本實(shí)用新型涉及一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，屬于硅晶片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

專利文獻(xiàn)CN201980271U中公開了一種已開方硅棒運(yùn)輸車，包括推車、車體和設(shè)置在車體底部的車輪，所述車體的車斗由可翻轉(zhuǎn)的擋板配合而成，車斗底部設(shè)置有獨(dú)立槽位，所述的車輪為萬(wàn)向輪，車輪與車體配合連接。采用該專利文獻(xiàn)中的結(jié)構(gòu)，車體四周的高度高于獨(dú)立槽位的高度，增加了安全性，獨(dú)立槽位的設(shè)置確保各個(gè)硅棒的準(zhǔn)確放置，由于各個(gè)獨(dú)立槽位的周邊相互分開，放置在運(yùn)輸過(guò)程中由于車體晃動(dòng)而相互碰撞，24個(gè)獨(dú)立槽位的設(shè)置有效的增加了運(yùn)輸?shù)臄?shù)量，提高了工作效率，節(jié)省了勞力，然而上述專利文獻(xiàn)中的硅棒運(yùn)輸車還存在不足：獨(dú)立槽位雖然能夠?qū)Ψ湃肫渲械墓璋暨M(jìn)行定位，但由于硅棒重量較重，將硅棒從運(yùn)輸車上取出時(shí)獨(dú)立槽位會(huì)對(duì)操作產(chǎn)生干擾影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

對(duì)此，本實(shí)用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)更為合理的晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，該設(shè)備既能對(duì)各晶棒形成定位防止晶棒在轉(zhuǎn)移過(guò)程中發(fā)生位移，也便于晶棒取放，并且支撐板的豎向移動(dòng)也相對(duì)靈活順暢。

實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的技術(shù)方案是：

一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，包括轉(zhuǎn)移車體和設(shè)置在所述轉(zhuǎn)移車體底部的車輪，所述轉(zhuǎn)移車體上水平固定有定位板，在所述定位板上設(shè)置有多個(gè)與晶棒形狀相匹配的定位孔，所述定位板的下方水平設(shè)置有可豎向移動(dòng)的支撐板，所述支撐板上表面與各定位孔正對(duì)的位置設(shè)置有與所述定位孔相匹配的支撐塊，所述支撐塊的上表面為適于放置晶棒的支撐平面，在所述支撐板的下方設(shè)置有適于帶動(dòng)所述支撐板上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述支撐板移動(dòng)到最高處時(shí)所述支撐平面與所述定位板的上表面相平，所述支撐板移動(dòng)到最低處時(shí)所述支撐平面低于所述定位板的上表面；所述定位板或/和所述支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，所述支撐板或/和所述定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱與所述導(dǎo)向套筒活動(dòng)套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠。

上述技術(shù)方案中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括可橫向移動(dòng)的移動(dòng)架和帶動(dòng)所述移動(dòng)架橫向移動(dòng)的傳動(dòng)絲桿，所述傳動(dòng)絲桿與所述轉(zhuǎn)移車體上的絲桿孔配合，其一端與所述移動(dòng)架可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端設(shè)置有操作手柄，所述支撐板的下表面設(shè)置有若干受力凸塊，所述受力凸塊上設(shè)置有受力斜面，所述移動(dòng)架上與各受力凸塊對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有施力凸塊，所述施力凸塊上設(shè)置有適于與受力斜面配合的施力斜面。

上述技術(shù)方案中，所述轉(zhuǎn)移車體上設(shè)置有適于對(duì)所述移動(dòng)架橫向移動(dòng)范圍進(jìn)行限定的限位槽。

上述技術(shù)方案中，在所述移動(dòng)架遠(yuǎn)離所述傳動(dòng)絲桿一端與限位槽相應(yīng)槽壁之間設(shè)置有作用彈簧。

上述技術(shù)方案中，所述限位槽的槽壁上設(shè)置有用于安裝所述作用彈簧的安裝孔。

本實(shí)用新型具有積極的效果：

采用本實(shí)用新型中的結(jié)構(gòu)，在取放晶棒時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)支撐板移動(dòng)至最高處，此時(shí)支撐平面與定位板的上表面相平，這時(shí)晶棒擺脫了定位孔的限制，從而利于晶棒取放，在轉(zhuǎn)移晶棒時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)支撐板向下移動(dòng)至最低處，此時(shí)支撐平面低于定位板上表面，這樣定位孔的周壁能夠?qū)Ψ旁谥纹矫嫔系木О暨M(jìn)行定位限制，從而防止晶棒在轉(zhuǎn)移過(guò)程中發(fā)生位移，進(jìn)一步，所述定位板或/和所述支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，所述支撐板或/和所述定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱與所述導(dǎo)向套筒活動(dòng)套接，并在兩者之間設(shè)置滾珠，采用這種結(jié)構(gòu)能夠在為支撐板豎向移動(dòng)提供有效導(dǎo)向的同時(shí)，有效降低了摩擦阻力，從而使得支撐板豎向移動(dòng)更加靈活順暢，采用本實(shí)用新型中的結(jié)構(gòu)具有很好的實(shí)用性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型中晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖(支撐板處于最低處)；

圖2為本實(shí)用新型中晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖(支撐板處于最高處)。

圖中所示附圖標(biāo)記為：1-轉(zhuǎn)移車體；2-車輪；3-定位板；31-定位孔；4-支撐板；41-支撐塊；42-支撐平面；43-受力凸塊；44-受力斜面；5-移動(dòng)架；51-施力凸塊；52-施力斜面；6-傳動(dòng)絲桿；7-操作手柄；8-復(fù)位彈簧；9-滾珠；10-限位槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說(shuō)明書附圖對(duì)本實(shí)用新型中的具體結(jié)構(gòu)做以說(shuō)明：

一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，如圖1和圖2所示，其包括轉(zhuǎn)移車體1和設(shè)置在所述轉(zhuǎn)移車體1底部的車輪2，所述轉(zhuǎn)移車體1上水平固定有定位板3，在所述定位板3上設(shè)置有多個(gè)與晶棒形狀相匹配的定位孔31，所述定位板3的下方水平設(shè)置有可豎向移動(dòng)的支撐板4，所述支撐板4上表面與各定位孔31正對(duì)的位置設(shè)置有與所述定位孔31相匹配的支撐塊41，所述支撐塊41的上表面為適于放置晶棒的支撐平面42，在所述支撐板4的下方設(shè)置有適于帶動(dòng)所述支撐板4上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述支撐板4移動(dòng)到最高處時(shí)所述支撐平面42與所述定位板3的上表面相平，所述支撐板4移動(dòng)到最低處時(shí)所述支撐平面42低于所述定位板3的上表面；所述定位板3或/和所述支撐板4上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒32，所述支撐板4或/和所述定位板3上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱45，所述導(dǎo)向柱45與所述導(dǎo)向套筒32活動(dòng)套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠9。采用上述結(jié)構(gòu)，在取放晶棒時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)支撐板4移動(dòng)至最高處，此時(shí)支撐平面42與定位板3的上表面相平，這時(shí)晶棒擺脫了定位孔的限制，從而利于晶棒取放，在轉(zhuǎn)移晶棒時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)支撐板4向下移動(dòng)至最低處，此時(shí)支撐平面42低于定位板3上表面，這樣定位孔31的周壁能夠?qū)Ψ旁谥纹矫?2上的晶棒進(jìn)行定位限制，從而防止晶棒在轉(zhuǎn)移過(guò)程中發(fā)生位移，進(jìn)一步，通過(guò)如上設(shè)置相互活動(dòng)套接的導(dǎo)向套筒32和導(dǎo)向柱45，并在兩者之間設(shè)置滾珠9，這樣設(shè)置能夠在為支撐板4豎向移動(dòng)提供有效導(dǎo)向的同時(shí)，有效降低了摩擦阻力，從而使得支撐板4豎向移動(dòng)更加靈活順暢，采用本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)具有很好的實(shí)用性。

本實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括可橫向移動(dòng)的移動(dòng)架5和帶動(dòng)所述移動(dòng)架5橫向移動(dòng)的傳動(dòng)絲桿6，所述傳動(dòng)絲桿6與所述轉(zhuǎn)移車體1上的絲桿孔配合，其一端與所述移動(dòng)架5可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端設(shè)置有操作手柄7，所述支撐板4的下表面設(shè)置有若干受力凸塊43，所述受力凸塊43上設(shè)置有受力斜面44，所述移動(dòng)架5上與各受力凸塊43對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有施力凸塊51，所述施力凸塊51上設(shè)置有適于與受力斜面44配合的施力斜面52。采用這種結(jié)構(gòu)，在通過(guò)操作手柄7使傳動(dòng)絲桿6移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)移動(dòng)架5移動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)受力斜面44與施力斜面52相配合帶動(dòng)支撐板4沿豎向移動(dòng)，從而帶動(dòng)支撐塊41豎向移動(dòng)。

進(jìn)一步，所述轉(zhuǎn)移車體1上設(shè)置有適于對(duì)所述移動(dòng)架5橫向移動(dòng)范圍進(jìn)行限定的限位槽10，當(dāng)移動(dòng)架5移動(dòng)到與限位槽10一端相抵時(shí)，支撐板4移動(dòng)至最高處，使支撐平面與定位板的上表面相平，當(dāng)移動(dòng)架5移動(dòng)到與限位槽10另一端相抵時(shí)，支撐板4移動(dòng)至最低處，使支撐平面低于定位板的上表面。

再進(jìn)一步，在所述移動(dòng)架5遠(yuǎn)離所述傳動(dòng)絲桿6一端與限位槽10相應(yīng)槽壁之間設(shè)置有作用彈簧，作用彈簧能夠?yàn)橐苿?dòng)架5提供一定的彈性作用力輔助移動(dòng)架5移動(dòng)。

在所述限位槽10的槽壁上設(shè)置有用于安裝所述作用彈簧的安裝孔，從而利于作用彈簧安裝，在移動(dòng)架5與限位槽10相應(yīng)側(cè)壁相抵時(shí)，作用彈簧完全被壓縮至安裝孔內(nèi)。

為了使支撐板4能夠在失去驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)束縛后快速下移，因此在所述支撐板4與所述定位板3之間安裝了復(fù)位彈簧8，復(fù)位彈簧8作用有助于支撐板4盡快復(fù)位。

為了減小移動(dòng)架5與轉(zhuǎn)移車體1之間的摩擦力，因此在所述所述移動(dòng)架5上安裝有滾輪(圖中未示出)，所述轉(zhuǎn)移車體1上設(shè)置有沿所述移動(dòng)架5移動(dòng)方向設(shè)置的軌槽(圖中未示出)，所述滾輪被限位在所述軌槽內(nèi)移動(dòng)。

顯然，本實(shí)用新型的上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型所作的舉例，而并非是對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而這些屬于本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)精神所引伸出的顯而易見(jiàn)的變化或變動(dòng)仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。