專利名稱：基板的吸引保持方法及使用該方法的吸引保持輸送機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及吸引保持粘合母液晶面板基板之類的基板的吸引保持方法及使用該方法的吸引保持輸送機(jī)。
背景技術(shù)：
粘合母液晶面板基板之類的脆性材料基板的截?cái)?，是用劃線裝置和斷開裝置等多個(gè)裝置連續(xù)地進(jìn)行截?cái)嗉庸さ?。在該截?cái)喙ば蛑校姘寤逵奢斔蜋C(jī)保持著，并在這些裝置之間進(jìn)行輸送。例如，用劃線裝置形成了劃線的面板基板，接著，被輸送到斷開裝置，并沿著劃線壓下而被斷開。
圖1所示為粘合母液晶面板基板的截?cái)喙ば颉?br> (1)首先，用第一劃線裝置將玻璃切割輪2壓緊在粘合母液晶面板基板1的一側(cè)的玻璃基板A上，并使其轉(zhuǎn)動(dòng)，于是形成劃線Sa。
(2)將該粘合母液晶面板基板1的表面，背面翻轉(zhuǎn)過來，并輸送到第一斷開裝置，在底板M上將斷開柄3沿著劃線Sa壓在玻璃基板B上，于是，下側(cè)的玻璃基板A便沿著劃線Sa斷開。
(3)接著，將該粘合母液晶面板基板1，輸送至第二劃線裝置，將玻璃切割輪2壓緊在另一側(cè)的玻璃基板B上，并使其轉(zhuǎn)動(dòng)，從而形成劃線Sb。
(4)接著，將粘合母液晶面板基板1的表面，背面翻轉(zhuǎn)過來，并送到第二斷開裝置，在底板M上，將斷開柄3沿著劃線Sb壓在玻璃基板A上，于是，下側(cè)的玻璃基板B便沿著劃線Sb斷開，粘合母液晶面板基板1被分成兩部分。
圖2和圖3表示現(xiàn)有技術(shù)的懸臂式支承結(jié)構(gòu)的輸送機(jī)。圖1所示的粘合母液晶面板基板的斷開，將其輸送到下道工序，用圖2、圖3所示的輸送機(jī)，在該狀態(tài)下吸引固定整個(gè)粘合母液晶面板基板，將其保持住，并進(jìn)行輸送。
在該輸送機(jī)上，小齒輪19通過馬達(dá)23而轉(zhuǎn)動(dòng)，通過小齒輪19與齒條18的組合使移動(dòng)臺(tái)20沿軌道17移動(dòng)。水平支持板48，通過安裝在從該移動(dòng)臺(tái)20向側(cè)方延伸的延伸設(shè)置片25上的液壓缸27而上下運(yùn)動(dòng)，吸引固定機(jī)構(gòu)49、50(多孔性材質(zhì))通過彈簧53并用螺栓51和螺母52支持在該水平支持板48的下側(cè)。這樣，便可調(diào)節(jié)吸引固定機(jī)構(gòu)相對(duì)于工作臺(tái)表面的傾斜，及吸引固定機(jī)構(gòu)離工作臺(tái)的距離。
但是，由于該現(xiàn)有輸送機(jī)的吸引固定機(jī)構(gòu)49、50是用單臂支持結(jié)構(gòu)的延伸設(shè)置片25支持著，故延伸設(shè)置片25稍向下方撓曲，往往會(huì)使吸引固定機(jī)構(gòu)49、50傾斜。這種情況下，吸引固定機(jī)構(gòu)50的下表面與粘合母液晶面板基板表面之間的真空壓力降低，故粘合母液晶面板基板1的一部分不能被吸引固定機(jī)構(gòu)50吸引、或過分按壓粘合母液晶面板基板1的表面，粘合的各玻璃基板的截?cái)嗝嫔袭a(chǎn)生缺口，往往造成粘合母液晶面板基板1截?cái)嗪蟮?，作為單一制品基板的液晶面板元件基板的質(zhì)量不良。
因此，為了不產(chǎn)生這種不良現(xiàn)象，通過調(diào)整4處的螺栓51和螺母52，使吸引固定機(jī)構(gòu)在水平支持板48的下面、相對(duì)于載置在工作臺(tái)上的粘合母液晶面板基板1(工作臺(tái))成水平(平行)狀態(tài)。但是，該調(diào)整需要時(shí)間，而且，每次變更粘合母液晶面板基板1的品種、或粘合母液晶面板基板1的厚度時(shí)，必須再一次進(jìn)行上述調(diào)整。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可容易地調(diào)整吸引固定部件相對(duì)于工作臺(tái)表面的傾斜和吸引固定部件離工作臺(tái)的距離的吸引保持方法和使用該方法的吸引保持輸送機(jī)。
本發(fā)明的吸引保持輸送機(jī)，是具有吸引固定部件的吸引保持輸送機(jī)，該吸引固定部件利用吸引作用保持住載置在工作臺(tái)上的基板，該輸送機(jī)具有支持上述吸引固定部件用的支持部件，和安裝在上述吸引固定部件上，且可單獨(dú)調(diào)節(jié)上述工作臺(tái)的表面與上述吸引固定部件之間的距離的多個(gè)距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
該吸引保持輸送機(jī)的上述距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)具有例如作為制動(dòng)器與工作臺(tái)接觸的桿；使該桿上下運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)；以及固定在上述吸引固定部件上，用于支持上述桿和上述馬達(dá)的支持部件。該吸引保持輸送機(jī)，最好還具有檢測上述吸引固定部件是否與上述工作臺(tái)平行的檢測機(jī)構(gòu)。另外，該吸引保持輸送機(jī)，最好還具有支持上述支持部件、且使其移動(dòng)的移動(dòng)裝置。
本發(fā)明的保持方法，是將載置于工作臺(tái)上的基板保持在吸引固定部件上的吸引保持方法，該方法利用上述吸引固定部件來吸引保持上述基板時(shí)，通過在上述吸引固定部件的多處改變上述工作臺(tái)的表面與上述吸引固定部件之間的距離，便可調(diào)節(jié)上述吸引固定部件的傾斜狀況和離上述工作臺(tái)表面的距離。
本發(fā)明中，由于可將吸引固定部件保持為與工作臺(tái)表面平行，故在斷開后的脆性材料等的基板的斷開面上不產(chǎn)生缺口的情況下，可確實(shí)保持基板。即使在基板厚度改變了的情況下，只改變多處的傾斜調(diào)節(jié)桿的各自的下端位置便可確實(shí)地保持基板。


圖1是表示粘合母液晶面板基板的劃線和斷開工序的順序之圖。
圖2是現(xiàn)有技術(shù)的吸引保持輸送機(jī)的側(cè)視圖。
圖3是圖2的吸引保持輸送機(jī)的俯視圖。
圖4是本發(fā)明的一實(shí)施形式的吸引保持輸送機(jī)之側(cè)視圖。
圖5是圖4的吸引保持部件之側(cè)視圖。
圖6是圖5的吸引保持部件之俯視圖。
圖7是表示吸盤的詳細(xì)情況的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)發(fā)明的實(shí)施形式作說明。
圖4所示為本發(fā)明一實(shí)施形式的吸引保持輸送機(jī)的構(gòu)造。該吸引保持輸送機(jī)與圖2所示的現(xiàn)有技術(shù)的輸送機(jī)相比，吸引固定脆性材料基板的吸引固定部的結(jié)構(gòu)不同，對(duì)工作臺(tái)84上的脆性材料(例如玻璃)的面板基板1(例如粘合母液晶面板)進(jìn)行保持、輸送。
對(duì)該吸引保持輸送機(jī)的概略結(jié)構(gòu)作說明，移動(dòng)臺(tái)20設(shè)置在載置有粘合母液晶面板基板1的工作臺(tái)84的側(cè)方。用馬達(dá)23使小齒輪19回轉(zhuǎn)，通過小齒輪19與齒條18的組合，移動(dòng)臺(tái)20便沿著軌道17移動(dòng)。設(shè)有從該移動(dòng)臺(tái)20向其移動(dòng)方向的側(cè)方延伸的延伸設(shè)置片61，在延伸設(shè)置片上安裝有液壓缸64。水平支持板62設(shè)在延伸設(shè)置片61的下方，吸引粘合母液晶面板基板1的吸引固定部件69位于水平支持板62的下方。液壓缸64支持著水平支持板62，使水平支持板62上下移動(dòng)。在此，2根軸63在延伸設(shè)置片61的長度方向上的液壓缸64的兩側(cè)固定在被液壓缸64支持的水平支持板62上，插通自如地貫通設(shè)在延伸設(shè)置片61上的線性軸襯70(圖5)。固定于吸引固定部件69上的4根軸67，插通水平支持板62，通過彈簧71(圖5)來調(diào)節(jié)螺母66(圖5)，由此，調(diào)整吸引固定部件69自身的水平方向的平衡。另外，以多個(gè)距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)之一為例，傾斜調(diào)節(jié)板82安裝在吸引固定部件69上，可單獨(dú)地調(diào)節(jié)吸引固定部件69與載置有面板基板1的工作臺(tái)84的表面的距離。這樣，可對(duì)吸引固定部件的傾斜進(jìn)行調(diào)節(jié)。
更詳細(xì)地加以說明，圖5是表示吸引固定部件69及其周邊情況的側(cè)視圖，圖6所示為其俯視圖。延伸設(shè)置片61(支持部件)，在圖5中左端被移動(dòng)裝置(未圖示)支持著，該移動(dòng)裝置使延伸設(shè)置片61(支持部件)在垂直于紙面的方向上移動(dòng)。水平支持板62位于該延伸設(shè)置片61的下方，從該水平支持板62向上方的2根軸63，通過線性軸襯70插通自如地貫通延伸設(shè)置片61。水平支持板62，以配置在液壓缸64兩側(cè)的2根軸63為導(dǎo)向裝置，通過液壓缸64驅(qū)動(dòng)可以上下運(yùn)動(dòng)。
設(shè)在延伸設(shè)置片61一側(cè)的液壓缸64的活塞桿64a，通過浮動(dòng)接頭65固定在水平支持板62上。另外，還設(shè)有位于水平支持板62下方的吸引固定部件69，在位于線性軸襯68上部的軸67上嵌有彈簧71，吸引固定部件69由4個(gè)螺母66和彈簧71支持在支持部件(延伸設(shè)置片1)上，并用螺母66來調(diào)節(jié)吸引固定部件69自身在水平方向上的平衡。
固定在吸引固定部件69上的4根軸67朝上方安裝，該軸67插通設(shè)于水平支持板62上的線性軸襯68。該軸67如圖6所示，設(shè)于水平支持板62的4個(gè)角上。
線性軸襯68與軸67之間及線性軸襯70與軸63之間留有若干間隙，而且，由于水平支持板62與活塞桿64a之間夾有浮動(dòng)接頭65，故水平支持板62和吸引固定部件69可在±5°范圍內(nèi)傾斜。
吸引固定部件69內(nèi)部形成空洞，其下表面上安裝有多個(gè)吸盤80。圖7表示從下方看這些吸盤80的圖。吸盤80是用感光性樹脂材料制成的圓盤狀部件，具有周緣的平面氣密部80a和除此之外的吸引部80b，吸引部80b上形成有許多微小的凹部。吸盤80的中央，設(shè)有貫通吸引固定部件69的空洞部的吸入口80c。關(guān)于該吸盤80的詳細(xì)情況，在特開平11-19838號(hào)公報(bào)中作了說明。
在該吸引固定部件69的4個(gè)角，作為調(diào)節(jié)從工作臺(tái)84的表面到吸引固定部件69的距離用的多個(gè)距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子設(shè)有傾斜調(diào)節(jié)器82。使該傾斜調(diào)節(jié)器82上部的桿上下運(yùn)動(dòng)用的馬達(dá)82a(示于圖4)驅(qū)動(dòng)，傾斜調(diào)節(jié)桿82b便上下運(yùn)動(dòng)，其下端作為制動(dòng)器與工作臺(tái)84接觸。
下面，對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的本實(shí)施形式的吸引保持輸送機(jī)的面板基板進(jìn)行吸引保持的方法作說明。
通過使液壓缸64向著工作臺(tái)84的表面進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使吸引固定部件69下降，將吸盤80設(shè)定在離工作臺(tái)面1mm-2mm間隔的位置上。然后，將水準(zhǔn)儀等置于吸引固定部件69的上表面，調(diào)節(jié)4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)器82的傾斜調(diào)節(jié)桿82b的各下端的位置，以使吸引固定部件69成為水平狀態(tài)。
若要將吸引固定部件69支持成水平狀態(tài)，則可用刻度尺、線性脈沖刻度尺和編碼器等檢測手段，對(duì)這時(shí)的4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)桿82b的下端位置分別進(jìn)行檢測，并作為第一位置數(shù)據(jù)A存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器內(nèi)。例如，將4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)桿分別延伸5mm之后，驅(qū)動(dòng)液壓缸64，使吸引固定部件69上升。
然后，將面板基板1載置在工作臺(tái)84上，再一次驅(qū)動(dòng)液壓缸64，使吸引固定部件69下降。載置在工作臺(tái)84上的面板基板1的厚度若為1mm，則分別使4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)桿82b的下端位置上升相等高度，使吸引固定部件69位于吸盤80對(duì)面板基板1進(jìn)行吸引固定的最佳狀態(tài)的高度上。將這時(shí)的傾斜調(diào)節(jié)桿82b下端的各位置作為第二位置數(shù)據(jù)B，再一次存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器中。
關(guān)于存儲(chǔ)位置數(shù)據(jù)的方法的例子，有以下方法。
1.人用刻度尺讀取其值，并記錄在筆記本等(記錄或存儲(chǔ)裝置)中的方法。
2.寫入NC控制器、程序裝置、個(gè)人計(jì)算機(jī)等半導(dǎo)體存儲(chǔ)器(存儲(chǔ)裝置)內(nèi)的方法。
接著，若面板基板1的厚度變更為例如2mm的品種時(shí)，根據(jù)存儲(chǔ)于4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)桿82b下端的各位置的第二位置數(shù)據(jù)B，使4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)桿82b的各下端位置分別下降1mm即可。這樣，即使作為輸送對(duì)象的脆性材料基板的厚度變更，以存儲(chǔ)的位置數(shù)據(jù)A和B為基準(zhǔn)決定4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)桿82b的調(diào)節(jié)量即可，可容易地應(yīng)對(duì)粘合母液晶面板基板1的品種變更。
檢測吸引固定部件69是否與工作臺(tái)84的表面平行(水平)的機(jī)構(gòu)，除了上述水準(zhǔn)儀之外，還可用陀螺儀86和激光陀螺儀等。若用陀螺儀86和激光陀螺儀，則全部操作自動(dòng)進(jìn)行，可調(diào)節(jié)吸引固定部件69的傾斜和高度。
在上述實(shí)施形式中，對(duì)具有設(shè)置有4個(gè)傾斜調(diào)節(jié)桿的距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的例子作了說明，但傾斜調(diào)節(jié)桿的數(shù)量不局限于這個(gè)數(shù)。例如，沿著吸引固定部件的2個(gè)邊設(shè)規(guī)定長度的傾斜調(diào)節(jié)部件，也可達(dá)到本發(fā)明的目的。即，距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)只要是多個(gè)就行。
用距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)從工作臺(tái)至吸引固定部件的距離的部位，不局限于吸引固定部件的4個(gè)角。在2個(gè)以上的多個(gè)部位，只要能調(diào)節(jié)從工作臺(tái)至吸引固定部件的距離，便可調(diào)節(jié)吸引固定部件的傾斜和離工作臺(tái)表面的距離。
在本實(shí)施形式中，對(duì)吸引固定脆性材料基板、并且向下一道工序的裝置進(jìn)行輸送的吸引保持輸送機(jī)進(jìn)行了說明。但是，單純接受脆性材料基板，且只在該位置進(jìn)行保持的接受裝置也包含在本發(fā)明的吸引保持輸送機(jī)的范圍內(nèi)。
本發(fā)明雖根據(jù)上述實(shí)施形式作了說明，但本發(fā)明不局限于實(shí)施形式。例如，在本實(shí)施形式中，對(duì)保持粘合母基板等脆性材料的吸引保持方法和吸引保持輸送機(jī)作了說明，但吸引固定部件所吸引保持的基板不局限于脆性材料基板，例如，印刷電路基板、塑料基板、金屬基板、非金屬基板等也可用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種具有吸引固定部件的吸引保持輸送機(jī)，該吸引固定部件利用吸引作用保持住載置于工作臺(tái)上的基板，其特征在于，它包括支持上述吸引固定部件的支持部件；安裝在上述吸引固定部件上，單獨(dú)調(diào)節(jié)上述工作臺(tái)的表面與上述吸引固定部件之間的距離的多個(gè)距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的吸引保持輸送機(jī)，其特征在于，上述距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括作為制動(dòng)器與工作臺(tái)進(jìn)行接觸的桿；使該桿上下運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)；固定在上述吸引固定部件上，支持上述桿和上述馬達(dá)的支持部件。
3.如權(quán)利要求1所述的吸引保持輸送機(jī)，其特征在于，它還具有檢測上述吸引固定部件是否與上述工作臺(tái)平行的檢測機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸引保持輸送機(jī)，其特征在于，它具有支持上述支持部件、并使其移動(dòng)的移動(dòng)裝置。
5.一種吸引保持方法，是將載置于工作臺(tái)上的基板保持在吸引固定部件上的吸引保持方法，其特征在于，用上述吸引固定部件吸引保持上述基板時(shí)，通過在上述吸引固定部件的多個(gè)部位改變上述工作臺(tái)的表面與上述吸引固定部件之間的距離，便可調(diào)節(jié)上述吸引固定部件的傾斜和離上述工作臺(tái)表面的距離。
全文摘要
吸引保持輸送機(jī)，利用吸引并保持載置于工作臺(tái)上的基板(1)的吸引固定部件(69)，對(duì)載置于工作臺(tái)(84)上的基板(1)進(jìn)行吸引、固定。支持部件(61)，用于支持該吸引固定部件。該吸引保持輸送機(jī)具有距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(82)，可在吸引固定部件(69)上的多個(gè)部位單獨(dú)地調(diào)節(jié)從上述工作臺(tái)表面至吸引固定部件的距離。
文檔編號(hào)B65G47/91GK1602239SQ0282468
公開日2005年3月30日 申請(qǐng)日期2002年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月11日
發(fā)明者船田秀明, 吉村浩昭 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司