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一種硅半導(dǎo)體用粘結(jié)劑預(yù)分解劑其制備方法與流程

文檔序號:12778575閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種硅半導(dǎo)體用粘結(jié)劑預(yù)分解劑,其特征在于,由以下原料制成: 潤滑油 60-80份、丙酮溶液50-60份、DMSO6-8份、汽油8-10份、麻油6-8份、醋酸乙酯15-25份、酒石酸5-7份、乙酸鈉10-12份、磨粉組合物8-10份。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片清洗的酸性超聲波清洗劑,其特征在于,各原料的優(yōu)選分量為:潤滑油70份、丙酮溶液55份、DMSO7份、汽油9份、麻油7份、醋酸乙酯20份、酒石酸6份、乙酸鈉11份、磨粉組合物9份。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片清洗的酸性超聲波清洗劑,其特征在于:所述的磨粉組合物為氧化鋁、氧化硅、氧化鐵、氧化鋯任意一種與滑石粉和石蠟按照1:2:10的質(zhì)量比,復(fù)配制成。

4.制備上述權(quán)利要求1或2的方法,其特征在于,包括以下制備步驟: 1)將原料中除磨粉組合物以外的所有原料加入反應(yīng)釜中,然后加熱至60-65℃,持續(xù)攪拌均勻后,備用; 2)將上述步驟1的中原料冷卻后出料放入攪拌罐中,將原料中所有磨粉組合物,加入其中,高速攪拌直至磨粉組合物全部混合于物料中,即可。

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