專利名稱：勻膠機的滴膠結構的制作方法
技術領域：
勻膠機的滴膠結構
技術領域：
本實用新型涉及半導體工藝中一種對表面涂布液體的裝置，尤其涉及一種勻膠機的滴膠結構。
背景技術：
在半導體生產(chǎn)中，勻膠機是涂布光刻膠的專用設備，其工作原理是利用高速旋轉時產(chǎn)生的離心力，使滴在基片上的光刻膠在表面張力和離心力的共同作用下形成均勻的薄膜。傳統(tǒng)的勻膠機，光刻膠從膠泵出來后是直接通過軟管滴到基片上。這樣在膠泵關上后，殘留在管壁內(nèi)的余膠在重力的作用下，可能會在一段時間后滴出，影響勻膠的質(zhì)量。 且由于膠泵關上后的回吸作用，軟管內(nèi)會吸入一段空氣。這樣在下次滴膠時就會出現(xiàn)氣泡， 同樣影響勻膠的質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種不會滴余膠、不會產(chǎn)生氣泡的勻膠機的滴膠結構。一種勻膠機的滴膠結構，包括帶有中空的內(nèi)腔的滴膠頭以及帶有中空內(nèi)腔的滴膠頭轉接頭，所述滴膠頭包括順序連接的嘴部、抵止部、內(nèi)結合部以及伸入部，所述滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔包括外結合部和管結合部；所述內(nèi)結合部能匹配套接在所述滴膠頭轉接頭內(nèi)；所述抵止部的尺寸大于所述外結合部的管徑，所述內(nèi)結合部套入所述滴膠頭轉接頭后與抵止部相抵持；所述伸入部尺寸小于所述內(nèi)結合部以形成臺階；所述滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔通過所述滴膠頭的內(nèi)腔與外界連通。優(yōu)選的，所述外結合部的管徑小于所述管結合部的管徑。優(yōu)選的，所述內(nèi)結合部設有外螺紋，所述外結合部設有與所述外螺紋匹配的內(nèi)螺紋。優(yōu)選的，所述滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔還包括容膠部，所述容膠部位于所述外結合部和管結合部之間。優(yōu)選的，所述嘴部為錐形結構，所述滴膠頭的內(nèi)腔包括第一圓柱腔和位于所述錐形結構尖端且與所述第一圓柱腔連通的第二圓柱腔，所述第二圓柱腔的直徑大于所述第一圓柱腔。優(yōu)選的，所述滴膠頭為一體成型的結構。優(yōu)選的，還包括滴膠架和固定件；所述滴膠架包括相互垂直的第一平板和第二平板，所述第一平板上設有供所述滴膠頭穿過的鏤空部，所述第二平板上開設有定位槽；所述固定件上開設有定位孔，所述固定件的中部還開設有容置孔，所述容置孔的延伸方向垂直于所述定位孔的延伸方向，所述容置孔用于容置所述滴膠頭。優(yōu)選的，所述第二平板為長方形平板，所述定位槽的數(shù)量是兩個，所述定位槽為長方形槽，所述定位槽的長邊平行于所述第二平板的長邊。[0013]優(yōu)選的，所述固定件的截面為長方形與梯形的組合結構，所述長方形的長邊與所述梯形的下底等長且重合，所述容置孔垂直于所述梯形的上底延伸；所述鎖緊孔與所述容置孔相通。優(yōu)選的，所述滴膠架還開設有安裝槽，所述安裝槽、定位槽及所述容置孔的延伸方向兩兩垂直。上述勻膠機的滴膠結構，在伸入部與內(nèi)結合部的相接之處形成了臺階，當膠泵關閉后，內(nèi)壁的余膠會積存在臺階處，因此解決了滴余膠的現(xiàn)象，且也不易產(chǎn)生氣泡。保證了滴膠和勻膠的質(zhì)量。

圖1是一實施例中滴膠頭的剖面圖；圖2是圖1所示滴膠頭的俯視圖；圖3是一實施例中滴膠頭轉接頭的剖面圖；圖4是圖3所示滴膠頭轉接的俯視圖；圖5是一個實施例中滴膠架的示意圖；圖6是一個實施例中固定件的正視圖；圖7是圖6所示固定件的俯視圖；圖8是勻膠機的滴膠結構使用裝配局部剖視圖。
具體實施方式為使本實用新型的目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。圖1是一實施例中滴膠頭的剖面圖，圖2是圖1的俯視圖；圖3是一實施例中滴膠頭轉接頭的剖面圖，圖4是圖3的俯視圖。勻膠機的滴膠結構包括帶有中空的內(nèi)腔的滴膠頭10以及帶有中空內(nèi)腔的滴膠頭轉接頭20。在本實施例中，滴膠頭10的內(nèi)腔11及滴膠頭轉接頭20的中空內(nèi)腔21均是圓柱形內(nèi)腔，其可以是圓柱形階梯孔。滴膠頭轉接頭20的中空內(nèi)腔21通過滴膠頭10的內(nèi)腔11與外界連通，膠體從膠泵流入滴膠頭轉接頭20的中空內(nèi)腔21后，再經(jīng)滴膠頭10的內(nèi)腔11滴出。滴膠頭10包括順序連接的嘴部12、抵止部14、內(nèi)結合部16以及伸入部18。滴膠頭轉接頭20的實體部分包括第一部22和第二部對，滴膠頭轉接頭20的中空內(nèi)腔21包括外結合部23和管結合部27。滴膠頭10為一體成型的結構。在本實施例中，內(nèi)結合部16的橫截面為圓環(huán)形，內(nèi)結合部16的尺寸(即外徑)與外結合部23相匹配，使得內(nèi)結合部16能匹配套接在滴膠頭轉接頭20內(nèi)。在本實施例中， 內(nèi)結合部16設有外螺紋，外結合部23設有與該外螺紋匹配的內(nèi)螺紋。抵止部14的尺寸大于外結合部23的管徑，內(nèi)結合部16旋入滴膠頭轉接頭20后與抵止部14相抵持，這樣滴膠頭轉接頭20的中空內(nèi)腔21里面的膠體就被封住了。在本實施例中，伸入部18的橫截面為圓環(huán)形，其外徑小于內(nèi)結合部16的外徑，這樣在伸入部18與內(nèi)結合部16的相接之處就形成了臺階。當膠泵關閉后，內(nèi)壁的余膠會積存在臺階處，因此解決了滴余膠的現(xiàn)象，且也不易產(chǎn)生氣泡。[0029]在本實施例中，嘴部12為錐形結構，滴膠頭10的內(nèi)腔11包括第一圓柱腔112和位于錐形結構尖端且與所述第一圓柱腔112連通的第二圓柱腔114，第二圓柱腔114的直徑大于第一圓柱腔112。由于錐形結構尖端的口徑(即第二圓柱腔114的直徑)較大，在膠泵關閉停止滴膠后就不易吸入氣泡，保證了勻膠機勻膠的質(zhì)量。管結合部27用于與膠泵相接。在本實施例中，滴膠頭轉接頭20通過一根管與膠泵相接，該管可以是管徑為1/8英寸的管。滴膠頭轉接頭20在管結合部27處的內(nèi)壁設有 1/8錐形螺紋，外結合部23的管徑小于管結合部27的管徑，這樣在外結合部23與管結合部 27的結合處就會形成臺階，管在旋入滴膠頭轉接頭20后會被卡在臺階處，有利于形成穩(wěn)定的結構。在本實施例中，滴膠頭轉接頭20的中空內(nèi)腔21還包括容膠部25，容膠部25位于外結合部23和管結合部25之間。為了方便對滴膠頭10進行固定，以準確定位滴膠點。本實用新型的勻膠機的滴膠結構還配套設置了滴膠架和固定件。圖5是一個實施例中滴膠架的示意圖；圖6是一個實施例中固定件的正視圖，圖7是圖6所示固定件的俯視圖。滴膠架30包括相互垂直的第一平板32和第二平板34。第一平板32上設有供滴膠頭10穿過的鏤空部324。在本實施例中，鏤空部3M將第一平板32分割成了兩塊平板。第二平板34上開設有定位槽342。在本實施例中，第二平板34為長方形平板，定位槽342的數(shù)量是兩個，定位槽342為長方形槽， 定位槽342的長邊平行于第二平板34的長邊。在其它實施例中，定位槽342的數(shù)量以及形狀也可以不同，例如可以是長方形和兩個半圓的組合圖形。同樣的，第二平板34也可以為其它形狀。在本實施例中，滴膠架30的材料為不銹鋼，例如314不銹鋼，厚度為2毫米。固定件40上開設有與定位槽342配合的定位孔442?？梢詫⑦B接件(例如螺釘配合螺母)穿過定位孔442及定位槽342后，將固定件40固定在滴膠架30上。在固定件 40的中部還開設有容置孔422，容置孔422垂直于定位孔442，容置孔422用于容置滴膠頭 10。在本實施例中，固定件40的截面為長方形與梯形的組合結構。長方形的長邊與梯形的下底等長且重合，容置孔422垂直于梯形的上底延伸，將梯形的上底與長方形的底邊貫通。 固定件40還開設有鎖緊孔462，鎖緊孔462的延伸方向與容置孔422的延伸方向平行，鎖緊孔462與容置孔422相通，可以將鎖緊螺釘穿入鎖緊孔462后將滴膠頭10鎖住。在本實施例中，滴膠架30還開設有安裝槽322。安裝槽322用于將滴膠架30安裝在勻膠腔室上方。同樣可以通過螺釘穿過安裝槽322進行固定。安裝槽322、定位槽342 及容置孔422的延伸方向兩兩垂直，這樣一來，通過安裝槽322可以調(diào)節(jié)滴膠頭10在X方向上的位置，通過定位槽342可以調(diào)整在Y方向上的位置，通過上下移動滴膠頭10 (及滴膠頭轉接頭20)，并用鎖緊螺釘進行鎖緊，就可以調(diào)節(jié)在Z方向上的位置。如此就能對滴膠頭 10的滴膠點進行較精確的定位，如圖8所示。傳統(tǒng)的直接通過軟管滴膠的結構，由于軟管易變形，滴膠點容易變化。上述勻膠機的滴膠結構通過螺釘對X、Y、Z三個方向上的位置都進行固定，一旦固定后滴膠點就不會變化，保證了滴膠的質(zhì)量。結構簡單，成本低廉。請參圖2，抵止部14為方形結構(中間開孔)，其邊長大于容置孔422的孔徑。參照圖3和圖4，第一部22的橫截面為圓環(huán)形，其外徑小于容置孔422的孔徑，可以伸入容置孔422內(nèi)。第二部M為方形結構(中間開孔)，其邊長大于容置孔422的孔徑。
以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細， 但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
權利要求1.一種勻膠機的滴膠結構，其特征在于，包括帶有中空的內(nèi)腔的滴膠頭以及帶有中空內(nèi)腔的滴膠頭轉接頭，所述滴膠頭包括順序連接的嘴部、抵止部、內(nèi)結合部以及伸入部，所述滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔包括外結合部和管結合部；所述內(nèi)結合部能匹配套接在所述滴膠頭轉接頭內(nèi)；所述抵止部的尺寸大于所述外結合部的管徑，所述內(nèi)結合部套入所述滴膠頭轉接頭后與抵止部相抵持；所述伸入部尺寸小于所述內(nèi)結合部以形成臺階；所述滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔通過所述滴膠頭的內(nèi)腔與外界連通。
2.根據(jù)權利要求1所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述外結合部的管徑小于所述管結合部的管徑。
3.根據(jù)權利要求1所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述內(nèi)結合部設有外螺紋， 所述外結合部設有與所述外螺紋匹配的內(nèi)螺紋。
4.根據(jù)權利要求1所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔還包括容膠部，所述容膠部位于所述外結合部和管結合部之間。
5.根據(jù)權利要求1所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述嘴部為錐形結構，所述滴膠頭的內(nèi)腔包括第一圓柱腔和位于所述錐形結構尖端且與所述第一圓柱腔連通的第二圓柱腔，所述第二圓柱腔的直徑大于所述第一圓柱腔。
6.根據(jù)權利要求1所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述滴膠頭為一體成型的結構。
7.根據(jù)權利要求1-6中任意一項所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，還包括滴膠架和固定件；所述滴膠架包括相互垂直的第一平板和第二平板，所述第一平板上設有供所述滴膠頭穿過的鏤空部，所述第二平板上開設有定位槽；所述固定件上開設有定位孔，所述固定件的中部還開設有容置孔，所述容置孔的延伸方向垂直于所述定位孔的延伸方向，所述容置孔用于容置所述滴膠頭。
8.根據(jù)權利要求7所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述第二平板為長方形平板，所述定位槽的數(shù)量是兩個，所述定位槽為長方形槽，所述定位槽的長邊平行于所述第二平板的長邊。
9.根據(jù)權利要求7所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述固定件的截面為長方形與梯形的組合結構，所述長方形的長邊與所述梯形的下底等長且重合，所述容置孔垂直于所述梯形的上底延伸；所述鎖緊孔與所述容置孔相通。
10.根據(jù)權利要求9所述的勻膠機的滴膠結構，其特征在于，所述滴膠架還開設有安裝槽，所述安裝槽、定位槽及所述容置孔的延伸方向兩兩垂直。
專利摘要本實用新型涉及一種勻膠機的滴膠結構，包括帶有中空的內(nèi)腔的滴膠頭以及帶有中空內(nèi)腔的滴膠頭轉接頭，滴膠頭包括順序連接的嘴部、抵止部、內(nèi)結合部以及伸入部，滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔包括外結合部和管結合部；內(nèi)結合部能匹配套接在所述滴膠頭轉接頭內(nèi)；抵止部的尺寸大于所述外結合部的管徑，內(nèi)結合部套入所述滴膠頭轉接頭后與抵止部相抵持；伸入部尺寸小于內(nèi)結合部以形成臺階；滴膠頭轉接頭的中空內(nèi)腔通過滴膠頭的內(nèi)腔與外界連通。上述勻膠機的滴膠結構，在伸入部與內(nèi)結合部的相接之處形成了臺階，當膠泵關閉后，內(nèi)壁的余膠會積存在臺階處，因此解決了滴余膠的現(xiàn)象，且也不易產(chǎn)生氣泡。保證了滴膠和勻膠的質(zhì)量。
文檔編號B05C11/10GK202087482SQ20102068948
公開日2011年12月28日 申請日期2010年12月30日 優(yōu)先權日2010年12月30日
發(fā)明者劉寶亮, 林盛浩, 王友旺, 肖雁行, 胡華 申請人:深圳深愛半導體股份有限公司