技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，轉(zhuǎn)移車體上水平固定有定位板，在定位板上設(shè)置有多個(gè)定位孔，定位板的下方水平設(shè)置有支撐板，支撐板上表面與各定位孔正對(duì)的位置設(shè)置有支撐塊，支撐塊的上表面為支撐平面，在支撐板的下方設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，支撐板移動(dòng)到最高處時(shí)支撐平面與定位板的上表面相平，支撐板移動(dòng)到最低處時(shí)支撐平面低于定位板的上表面；定位板或/和支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，支撐板或/和定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱與導(dǎo)向套筒活動(dòng)套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠。該設(shè)備既能對(duì)各晶棒形成定位防止晶棒在轉(zhuǎn)移過程中發(fā)生位移，也便于晶棒取放，并且支撐板的豎向移動(dòng)也相對(duì)靈活順暢。

技術(shù)研發(fā)人員：胡均海
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江恒都光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201620831540
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.31
技術(shù)公布日：2017.01.11