技術總結
本申請?zhí)峁┮环N包含嵌段共聚物和有機溶劑的圖案處理組合物。還提供使用所描述的組合物的圖案處理方法。所述圖案處理組合物和方法在半導體裝置制造中發(fā)現(xiàn)特定可應用性，用于提供高分辨率圖案。

技術研發(fā)人員：V·吉安;M·李;H·周;J·K·樸;P·D·胡斯泰特;J·W·成
受保護的技術使用者：羅門哈斯電子材料有限責任公司;陶氏環(huán)球技術有限責任公司
文檔號碼：201610384024
技術研發(fā)日：2016.06.01
技術公布日：2016.12.21