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導(dǎo)電膜形成用組合物和導(dǎo)電膜的制造方法_4

文檔序號:9602070閱讀:來源:國知局
醛樹脂(群榮化學(xué)社制、RESITOPPL-3224)(在表1中記作J)(以酚 醛樹脂計為1質(zhì)量份),除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用組合物。
[0143] <實施例8>
[0144] 使用鈀微粒分散液(和光純藥社制)(在表1中記作Q)(以鈀微粒計為0.38質(zhì)量 份)代替乙酸鈀(0.38質(zhì)量份),除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用 組合物。
[0145] <實施例9>
[0146] 使用鉑微粒分散液(和光純藥社制)(在表1中記作R)(以鉑微粒計為0.38質(zhì)量 份)代替乙酸鈀(0.38質(zhì)量份),除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用 組合物。
[0147] < 實施例 10 >
[0148] 使用鎳微粒分散液(和光純藥社制)(在表1中記作S)(以鎳微粒計為0.38質(zhì)量 份)代替乙酸鈀(0.38質(zhì)量份),除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用 組合物。
[0149]〈實施例 11 >
[0150] 使用乙酸鈀的2質(zhì)量%丙酮溶液(19質(zhì)量份)代替乙酸鈀(0.38質(zhì)量份),并且將 水的混配量由46. 4質(zhì)量份變更為27. 8質(zhì)量份,除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到 導(dǎo)電膜形成用組合物。需要說明的是,導(dǎo)電膜形成用組合物中含有的由水和丙酮構(gòu)成的混 合溶劑的SP值為17. 2。
[0151] <比較例1>
[0152] 將氧化銅的混配量由7. 6質(zhì)量份變更為2. 53質(zhì)量份,將三羥甲基丙烷的混配量由 38質(zhì)量份變更為12. 7質(zhì)量份,將乙酸鈀的混配量由0. 38質(zhì)量份變更為0. 126質(zhì)量份,除此 以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用組合物。
[0153] <比較例2>
[0154] 將三羥甲基丙烷的混配量由38質(zhì)量份變更為114質(zhì)量份,除此以外,按照與實施 例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用組合物。
[0155] <比較例3>
[0156] 將三羥甲基丙烷的混配量由38質(zhì)量份變更為7. 6質(zhì)量份,除此以外,按照與實施 例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用組合物。
[0157] <比較例4>
[0158] 將乙酸鈀的混配量由0.38質(zhì)量份變更為1. 52質(zhì)量份,除此以外,按照與實施例3 同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用組合物。
[0159] <比較例5>
[0160] 沒有混配乙酸鈀,除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用組合 物。
[0161] <比較例6>
[0162] 使用銅微粒分散液(Ι0Χ公司制)(在表1中記作T)(以銅微粒計為0· 38質(zhì)量份) 代替乙酸鈀(0. 38質(zhì)量份),除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用組合 物。
[0163] <比較例7>
[0164] 沒有混配氧化銅顆粒,除此以外,按照與實施例3同樣的步驟得到導(dǎo)電膜形成用 組合物。
[0165](導(dǎo)電膜的制造)
[0166] 利用涂布棒將所得到的導(dǎo)電膜形成用組合物(實施例1~11和比較例1~7)分 別涂布在合成石英基板(IGC公司制)上,得到涂膜。之后,在氮氣氣氛下對所得到的涂膜 進(jìn)行加熱處理(200°C、30分鐘),得到導(dǎo)電膜。
[0167](導(dǎo)電性)
[0168] 對于所得到的導(dǎo)電膜,使用四探針法電阻率計測定體積電阻率,根據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn)評 價了導(dǎo)電性。將結(jié)果匯總示于表1中。在實用上,優(yōu)選為AA或A~C,更優(yōu)選為AA、A或B, 進(jìn)一步優(yōu)選為AA或A,特別優(yōu)選為AA。
[0169] ·AA:體積電阻率小于5X10 5Ω·cm
[0170] ·A:體積電阻率為5X10 5Ω ·cm以上且小于1X104Ω · cm
[0171] ·B :體積電阻率為1X10 4Ω · cm以上且小于5X10 4Ω · cm
[0172] ·C :體積電阻率為5X10 4Ω · cm以上且小于1X10 3Ω · cm
[0173] ·D :體積電阻率為1 X 10 3Ω · cm以上
[0174](空孔率)
[0175] 通過Helios400S型FIB/SEM-EDS復(fù)合機(FEI公司制)對所得到的導(dǎo)電膜進(jìn) 行FIB加工,進(jìn)行截面SEM觀察。使用圖像軟件(AdobeSystems,Inc.公司制的"Adobe Photoshop")調(diào)整閾值,將所得到的截面SEM照片黑白二值化,由白色點(dot)與黑色點的 數(shù)量比算出空孔率(空隙率)。根據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn)對算出的空孔率進(jìn)行評價。將結(jié)果匯總示于 表1中。在實用上,優(yōu)選為AA、A或B,更優(yōu)選為AA或A,進(jìn)一步優(yōu)選為AA。
[0176]·ΑΑ:空孔率小于5%
[0177] ·A :空孔率為5%以上且小于15%
[0178] ·B:空孔率為15%以上且小于30%
[0179] ·C:空孔率為30%以上且小于50%
[0180].D:空孔率為50%以上
[0181]
[0182] 由表1可知,由本文實施例的組合物所得到的導(dǎo)電膜均顯示優(yōu)異的導(dǎo)電性,并且 空孔少。
[0183] 另外,根據(jù)實施例1~6的對比,由還原劑為分子內(nèi)具有二個以上羥基的化合物的 實施例1~3、5和6的組合物所得到的導(dǎo)電膜顯示了更優(yōu)異的導(dǎo)電性。其中,由還原劑為 "分子內(nèi)具有兩個以上羥基且沒有羰基而且沸點為250Γ以下的化合物"的實施例3和6的 組合物所得到的導(dǎo)電膜顯示了更進(jìn)一步優(yōu)異的導(dǎo)電性。
[0184]另外,根據(jù)實施例3和7的對比,由含有熱固性樹脂的實施例7的組合物所得到的 導(dǎo)電膜的空孔更少。
[0185]另外,根據(jù)實施例3和8的對比,由金屬催化劑為鹽化合物的實施例3的組合物所 得到的導(dǎo)電膜顯示了更優(yōu)異的導(dǎo)電性。
[0186] 另外,根據(jù)實施例3和11的對比,由溶劑的溶解度參數(shù)為10 (cal/cm3)1/2~ 20(cal/cm3)1/2的實施例11的組合物所得到的導(dǎo)電膜顯示了更優(yōu)異的導(dǎo)電性。
[0187]另一方面,由不含有氧化銅顆粒的比較例7、含有氧化銅顆粒但氧化銅顆粒的含量 相對于銅顆粒的含量小于50質(zhì)量%的比較例1、還原劑的含量相對于氧化銅顆粒的含量超 過800mol%的比較例2、還原劑的含量相對于氧化銅顆粒的含量小于lOOmol%的比較例3、 不含有包含銅以外的金屬的金屬催化劑的比較例5和6以及含有包含銅以外的金屬的金屬 催化劑但上述金屬催化劑的含量相對于氧化銅顆粒的含量超過10質(zhì)量%的比較例4的組 合物所得到的導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性均不足,并且觀察到大量空孔。
【主權(quán)項】
1. 一種導(dǎo)電膜形成用組合物,其含有平均粒徑為Inm~10 μπι的銅顆粒、平均粒徑為 Inm~500nm的氧化銅顆粒、具有羥基的還原劑、含有銅以外的金屬的金屬催化劑和溶劑, 所述氧化銅顆粒的含量相對于所述銅顆粒的含量為50質(zhì)量%~300質(zhì)量%,所述還原劑的 含量相對于所述氧化銅顆粒的含量為100摩爾%~800摩爾%,所述金屬催化劑的含量相 對于所述氧化銅顆粒的含量為10質(zhì)量%以下。2. 如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電膜形成用組合物,其中,所述還原劑為分子內(nèi)含有2個以上 羥基的化合物。3. 如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電膜形成用組合物,其中,所述還原劑的沸點為250°C以下, 并且所述還原劑為由如下通式(1)或(2)表示的化合物,在通式(1)和(2)中,RpRjP 1?3分別獨立地表示氫原子、烷基、烷氧基、羥烷基或烷氧 基烷基,Rp私和R3不含甲?;螋驶?。4. 如權(quán)利要求1~3中任一項所述的導(dǎo)電膜形成用組合物,其中,所述金屬催化劑是含 有選自由鈀、鉑、鎳和銀組成的組中的至少一種金屬的金屬催化劑。5. 如權(quán)利要求1~4中任一項所述的導(dǎo)電膜形成用組合物,其中,所述金屬催化劑是鹽 化合物。6. 如權(quán)利要求1~5中任一項所述的導(dǎo)電膜形成用組合物,其中,所述溶劑的溶解度參 數(shù)(SP 值)為 10 ~20 (cal/cm3)1/2。7. 如權(quán)利要求1~6中任一項所述的導(dǎo)電膜形成用組合物,其中,還含有樹脂。8. 如權(quán)利要求7所述的導(dǎo)電膜形成用組合物,其中,所述樹脂為熱固性樹脂。9. 一種導(dǎo)電膜的制造方法,其具備: 涂膜形成工序,將權(quán)利要求1~8中任一項所述的導(dǎo)電膜形成用組合物涂布在基材上, 形成涂膜; 加熱處理工序,對所述涂膜進(jìn)行加熱處理,形成導(dǎo)電膜。10. 如權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電膜的制造方法,其中,所述加熱處理的溫度為200°C以下。
【專利摘要】本發(fā)明的課題在于提供一種能夠形成導(dǎo)電性優(yōu)異且空洞少的導(dǎo)電膜的導(dǎo)電膜形成用組合物以及使用該組合物的導(dǎo)電膜的制造方法。本發(fā)明的導(dǎo)電膜形成用組合物含有平均粒徑為1nm~10μm的銅顆粒、平均粒徑為1nm~500nm的氧化銅顆粒、具有羥基的還原劑、含有銅以外的金屬的金屬催化劑和溶劑,所述氧化銅顆粒的含量相對于所述銅顆粒的含量為50質(zhì)量%~300質(zhì)量%,所述還原劑的含量相對于所述氧化銅顆粒的含量為100摩爾%~800摩爾%,所述金屬催化劑的含量相對于所述氧化銅顆粒的含量為10質(zhì)量%以下。
【IPC分類】C09D1/00, H05K1/09, C09D7/12, H05K3/12, H01B1/22, C09D201/00, H01B1/00, H01B13/00, C09D5/24
【公開號】CN105358640
【申請?zhí)枴緾N201480037398
【發(fā)明人】津山博昭, 渡邊徹, 早田佑一
【申請人】富士膠片株式會社
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2014年6月12日
【公告號】EP3029119A1, EP3029119A4, US20160137855, WO2015015918A1
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