1.一種高精度復(fù)合拋光液,其特征在于,由以下重量百分比的組分組成:
研磨劑0.1%~50%,
分散劑0.01%~20%,
懸浮劑0.01%~15%,
緩蝕劑0.1%~5%,
余量為去離子水溶劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度復(fù)合拋光液,其特征在于:所述研磨劑為平均粒徑為0.1~5um的氧化硅、氧化鋯、氧化鈰、氧化鋁、氧化鎂、氧化鈦中的一種或幾種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度復(fù)合拋光液,其特征在于:所述分散劑為硅酸鈉、三聚磷酸鈉、六偏磷酸鈉和焦磷酸鈉、三乙基己基磷酸、十二烷基硫酸鈉、甲基戊醇、纖維素衍生物、聚丙烯酰胺、古爾膠、脂肪酸聚乙二醇酯中的一種或幾種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度復(fù)合拋光液,其特征在于:所述懸浮劑為甲基纖維素、羥丙基甲基纖維素、羧甲基纖維素鈉、羥乙基纖維素中的一種或幾種與黃原膠、海藻酸鈉、阿拉伯樹膠、大豆蛋白膠中的一種或幾種按質(zhì)量比為1:0.1~1形成的混合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度復(fù)合拋光液,其特征在于:所述緩蝕劑為鉻酸鹽、鉬酸鹽、鎢酸鹽、釩酸鹽、硼酸鹽、聚磷酸鹽、鋅鹽、膦酸(鹽)、膦羧酸、琉基苯并噻唑、苯并三唑、磺化木質(zhì)素中的一種或幾種。
6.一種高精度復(fù)合拋光液的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)按一定比例將研磨劑和去離子水加入到砂磨機(jī)中,按一定轉(zhuǎn)速進(jìn)行研磨和分散處理;
(2)待步驟(1)中得到的漿料達(dá)到一定分散效果后,加入分散劑;
(3)將步驟(2)中經(jīng)過研磨、分散得到的漿料加入高速攪拌機(jī)中進(jìn)行攪拌,并按一定比例加入懸浮劑、緩蝕劑;
(4)將步驟(3)中所得到的漿料放置24h無沉淀即可。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高精度復(fù)合拋光液制備方法,其特征在于:所述步驟(1)中所述研磨劑和去離子水的質(zhì)量百分比為:0.01~1:1。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高精度復(fù)合拋光液制備方法,其特征在于:所述步驟(1)中所述砂磨機(jī)為提籃式、渦輪式或棒銷式砂磨機(jī)中的任意一種;所述砂磨機(jī)研磨介質(zhì)為直徑為0.1~0.5mm的氧化鋯球;所述砂磨機(jī)轉(zhuǎn)速為5000~8000r/min;研磨時(shí)間為0.5~3h。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高精度復(fù)合拋光液制備方法,其特征在于:所述步驟(2)中漿料中研磨劑顆粒的粒度分布為2D10≥D50≤0.5D90。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高精度復(fù)合拋光液制備方法,其特征在于:所述步驟(3)中所述高速攪拌機(jī),其攪拌漿為周邊齒式分散盤,攪拌速度為500~1000r/min,攪拌時(shí)間為0.5~3h。