專利名稱：環(huán)氧樹(shù)脂組合物及半導(dǎo)體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及環(huán)氧樹(shù)脂組合物及半導(dǎo)體裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及適用于密封IC、LSI等半導(dǎo)體元件以及LED、CCD等光半導(dǎo)體元件的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，以及采用這種環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件得到的半導(dǎo)體裝置。
目前，許多半導(dǎo)體裝置(包括光半導(dǎo)體裝置)是通過(guò)采用環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件(包括光半導(dǎo)體裝置)制造的。采用環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件，是向已于規(guī)定位置設(shè)置有半導(dǎo)體元件的模具中注入環(huán)氧樹(shù)脂組合物并使之硬化，而進(jìn)行密封的。在上述密封所使用的環(huán)氧樹(shù)脂組合物中，作為環(huán)氧樹(shù)脂的硬化劑，通常采用酸酐系硬化劑，特別是，已經(jīng)知道對(duì)于LED或CCD等要求有透明性密封的光半導(dǎo)體元件的密封來(lái)說(shuō)是非常有效的。
但是，在上述半導(dǎo)體裝置的制造中，為了提高生產(chǎn)效率，希望快速硬化環(huán)氧樹(shù)脂。對(duì)于快速硬化環(huán)氧樹(shù)脂，可以考慮在高溫下進(jìn)行硬化，但是如果在例如約130℃或以上的溫度下進(jìn)行硬化，酸酐系硬化劑會(huì)發(fā)生分解，產(chǎn)生二氧化碳?xì)怏w，所產(chǎn)生的二氧化碳?xì)馀莶粌H會(huì)使硬化的樹(shù)脂中產(chǎn)生缺陷，而且，模具和樹(shù)脂界面上的二氧化碳?xì)馀葸€是硬化樹(shù)脂表面上產(chǎn)生深斑(sink mark)的原因。
本發(fā)明對(duì)上述情況進(jìn)行研究，其目的是提供即使在高溫下進(jìn)行硬化也很少產(chǎn)生二氧化碳?xì)怏w并很少產(chǎn)生深斑的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，以及通過(guò)采用該環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件得到的半導(dǎo)體裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明環(huán)氧樹(shù)脂組合物的特征在于含有環(huán)氧樹(shù)脂和酸酐系硬化劑，熱硬化時(shí)二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為500μg或以下。
本發(fā)明還包括下面的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其含有環(huán)氧樹(shù)脂和酸酐系硬化劑，在135℃加熱20分鐘時(shí)二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為500μg/g或以下。該二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量的下限值優(yōu)選為50μg/g或以下，更優(yōu)選為10μg/g或以下，特別優(yōu)選為0μg/g。
這些環(huán)氧樹(shù)脂組合物優(yōu)選含有二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽，其比例為，相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份，優(yōu)選含有0.5～8重量份。這些環(huán)氧樹(shù)脂組合物優(yōu)選進(jìn)一步含有金屬有機(jī)酸鹽。
本發(fā)明還包括下面的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，它含有環(huán)氧樹(shù)脂、酸酐系硬化劑和二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽，其中二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽的量相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份為0.5～8重量份。該環(huán)氧樹(shù)脂組合物優(yōu)選還含有金屬有機(jī)酸鹽。
本發(fā)明還包括通過(guò)采用上述環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件得到的半導(dǎo)體裝置。
本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物含有環(huán)氧樹(shù)脂和酸酐系硬化劑。
作為上述環(huán)氧樹(shù)脂，可舉出雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂、甲階酚醛型環(huán)氧樹(shù)脂、甲酚甲階酚醛型環(huán)氧樹(shù)脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、三縮水甘油異氰脲酸酯、己內(nèi)酰脲環(huán)氧樹(shù)脂等含氮環(huán)環(huán)氧樹(shù)脂，加氫雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、脂肪族系環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油醚型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚S型環(huán)氧樹(shù)脂、以低吸水率硬化體型為主的聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù)脂、二環(huán)環(huán)型環(huán)氧樹(shù)脂、萘型環(huán)氧樹(shù)脂等。它們可單獨(dú)使用，或者結(jié)合使用。這些環(huán)氧樹(shù)脂中，例如，對(duì)于密封光半導(dǎo)體元件來(lái)說(shuō)，優(yōu)選采用透明性和耐變色性優(yōu)良的雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、三縮水甘油異氰脲酸酯。
上述環(huán)氧樹(shù)脂在常溫下可以是固體，也可以是液體。但是，通常優(yōu)選環(huán)氧當(dāng)量為90～1000者，在固體的情況下，優(yōu)選軟化點(diǎn)為160℃或以下的環(huán)氧樹(shù)脂。環(huán)氧當(dāng)量小于90時(shí)，環(huán)氧樹(shù)脂組合物的硬化體會(huì)變脆。而環(huán)氧當(dāng)量超過(guò)1000時(shí)，其硬化體的玻璃化溫度(Tg)會(huì)降低。
作為上述酸酐系硬化劑，可以舉出例如無(wú)水酞酸、無(wú)水馬來(lái)酸、無(wú)水偏苯三酸、無(wú)水苯均四酸、六氫無(wú)水酞酸、四氫無(wú)水酞酸、無(wú)水甲基納西克酸、無(wú)水納西克酸、無(wú)水戊二酸、甲基六氫無(wú)水酞酸、甲基四氫無(wú)水酞酸等。它們可單獨(dú)使用或是結(jié)合使用。在這些酸酐系硬化劑中，優(yōu)選采用無(wú)水酞酸、六氫無(wú)水酞酸、四氫無(wú)水酞酸、甲基六氫無(wú)水酞酸。
上述酸酐系硬化劑，優(yōu)選其分子量為140～200左右者，而且，以無(wú)色或者淡黃色的酸酐為好。
除了上述酸酐系硬化劑之外，還可以結(jié)合使用目前公知的環(huán)氧樹(shù)脂的硬化劑，例如胺系硬化劑、酚系硬化劑、用醇將上述酸酐系硬化劑部分酯化的產(chǎn)物，或者六氫酞酸、四氫酞酸、甲基六氫酞酸等羧酸硬化劑。這時(shí)，這些硬化劑可以單獨(dú)使用，或者結(jié)合使用。例如，在結(jié)合使用羧酸硬化劑時(shí)，可以提高硬化速度，并提高生產(chǎn)效率。
上述環(huán)氧樹(shù)脂和上述酸酐系硬化劑的混合比例，優(yōu)選為相對(duì)于環(huán)氧樹(shù)脂中環(huán)氧基1當(dāng)量，酸酐系硬化劑中酸酐基為0.5～1.5當(dāng)量，進(jìn)而為0.7～1.2當(dāng)量。酸酐基不到0.5當(dāng)量時(shí)，環(huán)氧樹(shù)脂組合物的硬化速度會(huì)變幔，同時(shí)，其硬化體的玻璃化溫度會(huì)降低，另一方面，超過(guò)1.5當(dāng)量時(shí)，耐濕性會(huì)降低。
在結(jié)合使用上述酸酐系硬化劑之外的硬化劑時(shí)，其混合比例可以根據(jù)采用酸酐系硬化劑時(shí)的混合比例(當(dāng)量比)。也就是說(shuō)，即使在結(jié)合使用上述酸酐系硬化劑之外的硬化劑時(shí)，優(yōu)選比例為相對(duì)于環(huán)氧樹(shù)脂中環(huán)氧基1當(dāng)量，其硬化劑的官能團(tuán)(例如，氨基、苯酚基等)為0.5～1.5當(dāng)量，進(jìn)而為0.7～1.2當(dāng)量。
在本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物中，優(yōu)選配合硬化促進(jìn)劑。作為上述硬化促進(jìn)劑，可以采用目前已知的硬化促進(jìn)劑，但是，為了降低環(huán)氧樹(shù)脂組合物中熱硬化時(shí)二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生并防止深斑，優(yōu)選采用1,8-二氮雜二環(huán)(5,4,0)十一碳烯-7(下面稱為“DBU”)、1,5-二氮雜二環(huán)(4,3,0)-壬烯-5(以下稱為“DBN”)等二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽。更具體地說(shuō)，優(yōu)選采用二氮雜二環(huán)鏈烯類和例如正酞酸、石炭酸、辛酸等有機(jī)酸等的有機(jī)酸鹽。
含有上述二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽的比例優(yōu)選為，相對(duì)于本申請(qǐng)的酸酐系硬化劑100重量份為0.5～8重量份，優(yōu)選為1～4.5重量份，特別優(yōu)選為2～4.2重量份。二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽的含有比例不到0.5重量份時(shí)，會(huì)出現(xiàn)快速硬化性降低的情況，而超過(guò)8重量份時(shí)，會(huì)有二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量增多，并產(chǎn)生深斑的情況。
與上述二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽合用金屬有機(jī)酸鹽，是防止深斑所優(yōu)選的。作為上述金屬有機(jī)酸鹽，例如，可舉出辛酸錫、辛酸鋅、環(huán)烷酸錫、環(huán)烷酸鋅等。
含有上述金屬有機(jī)酸鹽的比例，相對(duì)于本申請(qǐng)的酸酐系硬化劑100重量份為1～6重量份，優(yōu)選為2～5重量份。金屬有機(jī)酸鹽的含量比例不到1重量份時(shí)，與上述二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽合用的效果不足，而超過(guò)6重量份時(shí)，快速硬化性會(huì)降低。
作為硬化促進(jìn)劑，也可以采用除上述二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽以外的促進(jìn)劑，作為這種硬化促進(jìn)劑，可以舉出例如DBU、DBN、三乙二胺等叔胺，2-乙基-4-甲基咪唑、2-甲基咪唑等咪唑類，三苯基膦、四苯基磷、四苯基硼酸酯、四正丁基磷-鄰，鄰-二乙基偶磷基二硫酸酯等磷化合物、季銨鹽和它們的衍生物等。它們可單獨(dú)使用或是結(jié)合使用。
在本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物中，除了上述環(huán)氧樹(shù)脂、上述酸酐系硬化劑等硬化劑、上述硬化促進(jìn)劑之外，根據(jù)需要，還可適當(dāng)配合歷來(lái)使用的，例如劣化防止劑、變性劑、填充劑、硅烷偶合劑、消泡劑、平衡劑、離型劑、染料、顏料等公知的各種添加劑。
作為上述劣化防止劑，可舉出例如酚系化合物、胺系化合物、有機(jī)硫系化合物、磷系化合物等目前公知的劣化防止劑。作為上述變性劑，可舉出例如二元醇類、硅酮類、醇類等目前公知的變性劑。作為上述填充劑，可舉出例如二氧化硅顆粒、氧化鋁顆粒等目前公知的填充劑。作為上述硅烷偶合劑，可舉出例如硅酮系、鈦酸酯系等目前公知的硅烷偶合劑。作為上述消泡劑，可舉出例如硅酮系等目前公知的消泡劑。
本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物例如可以通過(guò)以下方法，制成液體、粉末狀或者將粉末制成錠的片狀。即，為了得到液體狀的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，例如可以適當(dāng)配合上述各成分。為了制備粉末狀或者將粉末制成錠的片狀的組合物，例如將上述各組份適當(dāng)配合，預(yù)先混合之后，采用混合機(jī)混合，進(jìn)行熔融混合，接著，將其冷卻到室溫下后，采用公知的方法進(jìn)行粉碎，根據(jù)需要也可以制錠。
如上所述制備的本發(fā)明環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其熱硬化時(shí)的二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量為500μg/g或以下，優(yōu)選300μg/g或以下，更優(yōu)選200μg/g或以下，更具體地說(shuō)，在135℃加熱20分鐘時(shí)二氧化碳的產(chǎn)生量為500μg/g或以下，優(yōu)選300μg/g或以下，更優(yōu)選200μg/g或以下。“μg/g”是每1g環(huán)氧樹(shù)脂組合物的二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量(μg)。
上述二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量的測(cè)定可以采用，例如，二氧化碳?xì)怏w用北川式氣體檢測(cè)管進(jìn)行測(cè)定。北川式氣體檢測(cè)管是填充一種根據(jù)酸堿反應(yīng)發(fā)生變色的酸堿指示劑()的氣體檢測(cè)管，通過(guò)真空法吸入樣品氣體，通過(guò)觀察酸堿指示劑變色的范圍，檢測(cè)二氧化碳?xì)怏w的量。測(cè)定二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量，更具體地說(shuō)，例如，在密閉容器(容積為200ml)內(nèi)，在12mm×40mm(4.8cm2)的平面上，展開(kāi)1g環(huán)氧樹(shù)脂組合物，在135℃加熱20分鐘后，用二氧化碳?xì)怏w用北川式氣體檢測(cè)管吸收該密閉容器內(nèi)的空氣，定量測(cè)定該空氣中所含的二氧化碳?xì)怏w，借此可測(cè)定二氧化碳?xì)獾陌l(fā)生量。如果環(huán)氧樹(shù)脂組合物熱硬化時(shí)二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量在500μg/g或以下，就可得到即使在高溫下硬化也沒(méi)有深斑的形狀良好的硬化體。
上述本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物可適用于密封半導(dǎo)體元件。對(duì)于采用本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件，沒(méi)有特別的限制，可以用通常的傳遞成形或鑄塑等公知的模塑法進(jìn)行。在本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物是液體的情況下，至少可以用—種先將環(huán)氧樹(shù)脂和硬化劑分別存放，在使用之前才進(jìn)行混合的所謂雙液型。而在本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物是粉末狀或者片狀時(shí)，在熔融混合各組份時(shí)，作為B一步驟，可以在使用時(shí)將它們加熱熔融。
對(duì)密封的半導(dǎo)體元件沒(méi)有特別限制，可舉出IC、LSI等半導(dǎo)體元件或者LED、CCD等光半導(dǎo)體元件等。得到的半導(dǎo)體裝置可以是透明的，也可以是不透明的，在本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物中，采用酸酐系硬化劑作為硬化劑，由于其透明性優(yōu)良，因此特別適用于要求透明硬化體的光半導(dǎo)體元件。所謂透明也包括帶色透明，是指相當(dāng)于厚度為1mm時(shí)，通過(guò)分光光度計(jì)的測(cè)定，波長(zhǎng)600nm的光透過(guò)率為50～100％，優(yōu)選為80～100％。
采用本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件時(shí)，例如在130～140℃，進(jìn)而即使在140～160℃的高溫下硬化，產(chǎn)生的二氧化碳?xì)怏w也很少，因此，可以產(chǎn)率良好地制造缺陷少、并且表面上深斑少、具有良好形狀的半導(dǎo)體裝置。
實(shí)施例下面是實(shí)施例和比較例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明，但是，本發(fā)明并不限于實(shí)施例和比較例。
1)環(huán)氧樹(shù)脂組合物的調(diào)制通過(guò)在以下所示組成的環(huán)氧樹(shù)脂組合物中以表1所示的比例配合表1所示的硬化促進(jìn)劑和金屬有機(jī)酸鹽，調(diào)制實(shí)施例1～12、比較例1～3的環(huán)氧樹(shù)脂組合物。
2)二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量將實(shí)施例1～12和比較例1～3的環(huán)氧樹(shù)脂組合物lg在12mm×40mm(4.8cm2)的平面上分別展開(kāi)，在200ml的密閉容器中，在135℃加熱20分鐘后，用二氧化碳?xì)怏w用北川式氣體檢測(cè)管吸收該密閉容器內(nèi)的空氣，進(jìn)行定量分析，求出該空氣中所含的二氧化碳?xì)怏w，結(jié)果列于表1。
3)評(píng)價(jià)對(duì)實(shí)施例1～12和比較例1～3的環(huán)氧樹(shù)脂組合物評(píng)價(jià)深斑的產(chǎn)生率和快速硬化性。其結(jié)果列于表1。
深斑的產(chǎn)生率使用5mm直徑的燈主體(ランブケ-ス)用模具，將實(shí)施例1～12和比較例1～3的環(huán)氧樹(shù)脂組合物在150℃和140℃分別硬化15分鐘和20分鐘，由各環(huán)氧樹(shù)脂組合物得到60個(gè)硬化體。對(duì)得到的硬化體通過(guò)目測(cè)確定有無(wú)產(chǎn)生深斑，通過(guò)將產(chǎn)生深斑的硬化體的個(gè)數(shù)除以整個(gè)硬化體的個(gè)數(shù)(60個(gè))，求出深斑的產(chǎn)生率(％)。
快速硬化性使用5mm直徑的燈主體用模具，將實(shí)施例1～12和比較例1～3的環(huán)氧樹(shù)脂組合物在150℃和140℃分別硬化15分鐘和20分鐘，由此得到硬化體。通過(guò)用DSC(パ-キンエルマ-社制，升溫速度10℃/分)測(cè)定得到的硬化體，求出玻璃化溫度(Tg(℃))，將該Tg作為快速硬化性的指標(biāo)。
表1
如表1上半部分所示，二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為478μg/g的實(shí)施例6的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，在140℃硬化的深斑產(chǎn)生率為0％，與此不同，二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為552μg/g的比較例1的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，在140℃硬化的深斑產(chǎn)生率為20％。由此可知，以二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量500μg/g為界，深斑的產(chǎn)生率發(fā)生變化。
而且，如同一表1的上半部分所示，二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為294μg/g的實(shí)施例4的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，在150℃硬化的深斑產(chǎn)生率為10％，與此不同，二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為372μg/g的實(shí)施例5的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，在150℃硬化的深斑產(chǎn)生率為40％。由此可知，以二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量300μg/g為界，深斑的產(chǎn)生率發(fā)生變化，較優(yōu)選二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為300μg/g或以下。
硬化促進(jìn)劑的混合比例為1.1重量份的實(shí)施例1的Tg為110℃，與此不同，硬化促進(jìn)劑的混合比例為4.2重量份的實(shí)施例4的Tg為141℃，顯然，硬化促進(jìn)劑的配合比例少的與配合比例多的相比，快速硬化性稍有降低。
由表1的下半部分可見(jiàn)，若將硬化促進(jìn)劑和金屬有機(jī)酸鹽配合，就可進(jìn)一步降低二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量。
綜上所述，采用本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件時(shí)，即使在高溫下硬化，二氧化碳?xì)怏w也很少產(chǎn)生，因此，可以以高生產(chǎn)效率制造缺陷少、表面深斑少、具有良好形狀的半導(dǎo)體裝置。
權(quán)利要求
1．一種環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它含有環(huán)氧樹(shù)脂和酸酐系硬化劑，熱硬化時(shí)的二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量在500μg/g或以下。
2．一種環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它含有環(huán)氧樹(shù)脂和酸酐系硬化劑，在1 35℃加熱20分鐘時(shí)的二氧化碳?xì)怏w產(chǎn)生量在500μg/g或以下。
3．權(quán)利要求1或2所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它進(jìn)一步含有二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽。
4．權(quán)利要求3所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它含有相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份為0.5～8重量份的二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽，
5．權(quán)利要求3所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它進(jìn)一步含有金屬有機(jī)酸鹽。
6．權(quán)利要求4所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它進(jìn)一步含有金屬有機(jī)酸鹽。
7．權(quán)利要求5所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它含有相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份為1～6重量份的金屬有機(jī)酸鹽。
8．權(quán)利要求6所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它含有相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份為1～6重量份的金屬有機(jī)酸鹽。
9．一種環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它含有環(huán)氧樹(shù)脂、酸酐系硬化劑和二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽，該二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽的量相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份為0.5～8重量份。
10．權(quán)利要求9所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它進(jìn)一步含有金屬有機(jī)酸鹽。
11．權(quán)利要求10所述的環(huán)氧樹(shù)脂組合物，其特征在于，它含有相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份為1～6重量份的金屬有機(jī)酸鹽。
12．—種半導(dǎo)體裝置，其特征在于，它是采用權(quán)利要求1或9所述環(huán)氧樹(shù)脂組合物對(duì)半導(dǎo)體元件密封而制得的半導(dǎo)體裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種即使在高溫硬化,也很少產(chǎn)生二氧化碳?xì)怏w,而且也很少有深斑產(chǎn)生的環(huán)氧樹(shù)脂組合物,以及用這種環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件制成的半導(dǎo)體裝置。本發(fā)明的環(huán)氧樹(shù)脂組合物含有環(huán)氧樹(shù)脂和酸酐系硬化劑,熱硬化時(shí)二氧化碳?xì)怏w的產(chǎn)生量為500μg/g或以下。此外,該組合物含有環(huán)氧樹(shù)脂、酸酐系硬化劑和二氮雜二環(huán)鏈烯類的有機(jī)酸鹽。該二氮雜二環(huán)鏈烯類的量相對(duì)于酸酐系硬化劑100重量份為0.5～8重量份。因此,采用這種環(huán)氧樹(shù)脂組合物密封半導(dǎo)體元件,可制得半導(dǎo)體裝置。
文檔編號(hào)C08G59/00GK1313360SQ0111164
公開(kāi)日2001年9月19日 申請(qǐng)日期2001年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2000年2月4日
發(fā)明者山田純子, 奧田悟志, 嶋田克實(shí) 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社