專利名稱：一種超聲噴霧裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于化學(xué)氣相沉積(CVD)鍍膜前驅(qū)液的超聲霧化器，尤其是用于浮法玻璃在線化學(xué)氣相沉積工藝中的前驅(qū)液的霧化器。
背景技術(shù)：
目前，超聲霧化裝置通常使用投入式超聲波霧化器，工作效率低，且前驅(qū)液通常具有一定的腐蝕性，直接接觸前驅(qū)液容易損壞超聲波霧化器，連續(xù)工作能力不強(qiáng)，使得這些裝置在薄膜制備中的應(yīng)用有很大的局限。如專利CN101077492A公開了一種超聲波汽化器，能夠?qū)⒁后w均勻的霧化，具有較高的氣化效率。但是，該設(shè)備采用的是投入式超聲波霧化器，超聲波霧化器直接與腐蝕性的溶液接觸，易被腐蝕，且在更換以及清洗方面會(huì)帶來難度，且容易損壞。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的連續(xù)工作能力不強(qiáng)、霧化效率低以及超聲波霧化器易被腐蝕的問題。本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)手段予以實(shí)現(xiàn)的一種超聲噴霧裝置，包括霧化瓶和超聲波霧化器，其特征在于設(shè)置一個(gè)裝有液體的霧化水槽，霧化水槽中設(shè)有活動(dòng)支架，活動(dòng)支架上連接霧化瓶，超聲波霧化器設(shè)置在霧化水槽內(nèi)的底部，超聲波霧化器與霧化瓶底部垂直對(duì)齊并相距一定距離，霧化瓶的一側(cè)設(shè)有載氣接口、另一側(cè)設(shè)有氣體出口，霧化瓶頂部設(shè)有進(jìn)液口。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，可以有以下進(jìn)一步的技術(shù)方案可活動(dòng)支架由活動(dòng)部和固定部構(gòu)成，活動(dòng)部下端設(shè)有滑塊和限位槽，固定部設(shè)有滑槽和滾珠彈簧，滑塊與滑槽滑動(dòng)配合，限位槽與滾珠彈簧定位配合。所述霧化水槽內(nèi)裝有的液體是蒸餾水、乙醇等，能起到介質(zhì)及冷卻液的作用，可以保證超聲波換能器長(zhǎng)時(shí)間的工作。所述霧化瓶材料采用有機(jī)玻璃、玻璃、不銹鋼等耐腐蝕材料。本實(shí)用新型的有益效果在于提高了連續(xù)工作能力和霧化效率，避免了前驅(qū)液對(duì)超聲波霧化器的腐蝕，從一定程度上降低了超聲波霧化器的受損率，且更換超聲波霧化器時(shí)更便捷、安全。下面便結(jié)合附圖說明和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的可活動(dòng)支架零件的局部剖視示意圖。
具體實(shí)施方式
[0014]如圖I所示,一種超聲噴霧裝置設(shè)置一個(gè)霧化水槽6，霧化水槽中裝有起到介質(zhì)及冷卻液的作用液體，且水槽底部?jī)?nèi)設(shè)有超聲波霧化器7，超聲波霧化器7的正上方設(shè)有耐腐蝕材料制成的霧化瓶5，霧化瓶5通過活動(dòng)支架I固定在霧化水槽6，霧化瓶一側(cè)設(shè)有載氣接口 2，并與載氣瓶通過相應(yīng)閥門、管道連接，霧化瓶另一側(cè)設(shè)有氣體出口 4，霧化瓶頂部設(shè)有進(jìn)液口 3，并與鍍膜前驅(qū)液瓶通過相應(yīng)閥門、管道連接。如圖2所示，所述可活動(dòng)支架上I由活動(dòng)部Ia和固定部Ib構(gòu)成，活動(dòng)部Ia下端設(shè)有滑塊8和限位槽8a，固定部Ib設(shè)有滑槽Ic和一組滾珠彈簧9，滑塊8與滑槽Ic滑動(dòng)配合，限位槽8a與滾珠彈簧9定位配合。通過調(diào)節(jié)可活動(dòng)支架的升降，用來調(diào)節(jié)霧化瓶的霧化量。工作過程如下鍍膜前驅(qū)液瓶中一定量的鍍膜前驅(qū)液通過霧化瓶的進(jìn)液口 3至霧化瓶5中，電源接通后，超聲波霧化器7產(chǎn)生的能量通過霧化水槽6中的介質(zhì)，使霧化瓶5內(nèi)的前驅(qū)液霧化，載氣瓶中的載氣通過霧化瓶的載氣口 2至霧化瓶5中，霧化的液體在載氣的攜帶下經(jīng)過霧化瓶的氣體出口 4進(jìn)入輸送管道，并通過調(diào)節(jié)可活動(dòng)支架I的升降來調(diào)節(jié)霧化瓶5到超聲波霧化器7的距離，調(diào)節(jié)其霧化量。
權(quán)利要求1. 一種超聲噴霧裝置，包括霧化瓶(5)和超聲波霧化器(J)，其特征在于設(shè)置一個(gè)裝有液體的霧化水槽(6 )，霧化水槽(6 )中設(shè)有活動(dòng)支架(I)，活動(dòng)支架(I)上連接霧化瓶(5 )，超聲波霧化器(7 )設(shè)置在霧化水槽(6 )內(nèi)的底部，超聲波霧化器(7 )與霧化瓶(5 )底部垂直對(duì)齊并相距一定距離，霧化瓶的一側(cè)設(shè)有載氣接口( 2)、另一側(cè)設(shè)有氣體出口(4)，霧化瓶頂部設(shè)有進(jìn)液口(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種超聲噴霧裝置，其特征在于可活動(dòng)支架(I)由活動(dòng)部(Ia)和固定部(Ib)構(gòu)成，活動(dòng)部下端設(shè)有滑塊(8)和限位槽(8a)，固定部(Ib)設(shè)有滑槽(Ic)和滾珠彈簧(9)，滑塊(8)與滑槽(Ic)滑動(dòng)配合，限位槽(8a)與滾珠彈簧(9)定位配入口 ο
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于化學(xué)氣相沉積鍍膜前驅(qū)液的超聲噴霧裝置，包括霧化瓶(5)和超聲波霧化器(7)，其特征在于包括裝有液體的霧化水槽(6)，霧化水槽(6)內(nèi)的底部設(shè)有超聲波霧化器(7)，超聲波霧化器(7)的正上方設(shè)有通過可活動(dòng)支架(1)固定在霧化水槽中的霧化瓶(5)，霧化瓶一側(cè)設(shè)有載氣接口(2)，霧化瓶另一側(cè)設(shè)有氣體出口(4)，霧化瓶頂部設(shè)有進(jìn)液口(3)。本實(shí)用新型的有益效果在于提高了連續(xù)工作能力和霧化效率，避免了前驅(qū)液對(duì)超聲波霧化器的腐蝕，從一定程度上降低了超聲波霧化器的受損率，且更換超聲波霧化器時(shí)更便捷、安全。
文檔編號(hào)B05B17/06GK202803504SQ201220484198
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月21日
發(fā)明者倪嘉, 王蕓, 彭程, 彭小波, 王華文 申請(qǐng)人:蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院, 中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司