本發(fā)明涉及減粘保護(hù)膜，特別涉及一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜及其制備方法。
背景技術(shù)：
1、隨著信息技術(shù)和半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，各類基于晶圓器件的需求日益增加。減粘膜是晶圓加工的關(guān)鍵材料之一。減粘膜，又稱為減粘膠帶，是通過將減粘膠涂覆于聚酯薄膜(pet)、聚烯烴薄膜(po)等基材上制得。除了半導(dǎo)體晶圓材料的加工，超薄玻璃的切割，手機(jī)屏等玻璃的酸處理過程都需要用到減粘膜。減粘膜在易被損壞的材料進(jìn)行加工時起到固定保護(hù)作用，防止飛濺碎片、破損；待加工結(jié)束后，為便于撿取被加工件，經(jīng)固化減粘作用，使減粘膜粘接力大幅降低，被加工件與基材脫離，進(jìn)而進(jìn)行下一步的加工。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為此，本發(fā)明提供了一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜的制備方法，制備步驟包括：
2、(1)在氮?dú)獗Ｗo(hù)氛圍下，在反應(yīng)釜內(nèi)將端羥基聚丁二烯、乙酸乙酯、2-氯-4,6-二苯基-1,3,5-三嗪、乙二胺、二月桂酸二丁基錫和對苯二酚混合，混合物水浴加熱至60±3℃，到溫后保溫攪拌，攪拌過程中向混合物中加入異佛爾酮二異氰酸酯，加料完成后在氮?dú)夥諊?0±3℃恒溫攪拌2h以上，然后再加入1,4-丁二醇，加料完成后再在氮?dú)夥諊?0±3℃恒溫攪拌3h以上，獲得膠黏劑；
3、(2)將丙烯酸羥乙酯、甲基四氫苯酐和馬來酸酐混合均勻，然后加熱至90±2℃保溫，到溫后攪拌10min以上，然后在攪拌狀態(tài)下加入三乙胺，加料完成后繼續(xù)90±2℃恒溫攪拌30min以上，然后加入環(huán)氧大豆油，加料完成后繼續(xù)90±2℃恒溫攪拌50～60min，獲得改性丙烯酸酯類單體；
4、(3)攪拌所述膠黏劑，然后在攪拌狀態(tài)下向所述膠黏劑中加入所述改性丙烯酸酯類單體、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸、辛烷磺酸鈉和光引發(fā)劑，加料完成后繼續(xù)攪拌30min以上，獲得uv減粘膠，將所述uv減粘膠涂布在經(jīng)過電暈預(yù)處理后的聚烯烴薄膜表面，待溶劑蒸發(fā)完全后，獲得所述uv減粘保護(hù)膜。
5、進(jìn)一步地，所述步驟(1)中，所述端羥基聚丁二烯、乙酸乙酯、2-氯-4,6-二苯基-1,3,5-三嗪、乙二胺、二月桂酸二丁基錫、對苯二酚、異佛爾酮二異氰酸酯和1,4-丁二醇按重量份數(shù)計為：端羥基聚丁二烯10份，乙酸乙酯25～30份，2-氯-4,6-二苯基-1,3,5-三嗪2～3份，乙二胺0.4～0.8份；二月桂酸二丁基錫0.006～0.008份，對苯二酚0.07～0.09份，異佛爾酮二異氰酸酯2～4份，1,4-丁二醇1～2份。
6、進(jìn)一步地，所述步驟(2)中，所述丙烯酸羥乙酯、甲基四氫苯酐、馬來酸酐、三乙胺和環(huán)氧大豆油按重量份數(shù)計為：丙烯酸羥乙酯100份，甲基四氫苯酐35～40份，馬來酸酐46～48份，三乙胺2～3份，環(huán)氧大豆油100～110份。
7、進(jìn)一步地，所述步驟(3)中，所述膠黏劑中加入所述改性丙烯酸酯類單體、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸、辛烷磺酸鈉和光引發(fā)劑的質(zhì)量比為膠黏劑：改性丙烯酸酯類單體：1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸：辛烷磺酸鈉：光引發(fā)劑＝100:15～18:6～7:0.8～1:2～4。
8、進(jìn)一步地，所述步驟(3)中，所述光引發(fā)劑為(2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基氧化膦。
9、進(jìn)一步地，所述步驟(3)中，所述涂布濕膜厚度為50～60μm。
10、本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明所述方法制備的uv減粘膠具有良好的減粘效果，減粘后容易剝離，方便操作。且uv光照前粘附性能較好，能夠很好的實(shí)現(xiàn)晶圓的固定，使用效果優(yōu)良。本發(fā)明通過2-氯-4,6-二苯基-1,3,5-三嗪對端羥基聚丁二烯進(jìn)行改性處理，在uv光照時，使其在光引發(fā)劑(2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基氧化膦的作用下更容易發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，提高交聯(lián)程度，引起膠層體積收縮，極大地減少了黏結(jié)點(diǎn)。再通過對丙烯酸酯類單體進(jìn)行處理，在丙烯酸酯類單體上引入環(huán)氧大豆油基團(tuán)，提高了單體的官能度，使得單體含有的不飽和c＝c數(shù)增多，進(jìn)一步提高uv光照下減粘膠的交聯(lián)程度，提高交聯(lián)密度，使得光照后剝離強(qiáng)度顯著降低。最后通過引入1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸，能夠一定程度地促進(jìn)uv光照條件下單體的交聯(lián)，使得減粘效果進(jìn)一步改善。
1.一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜的制備方法，其特征在于，制備步驟包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(1)中，所述端羥基聚丁二烯、乙酸乙酯、2-氯-4,6-二苯基-1,3,5-三嗪、乙二胺、二月桂酸二丁基錫、對苯二酚、異佛爾酮二異氰酸酯和1,4-丁二醇按重量份數(shù)計為：端羥基聚丁二烯10份，乙酸乙酯25～30份，2-氯-4,6-二苯基-1,3,5-三嗪2～3份，乙二胺0.4～0.8份；二月桂酸二丁基錫0.006～0.008份，對苯二酚0.07～0.09份，異佛爾酮二異氰酸酯2～4份，1,4-丁二醇1～2份。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中，所述丙烯酸羥乙酯、甲基四氫苯酐、馬來酸酐、三乙胺和環(huán)氧大豆油按重量份數(shù)計為：丙烯酸羥乙酯100份，甲基四氫苯酐35～40份，馬來酸酐46～48份，三乙胺2～3份，環(huán)氧大豆油100～110份。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中，所述膠黏劑中加入所述改性丙烯酸酯類單體、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸、辛烷磺酸鈉和光引發(fā)劑的質(zhì)量比為膠黏劑：改性丙烯酸酯類單體：1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸：辛烷磺酸鈉：光引發(fā)劑＝100:15～18:6～7:0.8～1:2～4。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中，所述光引發(fā)劑為(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚氨酯型uv減粘保護(hù)膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中，所述涂布濕膜厚度為50～60μm。