技術(shù)編號(hào)：4210365
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，具體涉及能夠節(jié)約工作空間并能提高處理和設(shè)備效率的。背景技術(shù) 對(duì)于例如平板顯示器、半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器和光掩膜玻璃的平板通常都需要進(jìn)行一系列的處理，例如沉積、蝕刻、去膜、清潔和沖洗處理。這些處理是在一個(gè)清潔室中進(jìn)行的，并且每一種處理具有一個(gè)處理區(qū)域。圖16示出了現(xiàn)有的平板傳送系統(tǒng)。用于進(jìn)行上述處理的處理裝置100布置在清潔室R中，以提高處理效率。傳送單元110設(shè)置在處理裝置100上并對(duì)應(yīng)板供給區(qū)域120，這樣可以將板有效地提供到裝置100的板處...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。