專利名稱：片狀基板的移動(dòng)裝載裝置及其貯存裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，特別是涉及能通過(guò)減少因大型玻璃基板等片狀基板的自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而防止由彎曲應(yīng)力導(dǎo)致的片狀基板變形或破損的、片狀基板的移動(dòng)裝置及其貯存裝置。
此種貯存玻璃基板的盒子例如用在大型液晶玻璃基板的生產(chǎn)線中，在生產(chǎn)設(shè)備之間搬運(yùn)液晶玻璃基板、暫時(shí)存放等情況下。
如圖9所示，貯存玻璃基板用盒子，從盒子主體1的兩側(cè)壁2a、2b的向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置多個(gè)并列的支撐部3a’、3b’，同時(shí)通過(guò)使插入到盒子主體1的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手4’在支撐部3a’、3b’之間升降而使玻璃基板5取出和放入。
為了能允許兩股叉子狀的機(jī)械手4’進(jìn)行升降，盒子主體1在其寬度方向中央部需要較大的空間，為此支撐部3a’、3b’就從左右側(cè)壁2a、2b較短地突出出來(lái)。
此種情況下，照顧到使貯存在盒子主體1中的玻璃基板5受到從盒子主體1的左右側(cè)壁2a、2b分別延伸設(shè)置的支撐部3a’、3b’的支撐，從而減少因被貯存的玻璃基板5的自重而產(chǎn)生的彎曲。
另外，在玻璃基板5取出和放入盒子主體1時(shí)使用的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手4’，為了由通過(guò)該機(jī)械手4’使玻璃基板5在上升狀態(tài)下的彎曲量不致增加，而決定了機(jī)械手4’的寬度方向尺寸L。
然而，近年來(lái)，由于玻璃基板的大型化、薄型化的不斷推進(jìn)而使剛性較大的玻璃基板也產(chǎn)生過(guò)大的彎曲量，所以受上述現(xiàn)有的支撐部長(zhǎng)度較短制約的貯存玻璃基板用盒子、和兩股叉子狀的機(jī)械手等存在著這樣的問(wèn)題因玻璃基板自重而導(dǎo)致彎曲量增大，由該彎曲量而致使玻璃基板自身承受較大的彎曲應(yīng)力，其結(jié)果使玻璃基板容易變形、破損。
也就是，如

圖10所示，當(dāng)玻璃基板5的尺寸比圖9中的尺寸大時(shí)，貯存在盒子主體1中的玻璃基板5就會(huì)因自重而承受較大的彎曲，為了消除該彎曲，而將支撐部3a’、3b’向玻璃基板5的寬度方向中央部延伸時(shí)，機(jī)械手4’的寬度方向尺寸L就不得不減小。
但是，當(dāng)機(jī)械手4’的寬度方向尺寸L減小時(shí)，被裝載在機(jī)械手4’上的玻璃基板5的彎曲，就會(huì)變成如圖10(c)中點(diǎn)線所示的狀態(tài)，玻璃基板5要承受較大的彎曲，容易變形。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明第一方面的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，前述支撐部由在相對(duì)的支撐部之間設(shè)置間隙而形成的多個(gè)并列的支撐部件構(gòu)成，同時(shí)，前述機(jī)械手由在機(jī)械手的升降位置上、位于前述并列的支撐部件之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部；和位于前述相對(duì)的支撐部件之間、連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部的、長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
此種情況下，前述機(jī)械手可以由在機(jī)械手的升降位置上、能夠通過(guò)前述并列的支撐部的間隙的、多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部；和在分別連結(jié)該橫向機(jī)械手支撐部的寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
為達(dá)成相同的目的，本發(fā)明第二方面的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撐部的中間位置上并列設(shè)置輔助支撐部，同時(shí)，前述機(jī)械手由在機(jī)械手的升降位置上、位于前述并列的支撐部之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部；和在分別連結(jié)該橫向機(jī)械手支撐部的寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
為達(dá)成相同的目的，本發(fā)明第三方面的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撐部的中間位置上并列設(shè)置輔助支撐部，同時(shí)，前述機(jī)械手由在寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)寬幅的縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
用于上述本發(fā)明第一方面的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的貯存裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，前述支撐部由在相對(duì)的支撐部之間設(shè)置間隙而形成的多個(gè)并列的支撐部件構(gòu)成，同時(shí)，在相對(duì)的支撐部件之間，設(shè)置形成了長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部可以通過(guò)的間隙，所述長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部在機(jī)械手的升降位置上，與位于前述并列的支撐部件之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部連結(jié)。
此種情況下，可以將前述支撐部形成相同形狀，并在貯存裝置的內(nèi)部形成上下多個(gè)、呈階梯形狀。
而且，可以在一對(duì)寬幅的縱向機(jī)械手支撐部之間并列設(shè)置輔助縱向機(jī)械手支撐部，同時(shí)，在從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向延伸設(shè)置的支撐部中央位置上，并列設(shè)置輔助支撐部。
在支撐部的上面，可以設(shè)置直接支撐片狀基板的緩沖部件。
該片狀基板的移動(dòng)裝載裝置及其貯存裝置，可以在片狀基板的大范圍內(nèi)，擴(kuò)大貯存裝置的支撐部或移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手支撐部對(duì)片狀基板的支撐，通過(guò)減少大型片狀基板因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，可以防止由彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致的片狀基板的變形或破損等。
特別是，由于移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手是由在寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成的，因此，即使機(jī)械手的厚度形成的很薄，也可以提高機(jī)械手的剛性，從而，可以通過(guò)減少機(jī)械手的插入空間來(lái)增大貯存裝置在單位容量貯存片狀基板的張數(shù)。
而且，通過(guò)形成相同形狀的前述支撐部并在貯存裝置的內(nèi)部以上下多個(gè)、呈階梯形狀地配設(shè)，從而可以在盒子中貯存多個(gè)玻璃基板。
并且，通過(guò)并列設(shè)置輔助縱向機(jī)械手支撐部和輔助支撐部等，可以處理更大型的片狀基板。
在支撐部的上面設(shè)置直接支撐片狀基板的緩沖部件，可以使片狀基板的移交順利進(jìn)行。
圖2是表示同一實(shí)施例的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的軸測(cè)圖。
圖3是表示本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的第二實(shí)施例的圖，(a)是省略頂板的平面圖，(b)是正視圖。
圖4是表示通過(guò)本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的第三實(shí)施例的移動(dòng)裝載裝置向盒子主體進(jìn)行移動(dòng)裝載的狀態(tài)的圖，(a)是省略頂板的平面圖，(b)是正視圖，(c)是機(jī)械手的縱向機(jī)械手支撐部的側(cè)視圖。
圖5是表示通過(guò)同一移動(dòng)裝載裝置向臺(tái)座進(jìn)行移動(dòng)裝載的狀態(tài)的圖，(a)是其平面圖，(b)是其正視圖。
圖6是表示通過(guò)本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的第四實(shí)施例的移動(dòng)裝載裝置向臺(tái)座進(jìn)行移動(dòng)裝載的狀態(tài)的圖，(a)是其平面圖，(b)是其正視圖。
圖7是表示通過(guò)本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的第五實(shí)施例的移動(dòng)裝載裝置向盒子主體進(jìn)行移動(dòng)裝載的狀態(tài)的、省略了頂板的平面圖。
圖8是表示通過(guò)同一移動(dòng)裝載裝置向臺(tái)座進(jìn)行移動(dòng)裝載的狀態(tài)的平面圖。
圖9是表示現(xiàn)有的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的圖，(a)是省略頂板的平面圖，(b)是正視圖，(c)是表示機(jī)械手的寬度方向尺寸與玻璃基板彎曲之間的關(guān)系的說(shuō)明圖。
圖10是表示現(xiàn)有的大型片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的圖，(a)是省略頂板的平面圖，(b)是正視圖，(c)是表示機(jī)械手的寬度方向尺寸與玻璃基板彎曲之間的關(guān)系的說(shuō)明圖。
圖1～圖2表示本發(fā)明第一實(shí)施例的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置及其貯存裝置。
該片狀基板的移動(dòng)裝載裝置是與其他的移動(dòng)裝載裝置配合使用的的裝置，其結(jié)構(gòu)是，從作為貯存裝置的箱形的盒子主體1的左右兩側(cè)壁2a、2b向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置多個(gè)并列的支撐部件3a、3b，同時(shí)，使插入到盒子主體1的移動(dòng)裝載裝置40的機(jī)械手4，在支撐部件3a、3b之間升降，從而進(jìn)行玻璃基板5的取出和放入。
而且，象本實(shí)施例這樣的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，在相對(duì)前述玻璃基板5的支撐部件3a、3b的支撐部件3a、3b之間設(shè)定形成規(guī)定的間隙7，同時(shí)，前述機(jī)械手4由在機(jī)械手4的升降位置上，位于前述并列的支撐部件3a或支撐部件3b之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部41；和位于前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間，連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部41的長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部42構(gòu)成。
而且，該片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，形成相同形狀的前述支撐部件3a、3b，且在盒子主體1的內(nèi)部以上下多個(gè)、呈梯子形狀配設(shè)。
如圖1(a)所示，為了水平支撐一張玻璃基板5，支撐部件3a、3b被設(shè)置在同一平面上，為了使左右側(cè)壁2a、2b的支撐部3a、3b處于進(jìn)深方向的相同位置，五個(gè)支撐部件3a、3b被分別并列地配設(shè)在左右側(cè)壁2a、2b上。
并且，左右兩側(cè)壁2a、2b的支撐部件3a、3b分別水平地延伸設(shè)置到盒子主體1的寬度方向的中央附近。
另外，如圖1(b)所示，在支撐部件3a、3b的上部，設(shè)置了直接支撐玻璃基板5的、例如用合成橡膠等彈性材料做成的凸起狀(或者凸條狀)的緩沖部件6，雖然本實(shí)施例中左右一對(duì)的支撐部件3a、3b僅支撐著玻璃基板5中央附近的兩個(gè)點(diǎn)和端部附近的兩個(gè)點(diǎn)這四個(gè)點(diǎn)，但也可以支撐六個(gè)點(diǎn)以上。
如此，延長(zhǎng)到該盒子主體1的寬度方向中央附近的支撐部件3a、3b，能夠減少由于玻璃基板5的自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而，可以防止因貯存時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5破損。
為了水平地移動(dòng)裝載玻璃基板5，機(jī)械手4的橫向機(jī)械手支撐部41與縱向機(jī)械手支撐部42被一體設(shè)置在同一平面上，并且，這些橫向機(jī)械手支撐部41和縱向機(jī)械手支撐部42被設(shè)置在機(jī)械手4的升降位置上并與支撐部件3a、3b不發(fā)生干涉的位置上。
橫向機(jī)械手支撐部41由從盒子主體1的寬度方向中央部到左右側(cè)壁2a、2b附近分別延伸設(shè)置的板狀物構(gòu)成。
縱向機(jī)械手支撐部42由在盒子主體1的寬度方向中央部，連結(jié)上述多個(gè)橫向機(jī)械手支撐部41的長(zhǎng)尺寸的板狀物構(gòu)成。
由于機(jī)械手4具備這樣的橫向機(jī)械手機(jī)械手支撐部41和縱向機(jī)械手支撐部42，所以，減少了大型玻璃基板5因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而可以防止因移動(dòng)裝載或運(yùn)送時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5破損。
而且，如圖1所示，由于本實(shí)施例的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，在相對(duì)支撐玻璃基板5的支撐部件3a、3b的支撐部件3a、3b之間設(shè)置形成規(guī)定的間隙7，同時(shí)，前述機(jī)械手4由配設(shè)在機(jī)械手4的插入位置上，位于并列的支撐部件3a或支撐部件3b之間的多個(gè)橫向機(jī)械手支撐部41；與配設(shè)在前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間，連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部41的縱向機(jī)械手支撐部42構(gòu)成，所以能夠?qū)⑶笆鲋尾考?a、3b延伸設(shè)置到玻璃基板5的中央部附近，從而，通過(guò)減少大型玻璃基板5因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，能夠防止因收容、貯存時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5破損。
由于移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手4是由通過(guò)在機(jī)械手4的插入位置上，配設(shè)在并列的支撐部件3a或支撐部件3b之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部41；與配設(shè)在前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間，連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部41的縱向機(jī)械手支撐部42形成的，所以能夠?qū)C(jī)械手4的寬度方向的尺寸L擴(kuò)大到玻璃基板5的端部附近，從而通過(guò)減少大型玻璃基板5因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，能夠防止因移動(dòng)裝載、運(yùn)送時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5破損。
順便提及，本實(shí)施例的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的尺寸在1200×1000毫米的程度，根據(jù)需要，可以有效地貯存并移動(dòng)裝載2000×1700毫米以上的液晶玻璃基板5。
接下來(lái)，參照?qǐng)D3來(lái)介紹本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置及其貯存裝置的第二實(shí)施例。
與該第二實(shí)施例的移動(dòng)裝載裝置相組合的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，與第一實(shí)施例一樣，其結(jié)構(gòu)是從箱形的盒子主體1的左右側(cè)壁2a、2b向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置多個(gè)并列的支撐部件3a或支撐部件3b，同時(shí)，通過(guò)使插入到盒子主體1的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手4在支撐部件3a、3b之間升降，從而進(jìn)行玻璃基板5的取出和放入。
而且，前述玻璃基板5的支撐部件3a、3b在相對(duì)的支撐部件3a、3b之間設(shè)定形成規(guī)定的間隙7，同時(shí)，前述機(jī)械手4由在機(jī)械手4的升降位置上，位于前述并列的支撐部件3a或支撐部件3b之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部41；和位于前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間，連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部41的長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部42構(gòu)成。
并且，形成相同形狀的前述支撐部件3a、3b，并在盒子主體1的內(nèi)部以上下多個(gè)、呈梯子形狀配設(shè)。
如圖3(a)所示，為了水平支撐玻璃基板5，支撐部件3a、3b被設(shè)置在同一平面上，為了使左右側(cè)壁2a、2b的支撐部3a、3b處于進(jìn)深方向的相同位置，分別并列地配設(shè)五個(gè)支撐部件3a、3b。
并且，左右側(cè)壁2a、2b的支撐部件3a、3b，在相對(duì)的支撐部件3a、3b之間設(shè)有規(guī)定的間隙7，該間隙7的位置是從盒子主體1的開(kāi)口部1a向進(jìn)深方向左右交替偏離的。
也就是說(shuō)，距開(kāi)口部1a的第一號(hào)、第三號(hào)及第五號(hào)支撐部件3a、3b中，左側(cè)壁2a的支撐部件3a做得比右側(cè)壁2b的支撐部件3b長(zhǎng)，同時(shí)，在第二號(hào)及第四號(hào)的支撐部件3a、3b中，右側(cè)壁2b的支撐部件3b做得比左側(cè)壁2a的支撐部件3a長(zhǎng)。
而且，如圖3(b)所示，與第一實(shí)施例一樣，在支撐部件3a、3b的上部，設(shè)置直接支撐玻璃基板5的緩沖部件。
如此交替延長(zhǎng)的支撐部件3a、3b，通過(guò)分散支撐部件3a、3b間的間隙7的位置，能夠進(jìn)一步減少因玻璃基板5的自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而，能夠防止因貯存時(shí)的彎曲應(yīng)力導(dǎo)致的玻璃基板5破損。
另一方面，為了水平地移動(dòng)裝載玻璃基板5，機(jī)械手4的橫向機(jī)械手支撐部41與縱向機(jī)械手支撐部42被一體設(shè)置在同一平面上。
橫向機(jī)械手支撐部41由從盒子主體1的寬度方向中央部到左右側(cè)壁2a、2b附近分別延伸設(shè)置的板狀物構(gòu)成。
縱向機(jī)械手支撐部42由在支撐部件3a、3b之間的間隙7的位置上，將上述多個(gè)橫向機(jī)械手支撐部41連結(jié)成“之”字形的長(zhǎng)度方向的板狀物構(gòu)成。
由于機(jī)械手4具備這樣的橫向機(jī)械手支撐部41、和使位置交替分離的縱向機(jī)械手支撐部42，所以能進(jìn)一步減少因玻璃基板5的自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而可以防止因移動(dòng)裝載時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5破損。
圖4～圖5表示本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置及其貯存裝置的第三實(shí)施例。
該片狀基板的移動(dòng)裝載裝置是以玻璃基板為對(duì)象，與其他的移動(dòng)裝載裝置配合使用的的裝置，其結(jié)構(gòu)是，從作為貯存裝置的箱形的盒子主體1的左右兩側(cè)壁2a、2b向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置多個(gè)并列的支撐部件3a、3b，同時(shí)，使插入到盒子主體1的移動(dòng)裝載裝置(省略圖)的機(jī)械手4，在支撐部件3a、3b之間升降，從而進(jìn)行玻璃基板5的取出和放入。
而且，象本實(shí)施例這樣的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，在相對(duì)玻璃基板5的支撐部件3a、3b的支撐部件3a、3b之間設(shè)定規(guī)定尺寸的間隙7，同時(shí)，前述機(jī)械手4由在機(jī)械手4的升降位置上，能夠通過(guò)前述并列的支撐部件3a或支撐部件3b的間隙的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部41；和在前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間隔開(kāi)間隔并列設(shè)置，分別連結(jié)左右的橫向機(jī)械手支撐部41的寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)縱向機(jī)械手支撐部42構(gòu)成。
而且，該片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，形成同形狀的前述支撐部件3a、3b，并在盒子主體1的內(nèi)部以上下多個(gè)、呈梯子形狀配設(shè)。
如圖4(a)所示，為了水平支撐一張玻璃基板5，支撐部件3a、3b被設(shè)置在同一平面上，為了使左右側(cè)壁2a、2b的支撐部3a、3b處于進(jìn)深方向的相同位置，五個(gè)支撐部件3a、3b被分別并列地配設(shè)在左右側(cè)壁2a、2b上。
并且，左右兩側(cè)壁2a、2b的支撐部件3a、3b分別水平地延伸設(shè)置到盒子主體1的寬度方向的中央附近。
另外，如圖4(b)所示，在支撐部件3a、3b的上面，設(shè)置了直接支撐玻璃基板5的緩沖部件6，雖然本實(shí)施例中左右一對(duì)的支撐部件3a、3b僅支撐著玻璃基板5中央附近的兩個(gè)點(diǎn)和端部附近的兩個(gè)點(diǎn)這四個(gè)點(diǎn)，但也可以支撐六個(gè)點(diǎn)以上。
如此，延長(zhǎng)到該盒子主體1的寬度方向中央附近的支撐部件3a、3b，能夠減少由于玻璃基板5的自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而，可以防止因貯存時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5產(chǎn)生變形或破損。
為了水平地移動(dòng)裝載玻璃基板5，機(jī)械手4的橫向機(jī)械手支撐部41與縱向機(jī)械手支撐部42被一體設(shè)置在同一平面上，并且，這些橫向機(jī)械手支撐部41和縱向機(jī)械手支撐部42被設(shè)置在機(jī)械手4的升降位置上并與支撐部件3a、3b不發(fā)生干涉的位置上。
橫向機(jī)械手支撐部41由從盒子主體1的寬度方向中央部到左右側(cè)壁2a、2b附近分別延伸設(shè)置的板狀物構(gòu)成。
縱向機(jī)械手支撐部42，由在寬度方向上設(shè)定規(guī)定尺寸的間隙而并列設(shè)置的一對(duì)長(zhǎng)尺寸板構(gòu)成，各個(gè)縱向機(jī)械手支撐部42，分別連結(jié)左右的橫向機(jī)械手支撐部41。
由于機(jī)械手4具備這樣的橫向機(jī)械手機(jī)械手支撐部41和縱向機(jī)械手支撐部42，所以，減少了大型玻璃基板5因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而可以防止因移動(dòng)裝載或運(yùn)送時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5變形或破損等。
而且，如圖4所示，由于本實(shí)施例的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，在相對(duì)支撐玻璃基板5的支撐部件3a、3b的支撐部件3a、3b之間設(shè)置形成規(guī)定的間隙7，同時(shí)，前述機(jī)械手4由配設(shè)在機(jī)械手4的插入位置上，位于并列的支撐部件3a或支撐部件3b之間的多個(gè)橫向機(jī)械手支撐部41；與配設(shè)在前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間，連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部41的縱向機(jī)械手支撐部42構(gòu)成，所以能夠?qū)⑶笆鲋尾考?a、3b延伸設(shè)置到玻璃基板5的中央部附近，從而，通過(guò)減少大型玻璃基板5因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，能夠防止因收容、貯存時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5變形或破損等。
由于移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手4是通過(guò)在機(jī)械手4的插入位置上，配設(shè)在并列的支撐部件3a或支撐部件3b之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部41、與配設(shè)在前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間，連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部41的縱向機(jī)械手支撐部42而形成的，所以能夠?qū)C(jī)械手4的寬度方向的尺寸L擴(kuò)大到玻璃基板5的端部附近，從而通過(guò)減少大型玻璃基板5因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，能夠防止因移動(dòng)裝載、運(yùn)送時(shí)的彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致玻璃基板5變形或破損等。
順便提及，本實(shí)施例的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置的尺寸在1200×1000毫米的程度，根據(jù)需要，可以有效地貯存并移動(dòng)裝載2000×1700毫米以上的液晶玻璃基板5。
另外，將機(jī)械手4的縱向機(jī)械手支撐部42左右分割地形成，從而減少各縱向機(jī)械手支撐部42的負(fù)荷，提高機(jī)械手4的剛性，同時(shí)，例如象圖5及圖6表示的那樣，也可以在中央處，豎著配置設(shè)有輔助支撐部8 1的作為貯存裝置的臺(tái)座8，從而進(jìn)行玻璃基板5的移動(dòng)裝載。
此臺(tái)座8是采用左右的支撐部82與中央的輔助支撐部81支撐玻璃基板5的，圖6表示通過(guò)在寬度方向設(shè)置間隙而并列設(shè)置的一對(duì)寬幅(具有分別超過(guò)玻璃基板5的寬度尺寸Lo的20％的寬度方向尺寸L1)的縱向機(jī)械手支撐部43而向玻璃基板5的臺(tái)座8進(jìn)行移動(dòng)裝載的狀態(tài)，正如本實(shí)施例所示的那樣，將縱向支撐部43作成寬幅時(shí)，可以省略橫向機(jī)械手支撐部41。
另外，如圖7及圖8所示，在一對(duì)寬幅的縱向機(jī)械手支撐部42之間，并列設(shè)置一個(gè)或一個(gè)以上的輔助縱向機(jī)械手支撐部42a，同時(shí)，可以在從作為貯存裝置的相對(duì)盒子主體1或臺(tái)座8的兩側(cè)向相對(duì)方向延伸設(shè)置的支撐部2a、2b、82的中間位置上，并列設(shè)置一個(gè)或一個(gè)以上的輔助支撐部2c、2d、81。
這樣，通過(guò)并列設(shè)置輔助縱向支撐部2c、2d、81，可以處理更大的玻璃基板5。
根據(jù)以上多個(gè)實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明不只限于上述實(shí)施例中記載的結(jié)構(gòu)，各實(shí)施例中記載的結(jié)構(gòu)可以適當(dāng)組合(將作為貯存裝置的盒子主體的結(jié)構(gòu)用在臺(tái)座上，反之，將臺(tái)座的結(jié)構(gòu)用在盒子主體上等)，在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)，可以適當(dāng)變更其結(jié)構(gòu)，另外，在移動(dòng)裝載裝置之間，移交片狀基板的裝置也不只限于盒子或臺(tái)座等，而且，移動(dòng)裝載的對(duì)象也可以更廣泛地適用于玻璃基板以外的片狀基板。
應(yīng)用本發(fā)明的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置及其貯存裝置，可以將貯存裝置的支撐部或移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手支撐部對(duì)片狀基板的支撐，擴(kuò)大到片狀基板的更大范圍內(nèi)，通過(guò)減少大型片狀基板因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，可以防止因彎曲應(yīng)力而導(dǎo)致的片狀基板變形或破損，從而能夠獲得高質(zhì)量的片狀基板加工產(chǎn)品。
權(quán)利要求
1.一種片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，前述支撐部由在相對(duì)的支撐部之間設(shè)置間隙而形成的多個(gè)并列的支撐部件構(gòu)成，同時(shí)，前述機(jī)械手由在機(jī)械手的升降位置上、位于前述并列的支撐部件之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部；和位于前述相對(duì)的支撐部件之間、連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部的、長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1所述的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，其特征在于，前述機(jī)械手可以由在機(jī)械手的升降位置上，能夠通過(guò)前述并列的支撐部的間隙的、多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部；和在分別連結(jié)該橫向機(jī)械手支撐部的寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
3.一種片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撐部的中間位置上并列設(shè)置輔助支撐部，同時(shí)，前述機(jī)械手由在機(jī)械手的升降位置上、位于前述并列的支撐部之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部；和在分別連結(jié)該橫向機(jī)械手支撐部的寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
4.一種片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撐部的中間位置上并列設(shè)置輔助支撐部，同時(shí)，前述機(jī)械手由在寬度方向上設(shè)置間隙、且并列設(shè)置的一對(duì)寬幅的縱向機(jī)械手支撐部構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求2、3或4所述的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，其特征在于，在一對(duì)寬幅的縱向機(jī)械手支撐部之間并列設(shè)置輔助縱向機(jī)械手支撐部。
6.如權(quán)利要求1～5所述的片狀基板的移動(dòng)裝載裝置，其特征在于，在支撐部的上面設(shè)置直接支撐片狀基板的緩沖部件。
7.一種貯存裝置，從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，另一方面，通過(guò)使插入到貯存裝置的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入，其特征在于，前述支撐部由在相對(duì)的支撐部之間設(shè)置間隙而形成的多個(gè)并列的支撐部件構(gòu)成，同時(shí)，在相對(duì)的支撐部件之間，設(shè)置形成了長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部可以通過(guò)的間隙，所述長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部在機(jī)械手的升降位置上，與位于前述并列的支撐部件之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部連結(jié)。
8.如權(quán)利要求7記載的貯存裝置，其特征在于，將前述支撐部形成相同形狀，并在貯存裝置的內(nèi)部形成上下多個(gè)、呈階梯形狀。
9.如權(quán)利要求7或8記載的貯存裝置，其特征在于，在從貯存裝置的兩側(cè)向相對(duì)方向延伸設(shè)置的支撐部中央位置上并列設(shè)置輔助支撐部。
10.如權(quán)利要求7、8或9記載的貯存裝置，其特征在于，在支撐部的上面，設(shè)置直接支撐片狀基板的緩沖部件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種減少大型玻璃基板等的片狀基板因其自重而產(chǎn)生的彎曲量，從而防止彎曲應(yīng)力導(dǎo)致的片狀基板變形或破損的片狀基板移動(dòng)裝載裝置。從貯存裝置1兩側(cè)向相對(duì)方向分別延伸設(shè)置支撐部，通過(guò)使插入到貯存裝置1的移動(dòng)裝載裝置的機(jī)械手4在前述支撐部之間升降，而進(jìn)行片狀基板的取出和放入的片狀基板5的移動(dòng)裝載裝置中，前述支撐部由在相對(duì)支撐部之間設(shè)置間隙而形成的多個(gè)并列的支撐部件3a、3b構(gòu)成，同時(shí)，前述機(jī)械手4由在機(jī)械手4的升降位置上，位于前述并列的支撐部件3a、3b之間的多個(gè)寬度方向的橫向機(jī)械手支撐部41；和位于前述相對(duì)的支撐部件3a、3b之間，連結(jié)前述橫向機(jī)械手支撐部41的、長(zhǎng)度方向的縱向機(jī)械手支撐部42構(gòu)成。
文檔編號(hào)B65G49/06GK1393385SQ0212338
公開(kāi)日2003年1月29日 申請(qǐng)日期2002年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月26日
發(fā)明者珍部弘, 遠(yuǎn)藤嘉也, 島川直樹(shù), 福渡一郎, 林田憲明, 高倉(cāng)芳生, 松山章男, 纐纈英斗 申請(qǐng)人:日立機(jī)電工業(yè)株式會(huì)社, 夏普株式會(huì)社