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晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):12544137閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備,包括轉(zhuǎn)移車體(1)和設(shè)置在所述轉(zhuǎn)移車體(1)底部的車輪(2),其特征在于:所述轉(zhuǎn)移車體(1)上水平固定有定位板(3),在所述定位板(3)上設(shè)置有多個(gè)與晶棒形狀相匹配的定位孔(31),所述定位板(3)的下方水平設(shè)置有可豎向移動(dòng)的支撐板(4),所述支撐板(4)上表面與各定位孔(31)正對(duì)的位置設(shè)置有與所述定位孔(31)相匹配的支撐塊(41),所述支撐塊(41)的上表面為適于放置晶棒的支撐平面(42),在所述支撐板(4)的下方設(shè)置有適于帶動(dòng)所述支撐板(4)上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述支撐板(4)移動(dòng)到最高處時(shí)所述支撐平面(42)與所述定位板(3)的上表面相平,所述支撐板(4)移動(dòng)到最低處時(shí)所述支撐平面(42)低于所述定位板(3)的上表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備,其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括可橫向移動(dòng)的移動(dòng)架(5)和帶動(dòng)所述移動(dòng)架(5)橫向移動(dòng)的傳動(dòng)絲桿(6),所述傳動(dòng)絲桿(6)與所述轉(zhuǎn)移車體(1)上的絲桿孔配合,其一端與所述移動(dòng)架(5)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接,另一端設(shè)置有操作手柄(7),所述支撐板(4)的下表面設(shè)置有若干受力凸塊(43),所述受力凸塊(43)上設(shè)置有受力斜面(44),所述移動(dòng)架(5)上與各受力凸塊(43)對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有施力凸塊(51),所述施力凸塊(51)上設(shè)置有適于與受力斜面(44)配合的施力斜面(52)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備,其特征在于:所述支撐板(4)與所述定位板(3)之間安裝有復(fù)位彈簧(8)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備,其特征在于:所述移動(dòng)架(5)上安裝有滾輪,所述轉(zhuǎn)移車體(1)上設(shè)置有沿所述移動(dòng)架(5)移動(dòng)方向設(shè)置的軌槽,所述滾輪被限位在所述軌槽內(nèi)移動(dòng)。

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