專利名稱：全氟彈性體組合物和密封材料的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及全氟彈性體組合物以及使用全氟彈性體組合物的密封材料。
背景技術(shù)：
全氟彈性體可以用作半導(dǎo)體裝置(例如干蝕刻裝置或化學(xué)氣相沉積 (CVD)裝置)的密封材料，因?yàn)槠渚哂谐錾牡入x子體耐性、化學(xué)耐性和耐 熱性。近年來，己使用了極端的生產(chǎn)條件，例如將半導(dǎo)體裝置加熱至200 'C或更高的溫度。因此，全氟彈性體密封件可以粘附在裝置基底(例如金 屬)。
通常采用包括對(duì)全氟彈性體表面進(jìn)行改性在內(nèi)的常規(guī)方法來形成無粘 著性的表面并防止牢固固定。例如，可以將表面處理劑溶解在能夠溶脹彈 性體或橡膠的溶劑中。然后將橡膠浸入溶液中，從而使表面處理劑充入溶 脹的橡膠。該方法己在日本專利申請(qǐng)No. 2006-117878中公開。然而，在 模制工藝(后固化)之后，需要進(jìn)行處理步驟。又如，將與彈性體具有類 似結(jié)構(gòu)的表面處理劑涂覆到彈性體的表面。該方法已在日本專利申請(qǐng)No. 2006-36884中公開。表面處理劑可以包含含有全氟聚醚的化合物，其中全 氟聚醚含有自交聯(lián)官能團(tuán)。用表面處理劑涂覆全氟彈性體并加熱，從而使 含有全氟聚醚的化合物發(fā)生聚合反應(yīng)。然而，上文所述的兩個(gè)例子都需要 額外的處理步驟。就第一個(gè)例子而言，需要處理步驟，而第二個(gè)例子中需 要涂覆和加熱步驟。

發(fā)明內(nèi)容
4希望獲得不會(huì)牢固地固定在基底上的無粘著性的全氟彈性體，其中全 氟彈性體的基底的總體性能沒有改變，并且其中不需要特殊步驟。還希望 開發(fā)出制備無粘著性的全氟彈性體的方便、高性價(jià)比的方法。
本發(fā)明包括以下內(nèi)容
(1) 全氟彈性體組合物，其包含(A)全氟彈性體和(B)氟硅垸化合物。
(2) 根據(jù)(l)中所述的全氟彈性體組合物，其中所述氟硅烷化合物為 全氟聚醚。
(3) 根據(jù)(1)或(2)中所述的全氟彈性體組合物，其中所述氟硅垸化合 物為氟二硅烷化合物。
(4) 根據(jù)(1)至(3)中任一項(xiàng)所述的全氟彈性體組合物，其中按100質(zhì) 量份的全氟彈性體計(jì)，所述氟硅烷化合物的含量為0.2至1質(zhì)量 份。
(5) 由(l)、 (2)、 (3)或(4)中所述的全氟彈性體形成的密封材料。
具體實(shí)施例方式
根據(jù)本發(fā)明的全氟彈性體組合物包含少量氟硅垸化合物，因此可以防 止含氟彈性體與基底(例如金屬)的牢固固定。對(duì)于本發(fā)明的用途而言， 少量是指足以使聚合物不具有粘著性，但又不會(huì)影響含氟彈性體的彈性體 性質(zhì)的量。
根據(jù)本發(fā)明的全氟彈性體組合物不需要額外的步驟即可生成無粘著性 的含氟彈性體。由于使用了少量氟硅烷，因此可以獲得無粘著性的全氟彈 性體組合物，同時(shí)不會(huì)降低全氟彈性體組合物的彈性體性質(zhì)。
對(duì)于本發(fā)明的用途而言，全氟彈性體被視為基本上由全氟化的單體 (即，95摩爾％以上是全氟化的)制成的材料。聚合的全氟彈性體可以具 有未全氟化的末端基團(tuán)，因?yàn)槟┒嘶鶊F(tuán)取決于所使用的引發(fā)劑體系或鏈轉(zhuǎn) 移劑。在本發(fā)明中，涉及到全氟化的、部分氟化的和非氟化的引發(fā)劑體系 和鏈轉(zhuǎn)移劑。
可用于根據(jù)本發(fā)明的全氟彈性體組合物的全氟彈性體沒有特別限制， 并且是典型的全氟彈性體。優(yōu)選的是，組成全氟彈性體的主要單體單元為 全氟烯烴與全氟乙烯醚的組合。全氟烯烴可以包括四氟乙烯、六氟丙烯及其混合物等等，并且特別 優(yōu)選的是四氟乙烯。
全氟乙烯醚通常為用下式(1)表示的全氟(烷基乙烯基)醚或全氟(垸氧 乙烯基)醚
CF2=CF0(R，f0)n(R〃f0)mRf (1)
其中R't.與R〃f為相同或不同的具有2至6個(gè)碳原子的直鏈或支鏈全氟亞垸 基，m和n各自表示0至10的整數(shù)，Rf為具有1至6個(gè)碳原子的全氟烷 基。
優(yōu)選的全氟(烷基乙烯基)醚包括用下式(2)表示的化合物 CF2=CF0 (CF2CFX0) nRf (2)
其中X為F或CF3， n為0至5， Rf為具有1至6個(gè)碳原子的全氟垸基。
優(yōu)選的全氟(烷基乙烯基)醚為式(2)中的n為0或1， Rf包含1至3個(gè)
碳原子的化合物。例子包括全氟(垸基乙烯基)醚，例如全氟(甲基乙烯基)
醚、全氟(乙基乙烯基)醚、全氟(丙基乙烯基)醚、以及它們的組合。
另一種可用于本發(fā)明的全氟(垸基乙烯基)醚單體包括用下式(3)表示的
化合物
CF2=CFO [ (CF2) mCF2CFZO] nRf (3)
其中Rf為具有1至6個(gè)碳原子的全氟垸基，m為O或l， n為0至5， Z為F 或CF3。優(yōu)選的全氟(垸基乙烯基)醚單體為其中Rf為C3F7， m為O， n為l的 化合物。
另一種可用于本發(fā)明的全氟(烷基乙烯基)醚單體包括用下式(4)表示的 化合物
CF2=CFO [ (CF2CFCF30) n (CF2CF2CF20) m (CF2) p] CxF2x+1 (4)其中m和n各自表示0或l至10的整數(shù)，p為0至3， x為0至5。
可用于本發(fā)明的全氟(烷氧乙烯基)醚包括用下式(5)表示的化合物
CF2=CFOCF2CF (CF3) 0 (CF20) CnF2n+1 (5)
其中n為l至5，優(yōu)選地為l， m為l至3。
可用于本發(fā)明的全氟(垸氧乙烯基)醚包括例如 CF2=CFOCF2OCF2CF2CF3、 CF2=CFOCF2OCF3、 CF2=CFO (CF2) 3OCF3 、
CF2=CFOCF2CF2OCF3、以及它們的組合。
還可以使用全氟(垸基乙烯基)醚與全氟(垸氧乙烯基)醚的混合物。
將固化部位單體引入全氟彈性體，形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)，從而獲得彈性體性 質(zhì)。固化部位單體可以參與過氧化物固化反應(yīng)。 一般來講，最優(yōu)選的固化 部位單體包含一個(gè)或多個(gè)溴(Br)基或碘(I)基。固化部位單體可以包含另一 種官能團(tuán)，例如腈(CN)基。
優(yōu)選的包含Br或I基的固化部位單體包括二氟溴乙烯、三氟溴乙 烯、三氟碘乙烯、4-溴代-3, 3，4，4-四氟丁烯-1、 CF2=CFOCF2CF2Br 、 CF2=CFOCF2CF2CF2Br、 CF2=CFOCF2CF2CF2OCF2CF2Br、以及它們的組合。
優(yōu)選的包含CN的固化部位單體包括以下化合物
CF2=CF0 (CF2) nCN (6)
CF2=CFO [CF2CFCF30] PCF2CF (CF3) CN (7)
CF2=CF [OCF2CFCF3] x0 (CF2) raCN (8)
其中n為2至12， p為0至4， x為l至2， m為l至4。
優(yōu)選的包含CN的固化部位單體包括全氟(8-氰基-5-甲基-3， 6-二氧雜_ l-辛烯)。
尤其適用于本發(fā)明的固化部位單體為三氟溴乙烯。
7尤其優(yōu)選的全氟彈性體為通過由大約50至85摩爾％的CF2=CF2、大約 15至50摩爾％的CF2=CF(0CF3)、以及大約0. 2至5. 0摩爾％的固化部位單體 構(gòu)成的三元共聚物交聯(lián)而獲得的全氟彈性體。
將少量氟硅垸化合物加入全氟彈性體，可以防止含氟彈性體牢固地固 定到基底上。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明的氟硅垸化合物為全氟聚醚的一部 分。在一個(gè)實(shí)施例中，氟硅垸化合物為以硅烷封端的全氟聚醚。
可以將極少量的氟硅烷化合物加入彈性體中，并且不會(huì)降低彈性體 (例如固有的密封材料)的彈性體性質(zhì)(例如耐熱性/壓縮永久變形)。
氟硅烷化合物優(yōu)選地為全氟聚醚，例如為具有包含下式(9)的全氟聚醚 結(jié)構(gòu)的氟硅垸化合物
Rf-(Si(0R)3)n (9)
其中Rt為具有全氟醚基團(tuán)的結(jié)構(gòu)，R為烷基，n為l或2。
在一些實(shí)施例中，氟化聚醚硅烷可以具有包含下式(10)的結(jié)構(gòu)
R/-[-QSiY3—xR、]y (10)
其中R/表示單價(jià)或二價(jià)聚氟聚醚基團(tuán)，Q表示有機(jī)二價(jià)連接基團(tuán)，R'表示 Cl至C4烷基，Y表示可水解基團(tuán)，x為0或l， y為l或2。 Y表示可水解 基團(tuán)，例如鹵素離子、Cl至C4垸氧基、以及酰氧基或聚氧化亞烷基?？?水解基團(tuán)的具體例子包括甲氧基、乙氧基、丙氧基、氯以及乙酰氧基。 在一些實(shí)施例中，氟化聚醚硅烷可以具有包含下式(ll)的結(jié)構(gòu)
((R0) 3Si-Lr) m-Rt- (0 (CF2) J n- (0CF2) t) p- (0CF2CF (CF3)) q-Rf-Lr_Si (OR) 3 (11)
其中Rf獨(dú)立地為全氟化的Cl至C4垸基；m和r各自為0或l; n、 p和q 各自為0至50的整數(shù)；n+p+q〉l; s和t各自為1至4; L為有機(jī)連接基 團(tuán)-CO-NR'-(CH2)q-，其中R'為H或d至C4烷基；R為垸基。例子包括 (CH30) 3SiC3H6NHC0CF2 (0CF2CF2) (0CF2) nCF2C0NHC3H6S i (0CH3) 3。在一些實(shí)施例中，氟化聚醚硅垸可以具有包含下式(12)或(13)的結(jié)
構(gòu)
Rf0- (R'f0) n-R「 (R) r-L-Si (OR) x (12)或
((R0) xSi-L'-Rr) m- (Rf) s- (OR'f) n- (OR'f) p- (0R'f) q- (Rf) s- (Rr-L-Si (RO) x) ra (13)
其中R'f獨(dú)立地為以下結(jié)構(gòu)中的至少 一 種(CFCF3CF2) 、 (CF2CFCF3)、(C2F4)、 (CF2CF3)、或(C4F》，Rt獨(dú)立地為全氟化的Cl至C4垸基;x為2或3， m、 s禾Qr各自為O或l; n、 p和q為0至50的整數(shù)；n+p+q>l; L為有機(jī)連接基團(tuán)R-S-C3Hfi、 0-R-S-C^或C02-R-S-C3H6; L'為有機(jī)連接基團(tuán)C3H6-S-R、 C3H6-S-R-0或C3H6-S-R-C02; R為烷基。例子包括C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CH2OC3H6SC3H6S i (0CH3) 3 、C3F70 [CFCF3CF20] CFCF3CH2OC3H6SC3H6Si (0C2H5) 2 、C3F70 [CFCF3CF20] CFCF3C02C3H6SC3H6S i (0CH3) 3 、C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3C02C3H6SC3H6Si (0C2H5) 3 、(CH30) 3SiC3H6SC3H6OCH2CF2 (0C2F4) n (0CF2) nCF2CH2OC3H6SC3HBSi (0CH3) 3 、(C2H50) 3SiC3H6SC3H6OCH2CF2 (0C2F4) n (0CF2) nCF2CH20C3H6SC3H6Si (OC2H5) 3 、(CH30) 3SiC3H6SC3H6OCH2CFCF3
0C4F90 [CFCF3CF20] qCFCF3CH2OC3H6SC3H6Si(0CH3)3 、(C2H50) 3SiC3H6SC3H6OCH2CFCF3
n0C4F90 [CFCF3CF20] qCFCF3CH20C3H6SC3H6Si (0C2H5) 3、 C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CH2CH2SC3HfiSi (0CH3) 3 、
C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CH2CH2SC3HBSi (0C2H5) 3 、C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CF2OC3H6SC3H6S i (0CH3) 3C3F70 [CF2CF2CF20] nC2F4CH2OC3H6SC3H6Si(0CH3)3、以及C3F70[CF2CF2CF20] nC2F4CH2CH2SC3H6Si(0CH3)3，其中n為0至50的整數(shù)，n+q最大為30。
優(yōu)選的是，按100質(zhì)量份的全氟彈性體計(jì)，氟硅垸化合物的加入量為0. 1至2質(zhì)量份，0. 2至1質(zhì)量份，或甚至0. 5至1質(zhì)量份。如果氟硅烷化合物的量過小，就達(dá)不到足夠的無粘著性效果。如果氟硅垸的量過大，彈性體的性質(zhì)可能會(huì)受到影響(例如，密封性和等離子體耐性)。根據(jù)本發(fā)明的彈性體組合物可以包含填料(例如炭黑或二氧化硅)、硫化催化劑等，以及氟硅垸化合物。不需要特殊的歩驟即可生成無粘著性的含氟彈性體，因?yàn)樵诨蠌椥泽w時(shí)可以將氟硅垸化合物與填料一起加入。另外，通過使用現(xiàn)有的處理設(shè)備就可以將氟硅垸化合物加入全氟彈性體。因此，可以更容易地生成無粘著性的含氟彈性體，并且成本低于常規(guī)表面處理方法。
成形的彈性體產(chǎn)品可以通過以下方法制備將組合物的各組分放入配料機(jī)中，然后通過常規(guī)方法(例如先硫化和后固化)使組分硫化和成形。
由根據(jù)本發(fā)明的彈性體組合物獲得的成形的彈性體產(chǎn)品可以用作半導(dǎo)體裝置(例如干蝕裝置或CVD裝置)的密封材料等。由于經(jīng)過處理的彈性體表面不具有粘著性，因此可以防止彈性體粘附在與彈性體密封材料接觸的表面上，從而避免粘附損壞密封材料。
雄
Mil
將100質(zhì)量份的全氟彈性體(商品名為"PFE131T"，由Dyneon LLC.(0akdale， MN)制造)、7.5質(zhì)量份的添加劑(商品名為"PFE01C"，由Dyneon LLC.制造)、15質(zhì)量份的MT碳(商品名為"N990"，由Cancarb，Ltd. (Alberta， Canada)制造)、1質(zhì)量份的二氧化硅(商品名為"AER0SIL R-972"，由Japan Aerosil Co. ， Ltd.制造)、以及0.25質(zhì)量份的以硅烷封端的全氟聚醚(商品名為"ECC-1000"，由3M公司(St.Paul,麗)制造)化合，得到樣品。將獲得的化合物在188。C下進(jìn)行第一次硫化，時(shí)間為15分鐘。然后分別在20(TC和25(TC的后固化條件下將化合物分別硫化和模制16小時(shí)和8小時(shí)，從而制成厚度為2mm的片。
實(shí)例2
執(zhí)行與實(shí)例1相同的操作，不同的是將ECO1000的量設(shè)定為0. 5質(zhì)量份。
實(shí)例3
執(zhí)行與實(shí)例1相同的操作，不同的是將ECC-1000的量設(shè)定為0. 75質(zhì)量份。
實(shí)例4執(zhí)行與實(shí)例1相同的操作，不同的是將ECC-1000的量設(shè)定為1. 0質(zhì)量份。此外，在與制備片相同的條件下，制成環(huán)直徑為25.7mm (內(nèi)徑)、網(wǎng)絲直徑為3. 5誦的0形環(huán)。
比較例
執(zhí)行與實(shí)例1相同的操作，不同的是不添加氟二硅烷化合物(ECC-1000)。此外，在與制備片相同的條件下，制成環(huán)直徑為25.7mm (內(nèi)徑)、網(wǎng)絲直徑為3. 5腿的0形環(huán)。
彈性體的配料比率和硫化性能
配料比率和第一次硫化后的性能示于下表1中。
組
配料比率比較例實(shí)例1實(shí)例2實(shí)例3實(shí)例4
全氟彈性體100100100100100
E-184127. 57.57. 57. 57. 5
MT碳1515151515
二氧化硅11111
ECC-IOOO00. 250. 50. 751. 0
硫化性能(188'C， 15分鐘)MH (dNm)108. 3104. 3104. 9101. 8104. 2
ML (dNm)9. 28. 718. 558. 788. 64
Ts2 (分鐘)2. 872. 652. 792. 582. 93
T50 (分鐘)5. 475. 515. 735. 275. 34
T90 (分鐘)9. 6210.910. 29. 799. 70
在上表中，MH表示最大扭矩值，ML表示最小扭矩值。Ts2表示上升2個(gè)點(diǎn)所需的時(shí)間，T50表示50Q/。硫化(硫化反應(yīng)的中點(diǎn))的時(shí)間，T90表示90%硫化(最佳硫化點(diǎn))的時(shí)間。使用Alpha Technology ODR 2000，通過測(cè)試未固化的、化合的混合物來研究樣品的固化流變性，測(cè)試方法與ASTMD2084-07中所述的方法類似。
彈性體片與金屬的剝離強(qiáng)度測(cè)試
在一片表面用砂紙拋光并除油的不銹鋼(SUS)上，將上述厚度為2,的每種樣品片切成lOram x 70mm。安裝樣品片并用夾具夾住樣品片，然后向其施加壓力(片壓縮率為20%)。在施加壓力的狀態(tài)下，在10(TC的烘箱中將樣品通過壓力粘合48小時(shí)。從烘箱中取出夾具，然后在施加壓力的狀態(tài)下使溫度冷卻至室溫，然后打開烘箱，對(duì)樣品進(jìn)行剝離測(cè)試。在剝離測(cè)試中，使用張力測(cè)試機(jī)，以50毫米/分鐘的速率測(cè)量橡膠片與金屬基材之間
的剝離強(qiáng)度。對(duì)每個(gè)樣品測(cè)量3次，取平均值。結(jié)果示于下表2中。0形環(huán)的壓縮永久變形測(cè)試
用ASTM D 395-03方法B和ASTM D 1414-94中所述的類似方法測(cè)試實(shí)例4和比較例中0形環(huán)的壓縮永久變形，在20(TC下測(cè)試48小時(shí)。結(jié)果以百分比表示。結(jié)果示于下表2中。
表2
比較例實(shí)例1實(shí)例2實(shí)例3實(shí)例4
剝離強(qiáng)度Kgf1. 050.800. 610. 150. 31
壓縮永久變形％ (20CTC， 48小時(shí))8—-—12
-表示樣品未測(cè)試。
1權(quán)利要求
1.一種全氟彈性體組合物，其包含(A)全氟彈性體和(B)氟硅烷化合物。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全氟彈性體組合物，其中所述氟硅烷化合物 為全氟聚醚。
3. 根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的全氟彈性體組合物，其中所述氟硅 烷化合物為氟二硅垸化合物。
4. 根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的全氟彈性體組合物，其中按100質(zhì) 量份的所述全氟彈性體計(jì)，所述氟硅垸化合物的含量為0. 2至1質(zhì) 量份。
5. 根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的全氟彈性體組合物，其中所述全氟 聚醚具有下式Rt.1-[-QSiY3—J^]y其中R/表示單價(jià)或二價(jià)聚氟聚醚基團(tuán)，Q表示有機(jī)二價(jià)連接基團(tuán)， Rt表示Cl至C4烷基，Y表示可水解基團(tuán)，x為0或1，以及y為1 或2。
6. 根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的全氟彈性體組合物，其中所述全氟 聚醚具有下式((R0) 3Si-Lr)m-Rf- (0(CF2) s) n- (0CF2) t) p- (0CF2CF (CF3)) q-Rf-Lr-Si (OR) 3其中Rf為全氟化的Cl至C4烷基；m禾tlr為0或l; n、 p和q為O 至50的整數(shù)；n+p+q〉l; s和t為1至4; L為有機(jī)連接基團(tuán)-CO-NR'-(CH2)q-，其中R'為H或d至C4垸基；R為垸基。
7. 根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的全氟彈性體組合物，其中所述全氟 聚醚具有下式Rf0- (R'f0) n-R廠(R) r-L-Si (OR) x或((RO) xSi_L'-Rr) m- (Rf) s- (OR'f) n- (0R，f) P- (0R'f) q_ (Rf) s- (R「L-Si (RO) x) m其中R，f獨(dú)立地為以下結(jié)構(gòu)中的至少一種(CFCF3CF2)、 (CF2CFCF3)、(C2F4)、 (CF2CF3)、或(Cjg， Rf獨(dú)立地為全氟化的Cl至C4烷基;x為2或3， m、 s和r獨(dú)立地為O或l; n、 p和q為0至50的整數(shù)；n+p+q〉l; L為有機(jī)連接基團(tuán)R-S-C3He、 0-R-S-(:孔或C02-R-S_C3H6;L'為有機(jī)連接基團(tuán)C3H6-S-R、 C3H6-S-R-0或C3H6-S-R_C02;以及R為
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的全氟彈性體組合物，其中所述氟化聚醚硅烷為 (CH30)3SiC3H6NHCOCF2(OCF2)nCF2CONHC3H6Si(OCH3)3 、C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CH2OC3H6SC3H6S i (0CH3) 3 、C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CH2OC3H6SC3H6Si (OC2H5) 2 、C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3C02C3H6SC3H6Si (0CH3) 3 、C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3C02C3H6SC3H6Si (0C2H5) 3 、(CH30) 3SiC3H6SC3H6OCH2CF2 (0C2F4) n (0CF2) nCF^H^GH^CsHeSi (0CH3) 3 、(C2H50) 3SiC3H6SC3H6OCH2CF2 (0C2F4) n(0CF2) nCF2CH2OC3H6SC3H6Si (0C2H5) 3 、(CH30) 3SiC3H6SC3H60CH2CFCF3
n0C4F90 [CFCF3CF20] qCFCF3CH20C3HfiSC3HBSi(OCH3)3 、(C2H50) 3SiC3H6SC3H6OCH2CFCF3
n0C4F90 [CFCF3CF20] qCFCF3CH20C3H6SC3H6Si (0C2H5) 3 、 C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CH2CH2SC3HeS i (0CH3) 3 、C3F70 [CFCF3CF20] XFCF3CH2CH2SC3H6Si (OC2H5) 3 、C3F70 [CFCF3CF20] nCFCF3CF2OC3H6SC3H6Si (OCH:,) 3C3F70 [CF2CF2CF20] nC2F4CH2OC3H6SC3H6Si (OCH3) 3 、以及C3F70 [CF2CF2CF20] C2F4CH2CH2SC3H6Si(0CH3)3，其中n為0至50的整數(shù)，n+q最大為30。
9. 一種由根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的全氟彈性體組合物形成的密封材料。
全文摘要
本發(fā)明提供可以容易地防止其粘附在基底上的彈性體組合物。一種包含(A)全氟彈性體和(B)氟硅烷化合物的全氟彈性體組合物。
文檔編號(hào)C08J7/02GK101657493SQ200880011991
公開日2010年2月24日 申請(qǐng)日期2008年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月16日
發(fā)明者中里克彥, 福士達(dá)夫 申請(qǐng)人:3M創(chuàng)新有限公司