專利名稱：鋼瓶推車的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種推車的設計，特別是一種用于運送及暫時儲存具危險性氣體的鋼瓶推車。
背景技術：
在半導體的工藝中，不論是氣相沉積工藝、刻蝕工藝或離子注入工藝，均需各種氣體以讓反應進行，這些氣體通常儲存在各式不同的鋼瓶中，并將鋼瓶放置在特定的存放地點加以保存，使用時再將存放有氣體的鋼瓶運送到硅片廠中供給不同工藝使用，然而由于這些氣體通常具有強烈的毒性(如PH3、EF3及ASH3)或易爆性(如SiH4、H2)，因此處理時必須非常謹慎，硅片廠通常將這些氣體存放在特定氣體儲存柜中，并配合壓力調節(jié)器、氣體偵測器、氣體清除裝置等來防止氣體外泄，然而當儲氣柜中的氣體使用完畢時，必須將氣體以鋼瓶方式運送至儲氣柜中補充時，通常是以人工搬運鋼瓶，但這樣十分容易因為人為疏忽造成鋼瓶中氣體外泄而導致災害發(fā)生，且每次運送的數(shù)量有限，運送效率較低。
危險性氣體除對于硅片制造占有相當大的應用外，在許多產業(yè)或多或少均有其應用性，而為能保護工作環(huán)境的安全，因此有專門用于運送鋼瓶的推車設計，如臺灣319,193號專利，其具有夾層的推車設計可存放數(shù)個鋼瓶，并利用觀察窗可方便觀察儲存的鋼瓶狀況，但就安全性及方便性而言，其防爆氣密處理裝置為另一獨立的裝置，使用時需將鋼瓶另置入防爆氣密處理裝置內才能有較周全的保護，因此仍有改善的空間，是以本發(fā)明設計一具有氣密功能的推車，在運送鋼瓶的同時，即能監(jiān)控鋼瓶的情況，利用其氣密的設計使鋼瓶受到嚴密的保護，萬一氣體外泄，也能因密閉的空間使氣體不會散布至空氣中。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種鋼瓶推車，其設有容置空間可有效率且安全地運送裝載有危險性氣體的鋼瓶。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種具高安全性的推車，其利用雙層密封設計配合內部形成負壓的作用可確實防止氣體泄漏，達到安全運送具有毒性氣體的目的。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種可隨時監(jiān)控鋼瓶情況的推車，利用設于推車上的氣體傳感器、壓力計等感測組件，從外部即能得知鋼瓶的狀況，萬一氣體外泄時，能立即得知并采取應變措施，降低因人為疏忽所產生的危險。
為達到上述的目的，本發(fā)明提供一種鋼瓶推車，其特征在于包含一推車主體，其具有一容置空間，且其上形成有至少一容置開口，使所述容置空間可容置數(shù)個鋼瓶；數(shù)個推車車輪，連接設于所述推車主體下方，以使所述推車主體可任意移動；至少一封蓋裝置，覆蓋所述容置開口，使所述容置空間氣密；一監(jiān)測系統(tǒng)，設于所述推車主體上，監(jiān)控所述鋼瓶的氣體是否泄漏；以及一排氣裝置，設于所述推車主體上，使所述容置空間與外部連接。
較佳的，鋼瓶推車所述監(jiān)測系統(tǒng)包含一氣體檢知器，可偵測所述數(shù)個鋼瓶所存放氣體泄漏至所述容置空間的氣體濃度。
較佳的，所述監(jiān)測系統(tǒng)還包含一壓力計，用于測量所述容置空間的氣體壓力。
較佳的，所述監(jiān)測系統(tǒng)還設有一氣體傳感器，用于偵測所述容置空間是否含有過量所述數(shù)個鋼瓶所存放氣體，并加以警報。
較佳的，所述容置開口更包含一內開口與形成在其外側的一外開口，且所述封蓋裝置同樣包含一內封蓋與一外封蓋，使所述內/外封蓋可分別覆蓋在內/外開口上，以達到密封所述容置空間。
較佳的，所述封蓋裝置包含兩個C型環(huán)扣，可環(huán)設在所述內/外封蓋與所述內/外開口的邊緣，使所述封蓋裝置與能緊密固定在所述容置開口上。
較佳的，所述內/外開口上設有一氣密墊，使所述內/外封蓋與所述內/外開口緊密。
較佳的，所述內/外封蓋上設有一把手，以方便所述內/外封蓋的開啟與關閉。
較佳的，所述推車主體包含一握把，以使所述推車主體能方便移動。
較佳的，所述排氣裝置包含一控制閥與一排氣管線。
本發(fā)明的有益效果是能夠有效率且安全地運送裝載有危險性氣體的鋼瓶，并能隨時監(jiān)控鋼瓶情況，萬一氣體外泄時，能立即得知并采取應變措施，降低因人為疏忽所產生的危險。


圖1為本發(fā)明立體結構示意圖。
圖2為本發(fā)明的封蓋裝置開啟示意圖。
圖3為本發(fā)明的推車密封完成示意圖。
圖4為本發(fā)明立體結構正視圖。
圖5為本發(fā)明立體結構側視圖。
標號說明10推車主體
12推車手把14推車車輪16容置空間18容置開口180內開口182外開口20鋼瓶22封蓋裝置220內封蓋222外封蓋24、240彈片26握把28氣體檢知器30壓力計32氣體傳感器34排氣管線36控制閥38、380C型環(huán)扣具體實施方式
以下結合附圖及實施例進一步說明本發(fā)明的結構特征及其所達成的有益效果。
本發(fā)明是一種鋼瓶推車的設計，且它的主要功能在于可加強運送存有危險氣體鋼瓶的安全性，由于半導體工藝中所使用的氣體大多具有毒性，以傳統(tǒng)人工運送或以一般推車運送，均有可能因操作不當或人為疏忽而發(fā)生危險，因此本發(fā)明的獨特推車設計可對鋼瓶進行氣密的防護，萬一鋼瓶內的有毒氣體泄漏，也不會散布至空氣中而產生危險。
首先，本發(fā)明的立體結構示意圖如圖1所示，此鋼瓶推車主要包含一推車主體10，其設有一推車手把12，且下方連接設有數(shù)個推車車輪14，可方便推車主體10任意移動；推車主體10內具有一容置空間16，且其上形成至少一容置開口18，使欲運送的鋼瓶20可容置于其中，而為加強氣密的功能，本發(fā)明的容置開口18采用雙層設計，包含一內開口180與形成在其外側較高處的一外開口182，內開口180與外開口182上端均形成一平坦面；對應于容置開口18的設計，本發(fā)明尚設有至少一封蓋裝置22，包含用于覆蓋內開口180的內封蓋220與覆蓋外開口182的外封蓋222，它能將容置空間18形成氣密，內封蓋220利用一彈片24設于外開口182的內側壁，而外封蓋222利用一彈片240連接固定于推車主體10上，使內、外封蓋220、222能與內、外開口180、182蓋合，在封蓋上并可設一握把26，以方便內/外封蓋220、222的開啟與關閉；另推車主體10上還設有一監(jiān)測系統(tǒng)，以能實時監(jiān)控置于推車10內鋼瓶18的狀況，監(jiān)測系統(tǒng)主要包含一氣體檢知器28、一壓力計30及一氣體傳感器32，用于偵測容置空間16中的氣體濃度與氣體壓力，并具有警示的功能，當鋼瓶20的氣體泄漏時可實時偵測并發(fā)出警告；再利用設于推車主體10的排氣裝置，包含排氣管線34與控制閥36，可使容置空間16與外部接通，通過控制閥36的操作即可將氣體經由排氣管線34釋放至安全的地方。
本發(fā)明的創(chuàng)新設計使得推車10本身即是一個完全氣密的空間，當鋼瓶20容置于其中不幸產生泄漏狀況時，也能因氣密的保護而使氣體無法散布至空氣中對人體造成危害，而其氣密的功能除推車主體10本身的材料特性外，本發(fā)明采用雙層密封的設計，并可抽出部分空氣使容置空間16為負壓狀態(tài)，更是形成更良好的氣密作用，以下通過圖2與圖3說明本發(fā)明的作動與其所具有的特色。圖2所示為本發(fā)明的封蓋裝置22開啟示意圖，當封蓋裝置開啟時可將鋼瓶20取出或置入，而其可置入鋼瓶20數(shù)量視其尺寸設計而定，以可置入四瓶鋼瓶20為例，將鋼瓶20經由容置開口18依序置入容置空間16后，先將封蓋裝置22所包含的內封蓋220覆蓋于內開口180的平坦部上，以一C型環(huán)扣38環(huán)設在內封蓋220與內開口180的周緣，使其二者能緊密固定在一起，再以同樣的方式將外封蓋222與外開口182同樣以另一C型環(huán)扣380緊密固定，即完成如圖3所示的推車密封完成示意圖，而為能加強氣密的作用，在內開口180與外開口182上可設一氣密墊，使內/外封蓋220、222能與內/外開口180、182更緊密。而完成容置空間的密封后，圖4為推車密封后的正視圖，圖5為推車密封后的側視圖，利用排氣管線34與廠房的真空設備連接，可將容置空間16內的部分空氣抽出，使其內部形成負壓狀態(tài)，利用外部壓力與內部壓力的所形成的壓差，讓封蓋裝置22更緊密的覆蓋在容置開口18上，形成更好的密封效果。而不論是在抽真空形成負壓的過程中或是密封好運送的過程中，通過監(jiān)控系統(tǒng)所包含的壓力計30可隨時監(jiān)控容置空間16的氣體壓力，而氣體檢知器28可分析容置空間16中所含有各種氣體的濃度，氣體傳感器32可偵測容置空間16中是否含有鋼瓶20泄漏的氣體，若超過預設標準值立即發(fā)出警示，通知操作人員進行處理，將排氣管線34與廠房的排氣設備連接，開啟控制閥36讓泄漏的氣體安全排出，讓氣體不致危害人體。利用這樣的設計不僅可安全的運送存放有高危險性氣體的鋼瓶，萬一氣體產生泄漏，也能立即完成氣體泄漏的處理而不會造成危害。
本發(fā)明設計具有氣密功能的一推車用于進行鋼瓶的運送，除采用雙層密封使形成良好的氣密外，其可直接測量壓差的壓力表可看出鋼瓶是否泄漏，與氣體傳感器形成雙重檢測，加強監(jiān)控的效用。且本鋼瓶推車操作簡單，防護周全，一次可運送數(shù)個鋼瓶，運送效率高，對于常需使用危險性氣體的企業(yè)而言，是加強工廠安全，增加運送效率相當好的一種設備。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)先實施方式，不能僅以本實施例來限定本發(fā)明實施的范圍。凡依本發(fā)明申請范圍所述的形狀、構造、特征及精神所為的同等變化或修飾，仍落在本發(fā)明的專利范圍內。
權利要求
1.一種鋼瓶推車，其特征在于包括一推車主體，其具有一容置空間，且其上形成有至少一容置開口，使所述容置空間可容置數(shù)個鋼瓶；數(shù)個推車車輪，連接設于所述推車主體下方，以使所述推車主體可任意移動；至少一封蓋裝置，覆蓋所述容置開口，使所述容置空間氣密；一監(jiān)測系統(tǒng)，設于所述推車主體上，監(jiān)控所述鋼瓶的氣體是否泄漏；以及一排氣裝置，設于所述推車主體上，使所述容置空間與外部連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的鋼瓶推車，其特征在于所述監(jiān)測系統(tǒng)包含一氣體檢知器。
3.根據(jù)權利要求1所述的鋼瓶推車，其特征在于所述監(jiān)測系統(tǒng)包含一壓力計。
4.根據(jù)權利要求1所述的鋼瓶推車，其特征在于所述監(jiān)測系統(tǒng)設有一氣體傳感器。
5.根據(jù)權利要求1所述的鋼瓶推車，其特征在于所述容置開口更包含一內開口與形成在其外側的一外開口，且所述封蓋裝置同樣包含一內封蓋與一外封蓋，使所述內/外封蓋可分別覆蓋在內/外開口上，以達到密封所述容置空間。
6.根據(jù)權利要求5所述的鋼瓶推車，其特征在于所述封蓋裝置包含兩個C型環(huán)扣，可環(huán)設在所述內/外封蓋與所述內/外開口的邊緣。
7.根據(jù)權利要求5所述的鋼瓶推車，其特征在于所述內/外開口上設有一氣密墊。
8.根據(jù)權利要求5所述的鋼瓶推車，其特征在于所述內/外封蓋上設有一把手。
9.根據(jù)權利要求1所述的鋼瓶推車，其特征在于所述推車主體包含一握把。
10.根據(jù)權利要求1所述的鋼瓶推車，其特征在于所述排氣裝置包含一控制閥與一排氣管線。
全文摘要
本發(fā)明提供一種鋼瓶推車，它具有氣密功能可用于運送儲存有具危險性氣體的鋼瓶，當鋼瓶氣體泄漏時，因其氣密空間可使氣體無法散布至空氣中，不會對人體造成危害。所述鋼瓶推車主要包含一推車主體，其內部具有一容置空間，其上并設有雙層結構的容置開口，配合同樣具雙層結構的封蓋裝置可使推車整體形成良好的氣密空間，推車主體上另設有氣體監(jiān)控系統(tǒng)，包含氣體檢知器、壓力計及傳感器等，用于隨時偵測鋼瓶氣體的狀態(tài)，萬一發(fā)生泄漏可立即警示，讓操作人員可利用排氣管線讓泄漏氣體安全排出，對于提升工作環(huán)境安全，降低災害有相當良好的應用。
文檔編號B62B3/00GK1676392SQ20041001740
公開日2005年10月5日 申請日期2004年4月1日 優(yōu)先權日2004年4月1日
發(fā)明者梁金秋, 黃振聰 申請人:上海宏力半導體制造有限公司