技術編號：4178616
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及基片傳送裝置，更具體地說，涉及用于可靠地傳送基片且檢測基片接收狀態(tài)的基片傳送裝置。背景技術 在清洗、浸入、沉積和蝕刻處理中，必須將基片傳送至各個處理位置。這由基片傳送裝置完成?；瑐魉脱b置是按照預定程序工作以傳送基片至各個處理位置的機械的和自動的裝置。典型的基片傳送裝置具有薄且平的托架，其上放置基片。在托架上形成擋凸以防止在傳送基片時基片脫離。因為該基片傳送裝置簡單地傳送放置在托架上的基片，所以高速傳送時基片會在托架上滑動。結果，為了提高半導體制...
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