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用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置的制作方法

文檔序號:3586376閱讀:417來源:國知局
專利名稱:用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于化工設(shè)備領(lǐng)域,涉及一種用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置,尤其適用于生產(chǎn)四氟甲烷。
背景技術(shù)
四氟甲烷是不燃燒的無色、無味的高壓液化氣體。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如合成橡膠、氯丁橡膠、還可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗。原有技術(shù)是氟氯甲烷與氟化氫(HF)進行氣相反應(yīng)來制備四氟甲烷,由于氟氯甲烷的氟化較相應(yīng)的甲烷困難,得到四氟甲烷非常困難,成本也非常高。現(xiàn)有技術(shù)是采用氟氣與碳直接反應(yīng)生成四氟甲烷,反應(yīng)不穩(wěn)定,容易產(chǎn)生爆炸可能,生成危險性高。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型所要解決的問題在于,克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置,在抑爆劑存在下使炭與氟氣反應(yīng)來制備高純四氟甲烷,工藝合理,制作簡單,可大大降低生產(chǎn)成本。本實用新型解決其技術(shù)問題是采取以下技術(shù)方案實現(xiàn)的依據(jù)本實用新型提供的一種用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置,包括反應(yīng)器、冷凝器、接受器和深冷器,反應(yīng)器的出口通過管路連接冷凝器的入口,冷凝器的出口通過管路連接接受器的入口,接受器的出口一通過管路連接深冷器的入口,深冷器的出口通過管路連接四氟甲烷冷凝器的入口,四氟甲烷冷凝器的出口通過管路連接四氟甲烷貯槽的入口,四氟甲烷貯槽的出口一通過管路連接鼓風機的入口,鼓風機的出口通過管路連接反應(yīng)器的入口一,接受器的出口二通過管路連接反應(yīng)器的入口三,反應(yīng)器還分別設(shè)有反應(yīng)器的入口二、反應(yīng)器的入口四、反應(yīng)器的入口五,四氟甲烷貯槽還設(shè)有四氟甲烷貯槽的出口二。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有顯著的優(yōu)點和有益效果由于實用新型采用在抑爆劑存在下使炭與氟氣反應(yīng)來制備高純四氟甲烷,工藝合理,制作簡單,可大大降低生產(chǎn)成本。本實用新型的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細給出。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、反應(yīng)器101、反應(yīng)器的出口 102、反應(yīng)器的入口一 103、反應(yīng)器的入口二104、反應(yīng)器的入口三105、反應(yīng)器的入口四106、反應(yīng)器的入口五2、冷凝器201、冷凝器的入口 202、冷凝器的出口 3、接受器301、接受器的入口 302、接受器的出口一303、接受器的出口二4、深冷器401、深冷器的入口 402、深冷器的出口 5、四氟甲烷冷凝器501、四氟甲烷冷凝器的入口 502、四氟甲烷冷凝器的出口 6、四氟甲烷貯槽601、四氟甲烷貯槽的入口 602、四氟甲烷貯槽的出口一 603、四氟甲烷貯槽的出口二 7、鼓風機701、鼓風機的入口 702、鼓風機的出□。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖及較佳實施例,對依據(jù)本實用新型提供的具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效,詳細說明如后。如圖I所示的一種用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置,包括反應(yīng)器I、冷凝器2、接受器3和深冷器4,反應(yīng)器的出口 101通過管路連接冷凝器的入口201,冷凝器的出口 202通過管路連接接受器的入口 301,接受器的出口一 302通過管路連接深冷器的入口 401,深冷器的出口 402通過管路連接四氟甲烷冷凝器的入口 501,四氟甲烷冷凝器的出口 502通過管路連接四氟甲烷貯槽的入口 601,四氟甲烷貯槽的出口一 602通過管路連接鼓風機7的鼓風機的入口 701,鼓風機的出口 702通過管路連接反應(yīng)器的入口一 102,接受器的出口二 303通過管路連接反應(yīng)器的入口三104,反應(yīng)器還分別設(shè)有反應(yīng)器的入口二 103、反應(yīng)器的入口四105、反應(yīng)器的入口五106,四氟甲烷貯槽6還設(shè)有四氟甲烷貯槽的出口二 603。用五氟化碘做抑爆劑的氟碳直接合成法制備四氟甲烷的工藝過程在鎳制圓筒形反應(yīng)器I中預(yù)先填充一定量的焦炭,通過鼓風機7從底部向反應(yīng)器中鼓入四氟甲烷,5min后停止并升溫至350°C。然后從反應(yīng)器下部通入氟氣和五氟化碘,從反應(yīng)器上部通入氟氣和焦炭,使反應(yīng)在上部氟氣過量、下部焦炭過量,并有五氟化碘存在的條件下進行。生成的氣體從反應(yīng)器頂部導(dǎo)出,進入冷凝器2,通過水冷使部分五氟化碘液化并進入接受器3。其余氣體進入深冷器4,于-120°C下使殘余五氟化碘固化,然后加熱液化后流回接受器。未凝氣體進入四氟甲烷冷凝器5,于-140 -135°C下使之液化,貯于四氟甲烷貯槽6中,未凝氣體借助鼓風機循環(huán)回反應(yīng)器。接受器中的五氟化碘部分被抽出汽化,循環(huán)回反應(yīng)器。最后使貯槽中的四氟甲烷汽化,用KOH和K2S03溶液洗滌,再經(jīng)A1203脫水,純度可達99. 999%以上。
權(quán)利要求1. 一種用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置,包括反應(yīng)器、冷凝器、接受器和深冷器,其特征在于所述的反應(yīng)器的出ロ通過管路連接冷凝器的入ロ,冷凝器的出口通過管路連接接受器的入口,接受器的出口一通過管路連接深冷器的入口,深冷器的出口通過管路連接四氟甲烷冷凝器的入口,四氟甲烷冷凝器的出口通過管路連接四氟甲烷貯槽的入ロ,四氟甲烷貯槽的出ロ 一通過管路連接鼓風機的入ロ,鼓風機的出口通過管路連接反應(yīng)器的入口一,接受器的出口二通過管路連接反應(yīng)器的入口三,反應(yīng)器還分別設(shè)有反應(yīng)器的入口ニ、反應(yīng)器的入口四、反應(yīng)器的入口五,四氟甲烷貯槽還設(shè)有四氟甲烷貯槽的出口ニ。
專利摘要本實用新型涉及一種用五氟化碘做抑爆劑氟碳直接合成法制備四氟甲烷的裝置,反應(yīng)器的出口通過管路連接冷凝器的入口,冷凝器的出口通過管路連接接受器的入口,接受器的出口一通過管路連接深冷器的入口,深冷器的出口通過管路連接四氟甲烷冷凝器的入口,四氟甲烷冷凝器的出口通過管路連接四氟甲烷貯槽的入口,四氟甲烷貯槽的出口一通過管路連接鼓風機的入口,鼓風機的出口通過管路連接反應(yīng)器的入口一,接受器的出口二通過管路連接反應(yīng)器的入口三,反應(yīng)器還分別設(shè)有反應(yīng)器的入口二、反應(yīng)器的入口四、反應(yīng)器的入口五,四氟甲烷貯槽還設(shè)有四氟甲烷貯槽的出口二。本實用新型采用在抑爆劑存在下使炭與氟氣反應(yīng)來制備高純四氟甲烷,制作簡單,生產(chǎn)成本低。
文檔編號C07C19/08GK202415402SQ201120530980
公開日2012年9月5日 申請日期2011年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月19日
發(fā)明者原東風 申請人:天津市泰源工業(yè)氣體有限公司
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