述的基片傳送裝置，還包括光接收傳感器和光發(fā)射傳感器，以檢測(cè)放置在所述至少一個(gè)托架的凹形部件上的基片的接收狀態(tài)，其中，該光接收傳感器設(shè)置在基片邊緣的內(nèi)側(cè)，該光發(fā)射傳感器設(shè)置在基片邊緣的外側(cè)，斜著對(duì)準(zhǔn)光接收傳感器。
7.如權(quán)利要求1所述的基片傳送裝置，其中，所述基座包括安裝在其內(nèi)以移動(dòng)所述至少一個(gè)托架的驅(qū)動(dòng)器，且所述基座的高度和旋轉(zhuǎn)是可以控制的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于可靠地傳送基片并檢測(cè)基片的接收狀態(tài)的基片傳送裝置。該基片傳送裝置包括夾緊件，當(dāng)托架從裝載位置返回至凹槽位置時(shí)，該夾緊件夾緊放置在托架凹形部件上的基片。夾緊件可以包括推桿和彈性件。推桿具有與基片邊緣接觸的彎曲部分，并設(shè)置在基座上，與至少一個(gè)托架在相同的方向上移動(dòng)，彈性件提供彈力以使推桿從側(cè)面推壓基片邊緣。
文檔編號(hào)B65G49/07GK1733577SQ20051007518
公開日2006年2月15日 申請(qǐng)日期2005年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月12日
發(fā)明者樸舟楫, 崔貞烈 申請(qǐng)人:塞梅斯株式會(huì)社