專利名稱:膜測定裝置及方法、涂敷裝置及涂敷方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及對膜狀或片狀的基材上形成的膜的厚度及單位面積的重量進行測定的膜測定裝置及方法、具有該膜測定裝置的涂敷裝置及使用了膜測定方法的涂敷方法。
背景技術(shù):
一直以來,對于堿性二次電池、鋰離子二次電池等所使用的渦卷狀極板那樣的膜的單位面積的重量進行的測定例如有日本特開平8-96806號公報所揭示的方法將β射線發(fā)射器和檢測器隔著輸送的被測定膜相對配置,使它們連動地沿測定膜的寬度方向(與輸送方向正交的方向)移動,在此期間,從β射線發(fā)射器發(fā)射β射線,由檢測器檢測透過被測定膜的β射線量,將該檢測結(jié)果與基準透過量比較。
因此,存在如下問題測定部位僅限于β射線發(fā)射器和檢測器所移動到的場所,無法對被測定膜的整個區(qū)域進行測定。另外,還存在如下缺點β射線的操作存在危險,因為是使用放射線,因而設(shè)置條件非常嚴格、并需要具有資格等,使用不方便且高價。此外還存在這樣的問題對基膜上形成的膜的厚度進行測定時,因基膜的厚度度變動引起β射線的透過量變化,無法正確地測定膜本身的厚度,因而也存在基膜的選擇受到限制的問題。
另外,像汽車用鋼板的涂裝那樣成為基板的是金屬厚板,膜是涂料樹脂時,有時β射線對膜的厚度的測定本身非常困難。
而在日本特開平8-309262號公報中揭示了以下的膜厚測定裝置對形成有由摻合了熒光增白劑的透明涂料構(gòu)成的涂膜的高爾夫球表面照射紫外線,利用CCD照相機攝取照射后得到的二次發(fā)光線,對攝取到的圖像進行多值化處理而得到明暗圖像,根據(jù)明暗圖像計測涂膜的厚度。
但是還存在這樣的問題即使將上述特開平8-309262號公報記載的現(xiàn)有技術(shù)應用到對上述膜狀或片狀基材上形成的膜的膜的厚度進行測定,若形成的膜不與特定的波長反應就無法測定。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種膜測定裝置及方法、具有該膜測定裝置的涂敷裝置及使用了上述膜測定方法的涂敷方法,對在膜狀或片狀的基材上形成的膜的整個區(qū)域能正確且簡單地對所述膜的物理量進行測定。
本發(fā)明的一種膜測定裝置,對膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物上的膜的物理量進行測定,其包括攝像部,其將對所述被檢查物攝像得到的膜的彩色圖像的色調(diào)變換為各顏色成分的灰度數(shù)據(jù);表格,對至少一個顏色成分存儲有預先測得的與各灰度等級對應的膜的物理量的基準值;運算部,其將來自所述攝像部的各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)中的所述至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照存儲在所述表格內(nèi)的膜的物理量的基準值,求出所述被檢查物的膜的物理量。
本發(fā)明的一種涂敷裝置,包括所述膜測定裝置;在所述基材上涂敷膜的涂敷部;涂料量控制部,其根據(jù)所述膜測定裝置的運算部求得的膜的厚度,對所述涂敷部的膜的涂敷量進行控制。
本發(fā)明的一種膜的測定方法,對在膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物上的膜的物理量進行測定,其包括將對所述被檢查物攝像得到的膜的彩色圖像的色調(diào)變換為各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)的步驟;將在所述變換步驟中得到的至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照預先測得并作為表格存儲著的、與所述至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)相對應的膜的物理量的基準值,求出所述被檢查物上的膜的物理量的步驟。
本發(fā)明的一種涂敷方法,其使用了所述膜測定方法,包括在所述基材上涂敷膜的步驟;根據(jù)所述膜測定方法求得的所述膜的物理量,對所述涂敷步驟中的所述膜的涂敷量進行控制的步驟。
圖1是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)的具有膜厚測定裝置的涂敷裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示在銅箔上形成了氧化鈦層時氧化鈦層的膜厚度與紅(R)、綠(G)、藍(B)各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖3是表示在銅箔上涂碳后的合劑上形成氧化鋁層時氧化鋁層的膜厚與RGB的各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖4是表示在銅箔上形成了氧化鈦層時氧化鈦層的膜厚與B的顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖5是表示在銅箔上涂碳后的合劑上形成氧化鋁層時氧化鋁層的膜的厚度與B的顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖6A是表示在黑色的消去光澤的合劑上涂敷了油墨(藍色)后的油墨厚度與RGB各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖6B是表示在黑色的消去光澤的合劑上涂敷了油墨(紅色)后的油墨厚度與RGB各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖6C是表示在黑色的消去光澤的合劑上涂敷了油墨(綠色)后的油墨厚度與RGB各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖6D是表示在黑色的消去光澤的合劑上涂敷了油墨(淺藍色)后的油墨厚度與RGB各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
圖6E是表示在黑色的消去光澤的合劑上涂敷了油墨(粉紅色)后的油墨厚度與RGB各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
具體實施例方式
圖1是表示本發(fā)明的較佳的一實施形態(tài)的具有膜厚測定裝置1的涂敷裝置2的整個結(jié)構(gòu)圖。膜測定裝置1用于測量在膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物的作為膜的物理量的膜的厚度及單位面積的重量。以下,將陶瓷保護金屬板作為一例上述被檢查物,對測定該金屬板上的多孔質(zhì)陶瓷膜的厚度的情況進行例示及說明。作為本實施形態(tài)的具體例子,涂敷裝置2在銅箔上形成氧化鈦膜。
作為被檢查物的銅板為片狀,線圈狀地卷繞成卷筒3。該銅片4依次拉出,通過多個導輥5被輸送,在涂敷部6被涂敷氧化鈦涂料,然后經(jīng)過用于干燥涂料溶液的干燥爐7。在干燥爐7的出口部配置有膜測定裝置1。
在膜測定裝置1中,在銅片4的涂敷有氧化鈦的一側(cè)配置有彩色CCD傳感器8及照明用光源9,在銅片4從干燥爐7出來之處,照明用光源9對銅片4照射,利用CCD傳感器8在銅片4的寬度方向的全長上依次對銅片4上氧化鈦的涂敷膜攝像。彩色CCD傳感器8也能以覆蓋銅片4的整個寬度的狀態(tài)直線狀地配置多個傳感器。為了對銅片4的整個寬度均勻地照射,使用直管形的熒光燈作為照明用光源9。在彩色CCD傳感器8的攝像位置,若能得到干擾光少、具有充足的光量的環(huán)境光時,也可不必特意設(shè)置照明用光源9。
來自彩色CCD傳感器8的彩色圖像信號輸入圖像控制器10,在視頻板11,根據(jù)載色信號重疊在輝度信號上的合成視頻信號,例如利用8位即256灰度依次變換為紅(R)、綠(G)、藍(B)各原色信號。彩色CCD傳感器8和視頻板11構(gòu)成攝像部。
圖像處理板12從RGB各原色信號抽取銅片4的寬度方向的行圖像(line images)。而測定氧化鈦膜的膜的厚度時使用G或B的顏色成分是有效的,預先測得的與G或B的顏色成分的各灰度等級對應的膜的厚度的基準值作為基準厚度表存儲在表13內(nèi)。對于G或B的顏色成分的有效性在后面進行說明。
運算部14將從圖像處理板12得到的行圖像的G或B的顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照存儲在表13內(nèi)的膜的厚度基準值,讀取與該灰度等級對應的膜的厚度。但是,如果表13內(nèi)沒有與該灰度等級對應的膜的厚度的數(shù)據(jù)時,運算部14適當?shù)乩孟鄬τ谠摶叶鹊燃壍哪さ暮穸忍匦缘慕苹驍?shù)據(jù)插補等方法求得該灰度等級的膜的厚度。在運算部14的灰度等級的測定值與基準值的比較既能以像素單位進行,也能預先劃分多個區(qū)域,算出各區(qū)域內(nèi)的平均值來進行。
又,運算部14對氧化鈦膜的膜的厚度相對于預定的基準值是否在允許范圍內(nèi)進行判斷,當判斷為膜的厚度處于允許范圍之外時,則判斷該形成有氧化鈦膜的陶瓷保護金屬板為次品,向標識器20發(fā)出標識信號,對氧化鈦膜的缺陷部分進行標識。此時,即使例如僅數(shù)平方厘米程度的范圍的陶瓷保護金屬板的膜的厚度在允許范圍之外,但在實際的工序上,必須將數(shù)平方米程度的范圍作為次品進行排除,故運算部14將包含膜的厚度在允許范圍之外的部分的預定的膜的指定區(qū)域作為缺陷部分檢測出來。
這樣,檢查好氧化鈦膜的膜的厚度的銅片4逐漸卷繞成卷筒15。
在此,在表13內(nèi)除了與G或B顏色成分的各灰度等級對應的膜的厚度的測定值以外,作為成膜材料的氧化鈦的單位面積的重量作為基準重量表也與G或B的顏色成分的各灰度等級對應地存儲在表13內(nèi)。由此,運算部14可求出形成的氧化鈦膜的膜的厚度和單位面積的重量。
運算部14向涂敷量控制部21輸出修正信號,以使求得的膜的厚度與預定的基準值一致。涂敷量控制部21按照修正信號進行控制,改變涂敷部6的涂敷條件,使涂敷量恒定。具體而言,擠壓式涂敷(die coater)時通過改變泵的轉(zhuǎn)速來控制涂敷量,而凹版涂敷方式(gravurecoater)時通過改變速度比來控制涂敷量。這樣能進行反饋控制以使氧化鈦的膜的厚度恒定。
又,輸入部22與表13連接,將測定了膜的厚度的銅片4取出,輸入實際測得的膜的厚度及重量的數(shù)據(jù),可存放在表13內(nèi)。通過這樣從輸入部22輸入表數(shù)據(jù),可修正各灰度等級與涂敷量的校準線,或補充數(shù)據(jù)的試樣數(shù)。其結(jié)果,可提高膜的厚度及重量的測定精度。
此外,在銅片4的配置有彩色CCD傳感器8及照明用光源9的一側(cè)的相反側(cè)配置照度傳感器23,在沒有輸送銅片4時,例如更換卷筒3、15時,對照明用光源9的照度進行測定?;蛘斩葌鞲衅?3配置在銅片4的緣部的外側(cè),始終測定照明用光源9的照度,利用照明控制部24根據(jù)該測定結(jié)果進行反饋控制,以使照明用光源9的照度恒定。由此,即使照明用光源9發(fā)生年久變化或電源電壓發(fā)生變動等,也可保持照明光的照度恒定,可進行正確膜的厚度測定。
采用以上的構(gòu)成,能正確、簡單地測定形成的膜的厚度及重量,可實現(xiàn)成膜流程的調(diào)節(jié)也容易的涂敷裝置2。另外,在測定膜的厚度時,通過選擇有效的至少一個顏色成分,就可測定任意的材質(zhì)的膜的厚度及重量。此外,通過改變攝像點或?qū)z像點擴大至被檢查物的整個區(qū)域,就可測定膜的整個區(qū)域的厚度及重量。
在此,存儲在表13內(nèi)的顏色成分只要是與基材的反差大且在預想的膜的厚度及重量的變動范圍內(nèi)等級變化較大的顏色成分即可,也可使用單色,或在上述變動范圍的多個區(qū)域內(nèi)等級呈顯著變化的顏色成分不同時等情況下,可將多個顏色成分組合使用。又,顏色成分的形式不僅是分別表示RGB或青色(C)、深紅色(M)、黃色(Y)等個別的顏色成分的信號,也可是將色差信號與輝度信號合成后的信號等。
圖2是表示在作為基材的銅箔上涂敷了由作為無機氧化物填料的氧化鈦中混合粘結(jié)劑而成的氧化鈦涂料后形成膜時的氧化鈦層的膜的厚度與RGB的各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
因此,此時,在金屬顏色的銅箔上涂敷有白的粉末的氧化鈦涂料。在圖2中,第1個試樣數(shù)據(jù)用參照符號αR1、αG1、αB1表示,第2個試樣數(shù)據(jù)用參照符號αR2、αG2、αB2表示。
圖3是表示在作為基材的銅箔上首先涂敷含有碳的合劑層,然后在合劑層上涂敷由作為無機氧化物填料的氧化鋁中混合粘結(jié)劑而成的氧化鋁涂料后形成膜時的氧化鋁層的膜的厚度與RGB的各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。
因此,此時,在消去光澤的黑色合劑層上涂敷有白的粉末的氧化鋁涂料。在圖3中,第1個試樣數(shù)據(jù)用參照符號βR1、βG1、βB1表示,第2個試樣數(shù)據(jù)用參照符號βR2、βG2、βB2表示。參照符號βR3、βG3、βB3表示的第3個試樣是通過改變粘結(jié)劑的組成來改變粘性進行測定的試樣。在厚度為16μm的銅箔上涂敷單側(cè)的厚度為100μm、密度為1.63g/cm3的合劑層,在該合劑層上涂敷具有以下組成的氧化鋁涂料氧化鋁∶PVDF的比為96∶4,固體含量比45%的NMP溶液。
從圖2清楚可知,即使是相同的膜的厚度的變化量,與R的顏色成分(αR1、αR2)相比,G及B的顏色成分(αG1、αB1;αG2、αB2)的灰度等級的變化大,可見適用于膜的厚度測定。其中,G顏色成分(αG1)的直線性好,故在銅箔上涂敷氧化鈦時,使用該G顏色成分來測定膜的厚度。圖4及表1分別表示從圖2抽取的G顏色成分的曲線及數(shù)據(jù)。膜的厚度測定時,利用圖4中用參照符號γG表示的直線,對于任意的灰度等級可通過插值來計算膜的厚度。
表1
從圖3清楚可知,RGB的各顏色成分的灰度等級的變化大致相等,可使用任一顏色成分,也可多個顏色成分組合來提高精度。圖5及表2分別表示從圖3抽取的B顏色成分的曲線及數(shù)據(jù)。利用圖5中用參照符號γB表示的直線,對于任意的灰度等級可通過插補來計算膜的厚度。
表2
如圖4及圖5所示,都在256灰度的范圍內(nèi),哪怕是1μm程度的膜的厚度的差異也能通過灰度等級的變化來識別。本實施形態(tài)中作為無機氧化物填料使用的氧化鋁、氧化鈦及氧化鎂顯示大致相同的灰度等級的變化。
本實施形態(tài)的膜測定裝置1并不局限于上述氧化鈦層及氧化鋁層的厚度及重量的測定,只要是色調(diào)隨厚度變化的半透明膜就可測定。另外,上述例子中,基材是銅箔或在銅箔上涂敷了碳的合劑,具有遮光性,但基材由半透明的材料構(gòu)成時,也可相對于銅片4在彩色CCD傳感器8的相反側(cè)設(shè)置與涂敷的膜具有反差的背景部件。
圖6A、圖6B、圖6C、圖6D及圖6E是表示在黑色的消去光澤的合劑上涂敷了油墨后的油墨厚度與RGB各顏色成分的灰度等級的關(guān)系的曲線圖。圖6A表示涂敷了藍色油墨的情況,圖6B表示涂敷了紅色油墨的情況,圖6C表示涂敷了綠色油墨的情況,圖6D表示涂敷了淺藍色油墨的情況,圖6E表示涂敷了粉紅色油墨的情況。
從圖6可見,相對于藍色、綠色及淺藍色的油墨,膜的厚度相對于R的顏色成分的灰度等級的變化大,故R的顏色成分是有效的,相對于紅色及粉紅色的油墨,膜的厚度相對于G的顏色成分的灰度等級的變化大,故G的顏色成分是有效的。因此,能從攝像得到的彩色圖像的至少一個顏色成分測定由任意的材料構(gòu)成的膜的厚度。
本發(fā)明的特征的結(jié)構(gòu)可歸納如下本發(fā)明的膜測定裝置,對在膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物上的膜的厚度進行測定,其特征在于,包括攝像部,其將對所述被檢查物攝像得到的膜的彩色圖像的色調(diào)變換為各顏色成分的灰度數(shù)據(jù);基準厚度表,對至少一個顏色成分存儲有預先測得的與各灰度等級對應的膜的厚度的基準值;運算部,其將來自所述攝像部的各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)中的所述至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照存儲在所述基準厚度表內(nèi)的膜厚的基準值,求出所述被檢查物上的膜的厚度。
另外,本發(fā)明的膜測定裝置,對在膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物上的膜的單位面積的重量進行測定,其特征在于,包括攝像部,其將對所述被檢查物攝像得到的膜的彩色圖像的色調(diào)變換為各顏色成分的灰度數(shù)據(jù);基準重量表,其對至少一個顏色成分存儲有預先測得的與各灰度等級對應的重量的基準值;運算部,其將來自所述攝像部的各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)中的所述至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照存儲在所述基準重量表內(nèi)的重量的基準值,求出所述被檢查物上的膜的單位面積的重量。
采用上述構(gòu)成,在膜測定裝置中,該膜測定裝置用于對在膜狀或片狀的基材上利用涂敷或蒸涂等方式形成有膜的被檢查物上的膜的厚度及單位面積的重量進行測定,以檢測有無缺陷等,利用攝像部以非接觸的方式測定時,所述攝像部對被檢查物攝像而得到彩色圖像,并將膜的色調(diào)變換為各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)而輸出。另一方面,將預先分別對多個試樣的膜的厚度及單位面積的重量測定后得到的基準值、測定膜的厚度及重量時的有效的至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)相互對應地作為表格存儲在基準厚度表及基準重量表內(nèi)。
上述膜的厚度及重量測定時的有效顏色成分是指與基材的反差大且在預想的膜的厚度及重量的變動范圍內(nèi)等級變化較大的顏色成分,可使用單色,或在上述變動范圍的多個區(qū)域內(nèi)等級呈顯著變化的顏色成分不同時等情況下,可將多個顏色成分組合使用。上述顏色成分的形式不僅是分別表示RGB或CMY等個別的顏色成分的信號,也可是將色差信號等與輝度信號合成后的信號等。
并且,對膜的厚度及重量進行運算的運算部將上述攝像部得到的各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)內(nèi)對測定膜的厚度及重量時的有效的至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照上述基準厚度表及上述基準重量表,讀取與該灰度等級對應的膜的厚度及重量。但是,如果表內(nèi)沒有與該灰度等級對應的膜的厚度及重量的數(shù)據(jù)時,上述運算部適當?shù)乩孟鄬τ谠摶叶鹊燃壍哪さ暮穸燃爸亓刻匦缘慕苹驍?shù)據(jù)插補等方法求得與該灰度等級對應的膜的厚度及重量。
因此,能正確且簡單地測定形成的膜的膜的厚度及單位面積的重量。另外,在測定膜的厚度及重量時,通過選擇有效的至少一個顏色成分,就可測定任意的材質(zhì)的膜的膜的厚度及重量。此外,通過改變攝像點或?qū)z像點擴大至被檢查物的整個區(qū)域,就可測定膜的整個區(qū)域的厚度及重量。
另外,本發(fā)明的膜測定裝置最好還包括對所述被檢查物上的膜照射照明光的照明用光源;檢測所述照明光的照度的照度傳感器;根據(jù)所述照度傳感器檢測到的照度,對所述照明用光源進行反饋控制以使所述照度恒定的照明控制部。
采用該結(jié)構(gòu),利用照度傳感器檢測出照明用光源的年久變化或電源電壓的變動等引起的照明光照度的變化,照度控制部根據(jù)檢測出的照度,對照明用光源進行反饋控制,以使該照度恒定。
因此,照明光的照度與所述照明用光源的年久變化或電源電壓的變動等無關(guān)地保持恒定,能正確地測定膜的厚度及重量。
又,在本發(fā)明的膜測定裝置中,所述被檢查物的基材由透明或半透明的材料構(gòu)成時,最好相對于被檢查物在所述攝像部的相反側(cè)設(shè)置與形成的膜具有反差的背景部件。
采用該結(jié)構(gòu),當被檢查物的基材由透明或半透明的材料構(gòu)成時,若層疊的膜薄,則來自攝像部側(cè)的照明光或環(huán)境光透過所述被檢查物。為此,通過相對于所述被檢查物,在所述攝像部的相反側(cè)設(shè)置與形成的膜具有反差的背景部件,從至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)就可正確地測定膜的厚度和重量。
本發(fā)明的膜測定裝置最好還具有輸入部,將實測到的膜的厚度作為所述基準值與灰度等級相對應地輸入到所述基準厚度表中。
采用該結(jié)構(gòu),取出攝像后的被檢查物,將實際測得的膜的厚度數(shù)據(jù)從輸入部輸入到將預先測得的膜的厚度作為基準值存儲著的基準厚度表內(nèi),由此能修正各灰度等級與涂敷量的校準線,或補充數(shù)據(jù)的試樣數(shù),可提高膜的厚度的測定精度。
本發(fā)明的涂敷裝置,其特征在于,包括膜測定裝置,其具有所述攝像部、所述基準厚度表、所述運算部;涂敷部,在所述基材上涂敷膜;涂料量控制部,其根據(jù)所述運算部求得的膜的厚度,對所述涂敷部的膜的涂敷量進行控制。
采用該結(jié)構(gòu),能根據(jù)膜測定裝置測得的膜厚自動地控制涂料量。
另外,在本發(fā)明的涂敷裝置中,所述運算部最好對求得的膜厚相對于預定的基準值是否在允許范圍內(nèi)進行判斷,將包含所述允許范圍之外的部分的預定的膜的指定區(qū)域作為缺陷部分檢測出來。
采用該結(jié)構(gòu),不僅能檢測出超出允許范圍的部分,而且符合實際的工序,能容易地將包含超出該允許范圍的部分的預定的膜的指定區(qū)域作為缺陷部分檢測出來。
如上所述,采用本發(fā)明,對于在膜狀或片狀的基材上利用涂敷或蒸涂方式等層疊而成的被檢查物,能在膜的整個區(qū)域正確且簡單地測定任意材質(zhì)的膜的厚度及單位面積的重量,能根據(jù)測得的膜的厚度自動地控制被檢查物的膜的涂敷量,并且能容易地檢測出膜的缺陷部分。
權(quán)利要求
1.一種膜測定裝置,對膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物上的膜的物理量進行測定,其特征在于,包括攝像部,將對所述被檢查物攝像得到的膜的彩色圖像的色調(diào)變換為各顏色成分的灰度數(shù)據(jù);表格,對至少一個顏色成分存儲有預先測得的與各灰度等級對應的膜的物理量的基準值;運算部,將來自所述攝像部的各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)中的所述至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照存儲在所述表格內(nèi)的膜的物理量的基準值,求出所述被檢查物上的膜的物理量。
2.如權(quán)利要求1所述的膜測定裝置,其特征在于,所述膜的物理量是膜厚;在所述表格內(nèi),預先測得的與各灰度等級對應的膜厚的基準值作為基準厚度表被存儲。
3.如權(quán)利要求1所述的膜測定裝置,其特征在于,所述膜的物理量是單位面積的重量;在所述表格內(nèi),預先測得的與各灰度等級對應的重量的基準值作為基準重量表被存儲。
4.如權(quán)利要求1所述的膜測定裝置,其特征在于,還包括照明用光源,對所述膜照射照明光;照度傳感器,檢測所述照明光的照度;照明控制部,根據(jù)所述照度傳感器檢測到的照度,對所述照明用光源進行反饋控制以使所述照度恒定。
5.如權(quán)利要求1所述的膜測定裝置,其特征在于,當所述被檢查物的基材是由透明或半透明的材料構(gòu)成時,相對于被檢查物,在所述攝像部的相反一側(cè)設(shè)置與所形成的膜具有反差的背景部件。
6.如權(quán)利要求1所述的膜測定裝置,其特征在于,還包括輸入部,其將實測到的物理量作為所述基準值與灰度等級相對應地輸入到所述表格中。
7.一種涂敷裝置,其特征在于,包括膜測定裝置,如權(quán)利要求1至6其中之一所述;涂敷部,在所述基材上涂敷所述膜;涂料量控制部,根據(jù)所述膜測定裝置的運算部求得的所述膜的物理量,對所述涂敷部的所述膜的涂敷量進行控制。
8.如權(quán)利要求7所述的涂敷裝置,其特征在于,所述運算部對求得的所述膜的物理量相對于預定的基準值是否在允許范圍內(nèi)進行判斷,將包含所述允許范圍之外的部分的預定的膜的指定區(qū)域作為缺陷部分檢測出來。
9.一種膜的測定方法,對在膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物上的膜的物理量進行測定,其特征在于,包括以下步驟將對所述被檢查物攝像得到的膜的彩色圖像的色調(diào)變換為各顏色成分的灰度數(shù)據(jù)的變換步驟;將在所述變換步驟中得到的至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照預先測得并作為表格存儲著的、與所述至少一個顏色成分的灰度數(shù)據(jù)對應的膜的物理量的基準值,求出所述被檢查物上的膜的物理量的步驟。
10.如權(quán)利要求9所述的膜測定方法,其特征在于,所述膜的物理量是膜厚;在所述表格內(nèi),預先測得的與各灰度等級對應的膜厚的基準值作為基準厚度表被存儲。
11.如權(quán)利要求9所述的膜測定方法,其特征在于,所述膜的物理量是單位面積的重量;在所述表格內(nèi),預先測得的與各灰度等級對應的重量的基準值作為基準重量表被存儲。
12.一種涂敷方法,是一種使用了權(quán)利要求9至11其中之一所述的膜測定方法,其特征在于,包括以下步驟在所述基材上涂敷膜的步驟;根據(jù)所述膜測定方法求得的所述膜的物理量,對所述涂敷步驟中的所述膜的涂敷量進行控制的步驟。
13.如權(quán)利要求12所述的涂敷方法,其特征在于,還包括以下步驟對利用所述膜測定方法求得的所述膜的物理量相對于預定的基準值是否在允許范圍內(nèi)進行判斷的步驟;所述膜的物理量在允許范圍之外時,將包含所述允許范圍之外的部分的預定的膜的指定區(qū)域作為缺陷部分檢測出來的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能在膜狀或片狀的基材上形成有膜的被檢查物上的膜的整個區(qū)域正確且簡單地測定膜的厚度的膜測定裝置。將彩色CCD傳感器(8)對被檢查物進行攝像所得到的膜的彩色圖像信號的色調(diào)通過視頻板(11)變換為RGB的各顏色成分的灰度數(shù)據(jù),進一步利用圖像處理板(12)抽取各顏色成分的行圖像。運算部(14)將行圖像的G或B成分的灰度數(shù)據(jù)作為索引,參照預先測得并作為基準厚度表存儲在表(13)內(nèi)的、與G或B成分的灰度數(shù)據(jù)相對應的膜的厚度的基準值,求出被檢查物上的膜的膜的厚度。
文檔編號B05C11/02GK1924517SQ200610126780
公開日2007年3月7日 申請日期2006年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月2日
發(fā)明者林徹也, 藤川萬鄉(xiāng), 寺元數(shù)孝 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社