技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明是有關(guān)于一種用于拋光藍(lán)寶石基板的研磨組合物和使用其拋光藍(lán)寶石基板的方法，其中本發(fā)明的研磨組合物包括：(A)5至50重量百分比的研磨粒子；(B)0.01至5重量百分比的含有下述通式(1)所表示的烷基胺結(jié)構(gòu)化合物；以及(C)余量的水；其中，R1、R2、R3是如說明書中所定義。當(dāng)應(yīng)用本發(fā)明的研磨組合物拋光藍(lán)寶石基板時(shí)，可改善于拋光工藝的拋光速率，并提升經(jīng)拋光的基板的表面質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：徐沛紳;張?zhí)憩?周乃天;黃新義
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺(tái)灣永光化學(xué)工業(yè)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.16
技術(shù)公布日：2017.11.07