專(zhuān)利名稱(chēng)：平板顯示器傳送系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及平板顯示器傳送系統(tǒng)和方法，具體涉及能夠節(jié)約工作空間并能提高處理和設(shè)備效率的平板顯示器傳送系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
對(duì)于例如平板顯示器、半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器和光掩膜玻璃的平板通常都需要進(jìn)行一系列的處理，例如沉積、蝕刻、去膜、清潔和沖洗處理。這些處理是在一個(gè)清潔室中進(jìn)行的，并且每一種處理具有一個(gè)處理區(qū)域。
圖16示出了現(xiàn)有的平板傳送系統(tǒng)。
用于進(jìn)行上述處理的處理裝置100布置在清潔室R中，以提高處理效率。
傳送單元110設(shè)置在處理裝置100上并對(duì)應(yīng)板供給區(qū)域120，這樣可以將板有效地提供到裝置100的板處理區(qū)域中。例如，傳送單元由用于板的垂直和水平移動(dòng)的緩沖器單元或傳送器單元組成。
在和清潔室R中的板供給區(qū)域120間隔一定距離的板保存區(qū)域130中的板盒140中接收板。通過(guò)板傳送系統(tǒng)將板盒140中接收的板傳送到板供給區(qū)域120。
板傳送系統(tǒng)包括在板保存區(qū)域130和板供給區(qū)域120中移動(dòng)的傳送車(chē)V，例如自動(dòng)防護(hù)車(chē)。板盒140裝載到傳送車(chē)V上，并被傳送到對(duì)應(yīng)于一個(gè)板處理裝置100的板供給區(qū)域120。
如本領(lǐng)域所公知的，傳送車(chē)V使用電源作為驅(qū)動(dòng)源，并沿著軌道移動(dòng)。
在每個(gè)板保存區(qū)域130和板供給區(qū)域120上安裝了一個(gè)形成為桌子形狀的供給/保存臺(tái)，板盒140設(shè)置在供給/保存臺(tái)上。在板供給區(qū)域120中安裝了例如機(jī)器人臂的板裝載單元150，用來(lái)從臺(tái)上設(shè)置的板盒140中逐個(gè)提取板。
參考圖17，下面將簡(jiǎn)要說(shuō)明使用該板傳送系統(tǒng)將板傳送到對(duì)應(yīng)板處理裝置的傳送處理。
傳送處理包括如下步驟裝載設(shè)置在板保存區(qū)域中的板盒并接收多個(gè)板(201)，將板盒傳送到板處理區(qū)域(202)，卸載板處理區(qū)域中的板盒(203)，將板盒中接收的板供給到板處理裝置(204)。
但是，在上述板傳送方法中，傳送處理由多個(gè)步驟組成，從而使處理復(fù)雜并浪費(fèi)了時(shí)間。
另外，由于在清潔室中需要設(shè)置用來(lái)傳送要在板處理裝置中處理的板的附加傳送系統(tǒng)，從而使處理進(jìn)一步復(fù)雜化，降低了處理效率。
此外，臺(tái)、傳送單元和裝載/卸載單元的安裝必然地增加了清潔室的空間，從而增加了清潔室的制造成本。
為了處理大尺寸的板，必須根據(jù)大尺寸板增大保存區(qū)域、供給區(qū)域和傳送區(qū)域。這也必然增加了清潔室空間，降低了清潔室的空間效率。
另外，由于將傳送車(chē)設(shè)計(jì)為僅僅在預(yù)定部分之間移動(dòng)，例如在保存區(qū)域、供給區(qū)域和傳送區(qū)域之間移動(dòng)，這樣很難期望傳送車(chē)能執(zhí)行附加功能。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明致力于解決上述問(wèn)題。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種能減少傳送步驟的數(shù)量并節(jié)約板占用的空間的板傳送系統(tǒng)和方法。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的板傳送系統(tǒng)包括用于接收多個(gè)板的板盒；用于傳送板盒的傳送車(chē)，其中傳送車(chē)包括安裝在主體上用來(lái)在板處理單元上裝載板盒和/或從板處理單元卸載板盒的裝載/卸載單元；安裝在主體上用于將板供給到板處理區(qū)域和/或從板處理區(qū)域接收板的板傳送單元；以及主體中支持板盒的提升單元。
在本發(fā)明的另一方面，提供的板傳送方法包括如下步驟裝載在板保存區(qū)域中接收板的板盒；將板盒傳送到板處理區(qū)域；將板盒中接收的板從傳送車(chē)供給到板處理裝置。
在本發(fā)明的另一方面，所提供的板傳送方法包括如下步驟將處理后的板收集到裝載在傳送車(chē)上的板盒中；將其中收集了處理后的板的板盒傳送到板保存區(qū)域；將裝載在傳送車(chē)上的板盒卸載到板保存區(qū)域。


本發(fā)明包括附圖以提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，附圖包括在本申請(qǐng)中并組成本申請(qǐng)的一部分，附圖展示了本發(fā)明的實(shí)施例，并和說(shuō)明書(shū)一起用來(lái)解釋本發(fā)明的原理。在這些附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的板傳送系統(tǒng)的透視圖；圖2是圖1所示的板傳送系統(tǒng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的透視圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的安裝在清潔室中的板傳送系統(tǒng)的俯視圖；圖4是圖1所示的板盒的透視圖；圖5是圖4的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖6是展示了圖3的傳送車(chē)安裝在板保存區(qū)域的狀態(tài)的透視圖；圖7是展示了通過(guò)提升單元改變圖2裝載板的位置的結(jié)構(gòu)的透視圖；圖8是圖7的剖視圖；圖9是展示了圖3的傳送車(chē)位移到能供給板供給區(qū)域中的板的位置的狀態(tài)的剖視圖；圖10是展示了隨著提升單元改變盒的位置由板傳送單元提供板的狀態(tài)的剖視圖；圖11是圖10的透視圖；圖12是圖10中所示提升單元和板傳送單元將板提供到盒上形成的頂接收槽的狀態(tài)的剖視圖；
圖13是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的板供給處理的流程圖；圖14是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的處理后的板的收集處理的流程圖；圖15是圖14的處理后的板的收集處理的剖視圖；圖16是現(xiàn)有板傳送系統(tǒng)的俯視圖；和圖17是現(xiàn)有板傳送處理的流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面將詳細(xì)參考本發(fā)明的較佳實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明，附圖示出了較佳實(shí)施例的示例。只要可能，在所有圖中將使用相同的附圖標(biāo)記表示相同或相似的部件。
參考圖1至圖3，本發(fā)明的板傳送系統(tǒng)包括用于接收多個(gè)板P的板盒2，以及用于將板盒傳送到板處理區(qū)域的傳送車(chē)4。
如圖3所示，傳送路徑形成為“”形。也就是說(shuō)，對(duì)應(yīng)于板處理裝置D的板供給區(qū)域A1以“”形和用于保存板P的板保存區(qū)域A2相間隔。傳送車(chē)4沿著形路徑移動(dòng)。
在板處理裝置D上設(shè)置了滾筒傳送單元F，這樣可以將板P裝載到傳送車(chē)4中，然后將板P提供到處理裝置D中。
板盒2用作接收和傳送板P的托盤(pán)。也就是說(shuō)，如圖4和圖5所示，板盒2為盒子形狀，其上具有多個(gè)用于接收板P的接收槽6。即板P裝載在板盒2中。
接收槽6具有導(dǎo)向槽G1，這樣例如傳送車(chē)4的板供給單元16可以抽取板。導(dǎo)向槽G1的尺寸使得板傳送單元16能夠通過(guò)對(duì)應(yīng)于板接收槽6的導(dǎo)向槽G1抽取板P。
板盒2由不容易被外力或沖擊破壞的合成樹(shù)脂形成，這樣不會(huì)產(chǎn)生有劃痕和靜電。板盒2可以通過(guò)模塑處理形成。
傳送車(chē)4將接收板P的板盒2從清潔室R的保存區(qū)域A2傳送到對(duì)應(yīng)于板處理裝置D的板供給區(qū)域A1。下面將更詳細(xì)地說(shuō)明傳送車(chē)4。
傳送車(chē)4包括一個(gè)可移動(dòng)的主體10、用于將板盒2裝載到主體10上以及從主體10上卸載板盒2的裝載/卸載單元12、用于將板盒2中接收的板P供給到板處理裝置D的板傳送單元14、以及用于改變板盒2的位置以允許板傳送單元14逐個(gè)抽取板的提升單元16。在此實(shí)施例中，如圖2所示，在提升單元16中安裝了用于可拆卸地支持板盒2的裝載板18。
主體10提供了安裝裝載板18、板傳送單元14和提升單元16的空間。也就是說(shuō)，如圖2所示，主體10為盒子形狀。
主體10被設(shè)計(jì)為在清潔室R的預(yù)定部分之間移動(dòng)。在此實(shí)施例中，如圖1和圖2所示，在清潔室R的底部對(duì)應(yīng)于主體10的移動(dòng)路徑安裝了導(dǎo)向桿B。主體10上具有用于檢測(cè)導(dǎo)向桿B的位置的傳感器S1。傳感器S1可以是紅外傳感器，也可以是光學(xué)傳感器。主體10根據(jù)傳感器S1的檢測(cè)操作移動(dòng)。
如圖1所示，為了允許主體10沿著清潔室R的預(yù)定路徑移動(dòng)，如圖1所示安裝了輪子W。輪子由例如電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)。
除了輪子，也可以用其他驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)來(lái)移動(dòng)主體10。
主體可以由金屬或例如經(jīng)過(guò)模塑處理形成的合成樹(shù)脂形成。
裝載板18支持板盒2，這樣板盒2可以從主體10的預(yù)定位置拆卸。在此實(shí)施例中，如圖2所示，裝載板18具有對(duì)應(yīng)于板盒2的底部的支持槽20，并對(duì)應(yīng)于主體10的頂部開(kāi)口22定位。
在裝載板18的環(huán)形外緣上，具有方形的凸起8a和槽8b，這樣如圖7所示，可以允許提升單元16在主體10的開(kāi)口中引導(dǎo)垂直運(yùn)動(dòng)。
裝載板18進(jìn)一步具有和板盒2的導(dǎo)向槽G1的形狀相同的導(dǎo)向槽G2，以允許板傳送單元14穿過(guò)其中(見(jiàn)圖2)。
在裝載板18的支持槽20的表面安裝了傳感器S2，用于檢測(cè)板盒2的安裝。傳感器S2可以是光學(xué)傳感器，也可以是限位開(kāi)關(guān)。
如圖6所示，裝載/卸載單元12用來(lái)容易地將主體10上的板盒2裝載到板保存區(qū)域A2中。在此實(shí)施例中，如圖1所示，裝載/卸載單元12由兩個(gè)臂形成，主體10位于兩個(gè)臂之間。在臂之間的連接元件上安裝了用來(lái)吸附板盒2的吸附元件12a。
由于可以根據(jù)公知技術(shù)形成裝載和卸載單元12，這里省略了其詳細(xì)說(shuō)明。
傳送單元14用來(lái)將沿垂直方向裝載的板從板盒2供給到板處理裝置D。在此實(shí)施例中，如圖2所示，傳送單元14包括兩套，每一套具有一個(gè)同步皮帶24和一個(gè)滑輪26。
如圖2所示，提供了用來(lái)可旋轉(zhuǎn)地支持滑輪26的支持元件28，例如軸承座。在支持元件上安裝了例如電機(jī)的動(dòng)力源M1，以通過(guò)鏈輪組件或者齒輪到齒輪的嚙合向滑輪26傳送扭矩。
如圖8所示，板傳送單元14對(duì)應(yīng)于板抽取側(cè)水平突出，這樣可以容易地將板P提供到板處理裝置D的傳送部分F。
由滑輪26拉伸的帶24的提升部分的長(zhǎng)度使得它可以有效地支持和移動(dòng)板P。
帶24經(jīng)過(guò)了表面處理或者覆蓋有涂層，并具有凹部和凸部，以減小和板P的接觸面積，并防止板P被劃傷。
盡管傳送單元14由帶24和滑輪26組成，但是本發(fā)明并不局限于此。
例如，可以提供用來(lái)傳送板P的滾筒。
同時(shí)，裝載板18被設(shè)計(jì)為通過(guò)提升單元16在主體10中垂直移動(dòng)。在此實(shí)施例中，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸30的每個(gè)都具有螺絲，并連接到裝載板18。旋轉(zhuǎn)軸30由例如電機(jī)的驅(qū)動(dòng)源M2驅(qū)動(dòng)，它的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)被轉(zhuǎn)換成線性運(yùn)動(dòng)，以移動(dòng)裝載板18。
也就是說(shuō)，如圖2所示，旋轉(zhuǎn)軸30連接到固定在主體10的底部的驅(qū)動(dòng)源M2，以引導(dǎo)裝載板18的垂直移動(dòng)。
在裝載板18上安裝了導(dǎo)塊32，旋轉(zhuǎn)軸30和在導(dǎo)塊32上形成的螺旋槽螺紋連接。導(dǎo)塊32到旋轉(zhuǎn)軸30的螺紋連接使裝載板18的移動(dòng)更加精確，并降低了磨損，增加了使用壽命。螺紋可以是球形螺紋、三角形螺紋或者方形螺紋。
當(dāng)板傳送單元14將板盒2中接收的板P提供到板處理裝置D的傳送部分F時(shí)，提升單元16移動(dòng)裝載板18，以從最下的板按順序逐個(gè)供給板。
也就是說(shuō)，如圖9所示，在板盒2裝載在裝載板18上的狀態(tài)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸30在一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，如圖10和圖11所示，裝載板18在主體10中向下移動(dòng)，以將板盒的最下層接收槽6中接收的板P移動(dòng)到板傳送單元14的帶24的表面。
在這一點(diǎn)上，提升裝置移動(dòng)裝載板18，使得板盒2的最下層槽6中接收的板P僅僅接觸接收槽6中帶24的表面，并從接收槽6的底部移開(kāi)。
隨著帶24由驅(qū)動(dòng)源M1驅(qū)動(dòng)的滑輪26旋轉(zhuǎn)，位于帶24的表面上的板P被供給到板處理裝置D的傳送部分F。
當(dāng)板P被供給到傳送部分F，提升單元16按上述同樣操作，從而以從最下層到最上層的順序連續(xù)地供給板(見(jiàn)圖12)。
在主體10中可以安裝例如光學(xué)傳感器或者限位開(kāi)關(guān)的傳感器來(lái)檢測(cè)裝載板18的位置，從而控制裝載板18，允許提升單元16將裝載板移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于板盒2的各個(gè)接收槽6的一個(gè)位置上。由于根據(jù)傳感器的檢測(cè)的控制方法是本領(lǐng)域公知技術(shù)，這里省略了其詳細(xì)說(shuō)明。
在上述說(shuō)明中，盡管提升單元16具有和裝載板18螺紋連接的旋轉(zhuǎn)軸30，以垂直移動(dòng)裝載板18，本發(fā)明并不局限于此。
例如，可以在主體10中安裝一個(gè)汽缸，這樣裝載板18可以通過(guò)汽缸的活塞桿的線性運(yùn)動(dòng)來(lái)垂直移動(dòng)。也就是說(shuō)，提升單元可以由多種結(jié)構(gòu)形成。
下面將參考附圖詳細(xì)說(shuō)明使用上述板傳送系統(tǒng)的板傳送方法。
圖13是示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的板傳送方法的流程圖。
本發(fā)明的板傳送方法包括如下步驟裝載在板保存區(qū)域中接收板的板盒(S1)，將板盒傳送到板處理區(qū)域(S2)，將板盒中接收的板從傳送車(chē)供給到板處理裝置(S3)。
在步驟S1，如圖6所示，將位于板保存區(qū)域A2中的板盒2裝載到傳送車(chē)4的裝載板18上。也就是說(shuō)，主體10的裝載/卸載單元12吸附板保存區(qū)域A2中的板盒2，并如圖1所示將板盒2裝載到裝載板18上。
在這一點(diǎn)上，如圖9所示，在對(duì)應(yīng)于主體10的板抽取側(cè)設(shè)置板盒2的接收槽6。以各個(gè)接收槽6接收板的狀態(tài)裝載板盒2。
在步驟S2，如圖1所示，在清潔室R的底部安裝了用于引導(dǎo)傳送車(chē)4的移動(dòng)的導(dǎo)向桿B，安裝在主體10中的傳感器S1檢測(cè)導(dǎo)向桿B，這樣傳送車(chē)4可以通過(guò)輪子沿著預(yù)定路徑移動(dòng)，以將板盒2傳送到板供給區(qū)域A1。
當(dāng)其上裝載了板盒的傳送車(chē)4位于對(duì)應(yīng)板處理裝置D的板供給區(qū)域A1上時(shí)，將板P供給到板處理裝置D的傳送部分F。
在步驟S3，操作裝載板18、板傳送單元14和提升單元16，以從傳送車(chē)4供給板。
也就是說(shuō)，如圖10所示，操作提升單元14，如圖10所示向下移動(dòng)裝載板18，這樣如圖9所示，在傳送車(chē)4上裝載的板盒2的最下層接收槽6中接收的板P可以通過(guò)接觸板傳送單元14的帶24而移動(dòng)。
在上述狀態(tài)，如圖10所示，隨著板傳送單元14的操作，板P被水平供給到板處理裝置D的傳送部分F，并移動(dòng)到主體的板抽取側(cè)。裝載在傳送單元F的板P被供給到板處理裝置D，并通過(guò)一系列工序進(jìn)行處理。
當(dāng)將在板盒2的最下層接收槽6中接收的板P供給到傳送部分F時(shí)，隨著在提升單元16的作用下對(duì)應(yīng)于接收槽6向下移動(dòng)，裝載板從最下側(cè)逐個(gè)抽取板盒2中接收的板。結(jié)果，如圖12所示，從最下層槽到最上層槽的所有板P被有效地供給到傳送部分F。
因此，當(dāng)使用了上述發(fā)明的傳送車(chē)4后，可以將板P從板供給區(qū)域A1傳送和供給到板處理裝置D。
盡管通過(guò)傳送車(chē)4實(shí)現(xiàn)了將板盒2中接收的板P供給到板處理裝置D，但是本發(fā)明并不局限于此。
例如，可以使用本發(fā)明的板傳送系統(tǒng)來(lái)收集處理后的板P1，并將收集的板傳送到板保存區(qū)域。
圖14示出了收集處理后的板的方法的流程圖。
收集處理后的板的方法包括如下步驟將處理后的板收集到傳送車(chē)上設(shè)置的板盒(S4)，將收集了處理后的板的板盒傳送到板保存區(qū)域(S5)，將裝載在傳送車(chē)上的板盒卸載到板保存區(qū)域(S6)。
在步驟S4，當(dāng)在板處理裝置D中處理的板P1位于板處置裝置D的卸載傳送部分F1上時(shí)，形成了預(yù)定的收集部分，這樣傳送車(chē)4位于收集區(qū)域，并以板供給處理的相反方向進(jìn)行板收集處理。也就是說(shuō)，板傳送單元14接收設(shè)置在板處理裝置的卸載側(cè)上的處理后的板P1，其操作方向如圖15所示。板傳送單元14將板P1移動(dòng)到板盒2的接收區(qū)域，以將板P1接收到板盒2的接收槽6。
在這一點(diǎn)上，板盒2以和板供給處理相反的過(guò)程接收板。也就是說(shuō)，提升單元16逐步將板盒2向上移動(dòng)，這樣能以從最上層向最下層的順序在接收槽6中接收板P1。
當(dāng)收集了處理后的板P1時(shí)，在步驟S5中，傳送車(chē)4沿著板收集路徑移動(dòng)，以將板傳送到板保存區(qū)域。當(dāng)裝載在傳送車(chē)4上的板盒2移動(dòng)到板保存區(qū)域時(shí)，在步驟S6操作裝載/卸載單元12，以將板盒2卸載到板保存區(qū)域中，從而完成了板收集處理。
盡管將本發(fā)明的板傳送系統(tǒng)設(shè)計(jì)為將處理后的板傳送到板保存區(qū)域，本發(fā)明并不局限于此，也可以設(shè)計(jì)為將處理后的板P1傳送到另一個(gè)處理單元。
根據(jù)本發(fā)明，由于將板傳送系統(tǒng)設(shè)計(jì)為傳送板到處理裝置并收集處理后的板，因此板傳送效率得到了顯著提高。
另外，由于使用了傳送車(chē)來(lái)將板對(duì)應(yīng)供給和收集到板處理區(qū)域和板保存區(qū)域，不再需要現(xiàn)有技術(shù)中使用的多種設(shè)備，例如緩沖器單元、臺(tái)、機(jī)器人臂等等，從而節(jié)約了清潔室的工作空間和制造成本。
此外，由于將板傳送單元和提升單元的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)得很簡(jiǎn)單，因此節(jié)約了它們的制造成本。
另外，由于在傳送車(chē)上直接實(shí)現(xiàn)了板供給/收集處理，因此極大地提高了工作效率和處理效率。
本領(lǐng)域技術(shù)人員可以知道本發(fā)明有多種修改和變化。因此，只要它們落在附屬權(quán)利要求及其等價(jià)替換的范圍之內(nèi)，可以認(rèn)為本發(fā)明涵蓋了本發(fā)明的這些修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種板傳送系統(tǒng)，包括用于接收多個(gè)板的板盒，和用于傳送板盒的傳送車(chē)，其中傳送車(chē)包括；安裝在主體上的裝載/卸載單元，用于將板盒裝載到板處理單元和/或從板處理單元卸載板盒；安裝在主體上的板傳送單元，用于將板供給到板處理區(qū)域和/或從板處理區(qū)域收集板；和主體中支持板盒的提升單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板傳送系統(tǒng)，其中板傳送單元由用來(lái)水平移動(dòng)板的一對(duì)帶/滑輪單元或一對(duì)滾筒形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板傳送系統(tǒng)，其中提升單元設(shè)計(jì)為以在板盒中堆積板的方向移動(dòng)板盒。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板傳送系統(tǒng)，其中提升單元設(shè)計(jì)為以按照從最下板到最上板的順序逐個(gè)抽取板盒中接收的板的方式移動(dòng)板盒。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板傳送系統(tǒng)，其中提升單元設(shè)計(jì)為以按照從最上側(cè)到最下側(cè)的順序逐個(gè)將板接收到板盒的板接收區(qū)域中的方式移動(dòng)板盒。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板傳送系統(tǒng)，其中板盒具有其中按照相互之間間隔一定距離的方式堆積板的板接收區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的板傳送系統(tǒng)，其中板接收區(qū)域具有多個(gè)用于水平接收板的槽。
8.一種板傳送方法，包括如下步驟裝載在板保存區(qū)域中接收板的板盒；將板盒傳送到板處理區(qū)域；和將板盒接收的板從傳送車(chē)供給到板處理裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的板傳送方法，其中在供給板的步驟中，按照從最下板到最上板的順序逐個(gè)供給板盒中堆積的板。
10.一種板傳送方法，包括如下步驟將處理后的板收集到裝載在傳送車(chē)上的板盒中；將其中收集了處理后的板的板盒傳送到板保存區(qū)域；和將傳送車(chē)上裝載的板盒卸載到板保存區(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的板傳送方法，其中在收集處理后的板的步驟中，按照從最上側(cè)到最下側(cè)的順序?qū)⑻幚砗蟮陌逯饌€(gè)接收到板接收區(qū)域中。
全文摘要
一種板傳送系統(tǒng)，包括用于接收多個(gè)板的板盒和用于傳送板盒的傳送車(chē)。傳送車(chē)包括安裝在主體上用于將板盒裝載到板處理單元上和/或從板處理單元卸載板盒的裝載/卸載單元，安裝在主體上用于將板供給到板處理區(qū)域和/或從板處理區(qū)域收集板的板傳送單元，以及主體中支持板盒的提升單元。
文檔編號(hào)B65G49/06GK1611429SQ20041008682
公開(kāi)日2005年5月4日 申請(qǐng)日期2004年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月28日
發(fā)明者樸庸碩 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社