單晶爐夾取裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及單晶爐裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及單晶爐夾取裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前將單晶硅晶棒取出的方法一般是由操作人員帶上手套，用鉗子將晶棒夾出。然而這樣的操作方式不僅存在危險(xiǎn)性，而且單晶硅晶棒的破裂強(qiáng)度與抗拉強(qiáng)度均較小，且晶棒在下降過程中存在一定的晃動(dòng)，因此晶棒很容易出現(xiàn)斷裂，以及人工操作隨意性交大，效率緩慢。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種方便快捷且安全的單晶爐夾取裝置。
[0004]實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]單晶爐夾取裝置，包括機(jī)架和升降桿；所述機(jī)架上固定有上下兩塊夾持板；所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔；所述升降桿底部連有油缸；所述升降桿的上部套裝有一機(jī)械手，該機(jī)械手包括前端安裝的手臂、以及末端安裝的液壓缸；所述液壓缸和手臂之間通過連桿連接；所述機(jī)械手底部設(shè)有一固定桿，該固定桿起點(diǎn)連接手臂尾端底部，終點(diǎn)連接液壓缸底部；位于手臂與連桿之間的固定桿上設(shè)有一通孔；所述升降桿的下部設(shè)有兩個(gè)擋塊。
[0006]所述升降桿與兩個(gè)擋塊的連接處各開有一個(gè)環(huán)形凹槽，所述兩個(gè)擋塊的一端套在環(huán)形凹槽上，使擋塊與升降桿活動(dòng)連接。方便將擋塊固定在升降桿上
[0007]所述手臂包括兩個(gè)豎桿與橫桿形成“卜”字形的夾取桿、以及固定夾取桿的底座；所述兩個(gè)夾取桿通過橫桿上的螺孔水平連接于底座上。利用“卜”字形夾取單晶硅晶棒更牢固。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:機(jī)架放置于地面上，用發(fā)動(dòng)機(jī)械手夾住單晶硅晶棒的上部，再將兩個(gè)擋塊一左一右夾持住晶棒下部，隨后松開兩塊夾持板，在利用底部的油缸推動(dòng)升降桿上升，從而取出單晶硅晶棒。這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出，同時(shí)取出晶棒時(shí)不會(huì)抖動(dòng)，使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會(huì)斷裂，從而保證了操作的安全；而機(jī)械手夾取時(shí)，方便快捷并且成本低，又提高了工作效率。
【附圖說明】
[0009]通過下面結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，本發(fā)明前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見。
[0010]其中:圖1為發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本發(fā)明升降桿結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3為本發(fā)明手臂結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4為本發(fā)明手臂未夾持單晶硅晶棒時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖中，I為機(jī)架,2為升降桿,3為夾持板,4為油缸,5為機(jī)械手,6為手臂,7為液壓缸，8為連桿,9為固定桿，10為通孔,11為擋塊,12為環(huán)形凹槽，13為夾取桿，14為底座，15為豎桿，16為橫桿。
【具體實(shí)施方式】
[0014]參見圖1-圖4所示，單晶爐夾取裝置，包括機(jī)架I和升降桿2 ;所述機(jī)架上固定有上下兩塊夾持板3 ;所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔；所述升降桿底部連有油缸4 ;所述升降桿的上部套裝有一機(jī)械手5，該機(jī)械手包括前端安裝的手臂6、以及末端安裝的液壓缸7 ;所述液壓缸和手臂之間通過連桿8連接；所述機(jī)械手底部設(shè)有一固定桿9，該固定桿起點(diǎn)連接手臂尾端底部，終點(diǎn)連接液壓缸底部；位于手臂與連桿之間的固定桿上設(shè)有一通孔10 ;所述升降桿的下部設(shè)有兩個(gè)擋塊11。
[0015]利用機(jī)械手，升降桿的下部設(shè)有兩個(gè)擋塊，以及升降桿底部連有油缸。使用時(shí)將機(jī)架放置于單晶爐旁的地面上，用打開液壓缸，推動(dòng)機(jī)械手夾住單晶硅晶棒的上部，隨后將兩個(gè)擋塊左右轉(zhuǎn)動(dòng)，夾持住單晶硅晶棒的下部，使其不會(huì)晃動(dòng)，隨后松開兩塊夾持板，并用油缸推動(dòng)升降桿上升，從而取出單晶硅晶棒這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出，并且可以保證操作人員的安全，同時(shí)取出晶棒時(shí)不會(huì)抖動(dòng)，使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會(huì)碰到單晶爐，從而保證了單晶硅晶棒的質(zhì)量；而利用機(jī)械手代替人工操作不僅安全而且操作方便有效快捷，大大提高了勞動(dòng)效率。
[0016]優(yōu)選的，參見圖2所示，升降桿2與兩個(gè)擋塊11的連接處各開有一個(gè)環(huán)形凹槽12，所述兩個(gè)擋塊的一端套在環(huán)形凹槽12上，使擋塊與升降桿活動(dòng)連接。方便將擋塊固定在升降桿上。
[0017]優(yōu)選的，參見圖3-圖4所示，手臂包括兩個(gè)豎桿15與橫桿16形成“卜”字形的夾取桿13、以及固定夾取桿的底座14 ;所述兩個(gè)對(duì)稱的夾取桿13通過橫桿上的螺孔水平連接于底座14上。利用“卜”字形夾取單晶硅晶棒更牢固。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.單晶爐夾取裝置，包括機(jī)架和升降桿；所述機(jī)架上固定有上下兩塊夾持板；所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔；所述升降桿底部連有油缸；其特征在于，所述升降桿的上部套裝有一機(jī)械手，該機(jī)械手包括前端安裝的手臂、以及末端安裝的液壓缸；所述液壓缸和手臂之間通過連桿連接；所述機(jī)械手底部設(shè)有一固定桿，該固定桿起點(diǎn)連接手臂尾端底部，終點(diǎn)連接液壓缸底部；位于手臂與連桿之間的固定桿上設(shè)有一通孔；所述升降桿的下部設(shè)有兩個(gè)擋塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐夾取裝置，其特征在于，所述升降桿與兩個(gè)擋塊的連接處各開有一個(gè)環(huán)形凹槽，所述兩個(gè)擋塊的一端套在環(huán)形凹槽上，使擋塊與升降桿活動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐夾取裝置，其特征在于，所述手臂包括兩個(gè)豎桿與橫桿形成“卜”字形的夾取桿、以及固定夾取桿的底座；所述兩個(gè)夾取桿通過橫桿上的螺孔水平連接于底座上。
【專利摘要】本發(fā)明涉及單晶爐裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及單晶爐夾取裝置。利用升降桿的上部套裝有一機(jī)械手，該機(jī)械手包括前端安裝的手臂、以及末端安裝的液壓缸；所述液壓缸和手臂之間通過連桿連接；所述機(jī)械手底部設(shè)有一固定桿，該固定桿起點(diǎn)連接手臂尾端底部，終點(diǎn)連接液壓缸底部；位于手臂與連桿之間的固定桿上設(shè)有一通孔；所述升降桿的下部設(shè)有兩個(gè)擋塊；使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會(huì)斷裂，從而保證了操作的安全；而機(jī)械手夾取時(shí)，方便快捷并且現(xiàn)成本低，提高了工作效率。
【IPC分類】C30B35-00
【公開號(hào)】CN104711681
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310682255
【發(fā)明人】潘燕萍
【申請(qǐng)人】常州市天龍光電設(shè)備有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2013年12月12日