一種勻膠機的防護裝置及配備該裝置的勻膠的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種勻膠機的防護裝置及配備該裝置的勻膠機，屬于半導體器件生產用具領域。它包括中心板，還包括氣管和環(huán)形防護罩，所述的中心板為圓形；所述的環(huán)形防護罩為環(huán)狀結構，固定在中心板的四周；所述的環(huán)形防護罩由第一斜板、底板、豎直板、頂板和第二斜板依次連接組成；所述的環(huán)形防護罩內形成一個空腔；所述的第一斜板和第二斜板位于環(huán)形防護罩的內側，第一斜板和第二斜板之間構成“八”字形；氣管與環(huán)形防護罩的空腔連接。本實用新型一方面能改善工作環(huán)境，另一方面能及時抽走多余的膠絲，避免了由于光刻膠的回濺和膠絲的污染造成的光刻返工和刻蝕異常，提高了生產效率。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本實用新型屬于半導體器件生產用具領域，具體地說，涉及一種勻膠機的防護裝 置及配備該裝置的勻膠機。 一種勻膠機的防護裝置及配備該裝置的勻膠機

【背景技術】
[0002] 半導體，指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在收音機、電視 機以及測溫上有著廣泛的應用。二極管是半導體。在半導體加工工藝中需要進行涂膠處理， 而涂膠經常采用的是勻膠機，勻膠機適用于在基片表面制作薄膜，其工作原理是將待涂膠 的基片高速旋轉，使滴在基片上的膠液在表面張力和旋轉離心力的聯(lián)合作用下被展成一層 均勻的薄膜，可以通過膠液的濃度和勻膠機的轉速來控制膠膜的厚度。隨著芯片尺寸的不 斷發(fā)展，對勻膠的質量要求越來越嚴格，特別是勻膠過程中由于芯片高速旋轉（2000-10000 轉/分）過程中，會將光刻膠飛速的甩出，碰到勻膠機的其他部件后會發(fā)生回濺，如果回濺 到芯片上，會在芯片表面形成膠點，造成勻膠不合格，需進行返工處理。部分膠由于粘度較 大，在勻膠過程中會產生大量的飛絮狀膠絲，該膠絲也常落在芯片的表面，造成勻膠不合 格,降低了生產效率和增加企業(yè)原材料成本。
[0003] 勻膠機的應用很普遍，例如，中國專利申請?zhí)枺?012105634536,申請日2012年12 月22日，公開了一份名稱為一種基于光發(fā)射二極管紫外燈光的微流體制備方法的專利申 請文件，該方法利用20mW/cm2低功率紫外光（365nm)刻蝕涂在硅表面的有機涂層，形成最 小寬度約50 μ m的槽，槽的橫截面為矩形，立面高度可以通過調節(jié)勻膠機轉數(shù)進行控制。在 整個工藝過程中，操作環(huán)境可在超凈環(huán)境內完成，也可在普通暗室內完成。相比于傳統(tǒng)方 法，該微流體制備方法方便簡單，成本低，易于普及。而該發(fā)明的實現(xiàn)，很大部分也是借助于 勻膠機，可見，勻膠機的應用很普遍。
[0004] 勻膠機的種類有很多，例如中國專利號：201020693622. 4,
【公開日】2012年01月04 日，該實用新型公開了一種勻膠機，包括機架和旋轉軸，還包括固定在所述機架上的軸套， 所述機架設有與所述軸套適配的空腔，所述軸套放入所述空腔后被固定；所述軸套為管狀 與所述旋轉軸適配，所述旋轉軸通過可轉動的固定在所述軸套中。這種勻膠機通過設置固 定在機架上的與旋轉軸適配的軸套，當勻膠機因碎片或其他原因導致膠滲入需要清洗時， 只需要拆下軸套即可以進行清洗，是一種容易拆卸清洗的勻膠機。但是現(xiàn)有的勻膠機的改 進都是圍繞在怎么提高均膠的效果上下功夫，很少有人去關注普通操作工人的痛苦，而實 際操作中，勻膠過程中由于芯片高速旋轉，光刻膠飛速的甩出不但容易造成回濺到芯片上， 使得芯片表面形成膠點，造成勻膠不合格，而且產生的大量飛絮狀膠絲，還對生產環(huán)境造成 影響，惡化生產環(huán)境，同時降低了生產效率，增加企業(yè)原材料成本，所以迫切需要提供一種 能解決甩膠問題的方案。


【發(fā)明內容】

[0005] 1、要解決的問題
[0006] 針對現(xiàn)有勻膠機工作過程中出現(xiàn)甩膠以及容易造成回濺到芯片上，使得芯片表面 形成膠點，造成勻膠不合格，而且產生的大量飛絮狀膠絲，對生產環(huán)境造成影響，同時降低 了生產效率，增加企業(yè)原材料成本的問題，本實用新型提供一種勻膠機的防護裝置及配備 該裝置的勻膠機，其不但能解決甩膠回濺的問題，而且提供了一種優(yōu)化的方案，改善工作環(huán) 境。
[0007] 2、技術方案
[0008] 為解決上述問題，本實用新型采用如下的技術方案。
[0009] -種勻膠機的防護裝置，包括中心板，還包括氣管和環(huán)形防護罩，所述的中心板為 圓形；所述的環(huán)形防護罩為環(huán)狀結構，固定在中心板的四周；所述的環(huán)形防護罩由第一斜 板、底板、堅直板、頂板和第二斜板依次連接組成；所述的環(huán)形防護罩內形成一個空腔；所 述的第一斜板和第二斜板位于環(huán)形防護罩的內側，第一斜板和第二斜板之間構成"八"字 形；氣管與環(huán)形防護罩的空腔連接。
[0010] 優(yōu)選地，所述的第一斜板與堅直方向的夾角為30-60°，第二斜板與堅直方向的夾 角為 30-60°。
[0011] 優(yōu)選地，所述的第一斜板與堅直方向的夾角為45°，第二斜板與堅直方向的夾角 為 45°。
[0012] 優(yōu)選地，所述的氣管連接在環(huán)形防護罩空腔的中上部。
[0013] 優(yōu)選地，所述的氣管的數(shù)量為1-6個。
[0014] 優(yōu)選地，所述的氣管的數(shù)量為2個。
[0015] 所述的中心板的中間設有裝配孔。
[0016] 一種勻膠機，配置了上述勻膠機的防護裝置。
[0017] 3、有益效果
[0018] 相比于現(xiàn)有技術，本實用新型的有益效果為：
[0019] (1)本實用新型還包括氣管和環(huán)形防護罩，環(huán)形防護罩為環(huán)狀結構，固定在中心板 的四周，環(huán)形防護罩由第一斜板、底板、堅直板、頂板和第二斜板依次連接組成，環(huán)形防護罩 內形成一個空腔，第一斜板和第二斜板位于環(huán)形防護罩的內側，第一斜板和第二斜板之間 構成"八"字形，當膠甩到第一斜板和第二斜板上時，不會回濺到芯片上，防止芯片不合格， 氣管與環(huán)形防護罩的空腔連接，可以將氣管接到抽風系統(tǒng)，一方面改善工作環(huán)境，另一方面 及時抽走多余的膠絲，避免了由于光刻膠的回濺和膠絲的污染造成的光刻返工和刻蝕異 常，提商了生廣效率；
[0020] (2)本實用新型第一斜板與堅直方向的夾角為30-60°，第二斜板與堅直方向的 夾角為30-60°能更好的防止甩膠回彈到芯片上，尤其是與堅直方向的夾角為45°時防回 彈的效果最好；
[0021] (3)本實用新型氣管連接在環(huán)形防護罩空腔的中上部，促進大膠粒的沉淀，方便回 收；
[0022] (4)本實用新型氣管的數(shù)量為1-6個，能及時的將甩膠吸收到環(huán)形防護罩的空腔 中，綜合效果和成本，氣管的數(shù)量為2個時最劃算；
[0023] (5)本實用新型結構簡單，設計合理，易于制造。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024] 圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0025] 圖2為本實用新型實施例2的俯視圖。
[0026] 圖中：1、氣管；2、中心板；3、環(huán)形防護罩；31、第一斜板；32、底板；33、堅直板；34、 頂板；35、第二斜板。

【具體實施方式】
[0027] 下面結合附圖對本實用新型進行詳細描述。
[0028] 實施例1
[0029] 如圖1所示，一種勻膠機的防護裝置，包括中心板2、氣管1和環(huán)形防護罩3,中心 板2為圓形；環(huán)形防護罩3為環(huán)狀結構，固定在中心板2的四周；環(huán)形防護罩3由第一斜板 31、底板32、堅直板33、頂板34和第二斜板35依次連接組成；環(huán)形防護罩3內形成一個空 腔；第一斜板31和第二斜板35位于環(huán)形防護罩3的內側，第一斜板31和第二斜板35之 間構成"八"字形；氣管1與環(huán)形防護罩3的空腔連接。第一斜板31與堅直方向的夾角為 45°，第二斜板35與堅直方向的夾角為45°。氣管1連接在環(huán)形防護罩3空腔的中上部， 氣管1的數(shù)量為2個。中心板2的中間設有裝配孔。
[0030] 使用時，將勻膠機的轉軸插入中心板2中間的裝配孔中，將氣管1與抽氣系統(tǒng)連 接，對芯片進行涂膠處理，在涂膠的過程中，滴在芯片上的膠液在表面張力和旋轉離心力的 聯(lián)合作用下被展成一層均勻的薄膜，涂膠過程中由于芯片高速旋轉過程中，會將光刻膠飛 速的甩出，此時會甩到第一斜板31和第二斜板35上，由于斜板是傾斜的，所以不會回彈到 芯片上，同時由于氣管1與抽氣系統(tǒng)連接，甩膠被抽吸到環(huán)形防護罩3內形成的空腔中，一 方面能改善工作環(huán)境，另一方面及時抽走多余的膠絲，避免了由于光刻膠的回濺和膠絲的 污染造成的光刻返工和刻蝕異常，提高了生產效率。
[0031] 一種勻膠機，配置了上述勻膠機的防護裝置。
[0032] 實施例2
[0033] 同實施例1，所不同的是第一斜板31與堅直方向的夾角為30°，第二斜板35與堅 直方向的夾角為30°。氣管1的數(shù)量為1個，如圖2所示。
[0034] 實施例2
[0035] 同實施例1，所不同的是第一斜板31與堅直方向的夾角為60°，第二斜板35與堅 直方向的夾角為60°。氣管1的數(shù)量為6個，氣管1均勻分布。
[0036] 以上示意性的對本實用新型及其實施方式進行了描述，該描述沒有限制性，附圖 中所示的也只是本發(fā)明的實施方式之一，實際的結構包括但不局限于此。所以，如果本領域 的普通技術人員受其啟示，在不脫離本實用新型創(chuàng)造宗旨的情況下，不經創(chuàng)造性的設計出 與該技術方案相似的結構方式及實施例，均應屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1. 一種勻膠機的防護裝置，包括中心板（2)，其特征在于：還包括氣管（1)和環(huán)形防護 罩（3)，所述的中心板（2)為圓形；所述的環(huán)形防護罩（3)為環(huán)狀結構，固定在中心板（2)的 四周；所述的環(huán)形防護罩（3)由第一斜板（31)、底板（32)、堅直板（33)、頂板（34)和第二 斜板（35)依次連接組成；所述的環(huán)形防護罩（3)內形成一個空腔；所述的第一斜板（31)和 第二斜板（35)位于環(huán)形防護罩（3)的內側，第一斜板（31)和第二斜板（35)之間構成"八" 字形；氣管（1)與環(huán)形防護罩（3)的空腔連接。
2. 根據權利要求1所述的一種勻膠機的防護裝置，其特征在于：所述的第一斜板（31) 與堅直方向的夾角為30-60°，第二斜板（35)與堅直方向的夾角為30-60°。
3. 根據權利要求1所述的一種勻膠機的防護裝置，其特征在于：所述的第一斜板（31) 與堅直方向的夾角為45°，第二斜板（35)與堅直方向的夾角為45°。
4. 根據權利要求1所述的一種勻膠機的防護裝置，其特征在于：所述的氣管（1)連接 在環(huán)形防護罩（3)空腔的中上部。
5. 根據權利要求1所述的一種勻膠機的防護裝置，其特征在于：所述的氣管（1)的數(shù) 量為1-6個。
6. 根據權利要求1所述的一種勻膠機的防護裝置，其特征在于：所述的氣管（1)的數(shù) 量為2個。
7. 根據權利要求1所述的一種勻膠機的防護裝置，其特征在于：所述的中心板（2)的 中間設有裝配孔。
8. -種勻膠機，其特征在于：配置了權利要求1-7中任意一項的勻膠機的防護裝置。
【文檔編號】B05C11/10GK203842772SQ201420287895
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年5月30日 優(yōu)先權日:2014年5月30日
【發(fā)明者】廖偉, 秦坤, 李有群, 廉鵬 申請人:馬鞍山太時芯光科技有限公司