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一種生長石墨烯的方法與流程

文檔序號:40399112發(fā)布日期:2024-12-20 12:22閱讀:5來源:國知局
一種生長石墨烯的方法與流程

本發(fā)明涉及低維材料和新材料領(lǐng)域,尤其涉及一種生長石墨烯的方法。


背景技術(shù):

1、在電力電子領(lǐng)域,大量使用銅和銀作為關(guān)鍵的導(dǎo)體材料。隨著新能源產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,越來越多的應(yīng)用場景對大電流下的導(dǎo)體電阻和工作壽命提出了更高的要求。但是,銅容易氧化,且在高溫下電阻較大,并不能滿足大電流場景下的更高要求,而銀在自然界中儲(chǔ)量較小,不適合大規(guī)模應(yīng)用。石墨烯具有優(yōu)異的導(dǎo)電性能和化學(xué)穩(wěn)定性,耐腐蝕能力強(qiáng),是非常理想的導(dǎo)體材料。

2、石墨烯是一種單層碳原子構(gòu)成的二維材料,具有卓越的電學(xué)、熱學(xué)和力學(xué)性能。它是目前已知的最薄、最強(qiáng)、最堅(jiān)硬的納米材料之一,具備極高的強(qiáng)度和出色的柔韌性。由于其獨(dú)特的晶體結(jié)構(gòu)和電子行為,石墨烯在材料科學(xué)、電子學(xué)、能源、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。石墨烯的優(yōu)異性能使其在制造超微型晶體管、新一代太陽能電池、生物傳感器等方面具有廣泛的應(yīng)用前景,有望引領(lǐng)新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革方向。同時(shí),石墨烯環(huán)保友好,可在常溫常壓下制備,具有可持續(xù)發(fā)展的特性。

3、石墨烯的制備方法一直是研究的重點(diǎn),其中化學(xué)氣相沉積法(cvd)是一種常用的制備方法。cvd法可以在金屬基底上通過高溫加熱氣體碳源,如甲烷、乙炔等,生成石墨烯。然而,這種方法需要使用高純度氣體,并且反應(yīng)條件較為苛刻,如高溫高壓等,因此制備成本較高。此外,cvd法還可能產(chǎn)生環(huán)境污染和安全隱患等問題。因此,尋找一種低成本、高效率、高質(zhì)量、環(huán)保、安全的石墨烯制備方法具有重要的實(shí)際意義。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的在于提出一種生長石墨烯的方法,以解決上述問題中的一個(gè)或者多個(gè),包括以下步驟:

2、通過引入等離子體氧化氣氛去除銅基底表面雜質(zhì);

3、維持等離子體氧化氣氛,采用化學(xué)氣相沉積法,在所述銅基底表面生長石墨烯;

4、其中,生長石墨烯所用碳源為固態(tài)碳源,所述固態(tài)碳源可通過將芳香族化合物與固體石墨烯混合得到。

5、優(yōu)選地,所述將芳香族化合物與固體石墨烯混合包括:

6、將固態(tài)芳香族化合物溶于乙醇溶劑中,與所述固體石墨烯混合后進(jìn)行蒸干,得到所述固態(tài)碳源;

7、其中,含有固態(tài)芳香族化合物的溶液與所述固體石墨烯混合的重量比為(0.1-10):100,優(yōu)選重量比為:(5-10):100;

8、優(yōu)選地,所述固態(tài)芳香族化合物包括萘、蒽、菲、苯胺、苯二胺、聯(lián)苯胺、重氮苯、喹啉、鄰菲啰啉中的至少一種。

9、優(yōu)選地,所述將芳香族化合物與固體石墨烯混合包括:

10、所述固體石墨烯包括石墨烯粉體,將液態(tài)芳香族化合物與石墨烯粉體混合,得到所述固態(tài)碳源;

11、其中,所述液態(tài)芳香族化合物與所述石墨烯粉體的重量比為(0.1-10):100,優(yōu)選重量比為:(5-10):100。

12、優(yōu)選地,所述液態(tài)芳香族化合物包括苯、甲苯、二甲苯、吡咯、硝基苯、苯乙腈、聯(lián)吡啶中的至少一種。

13、優(yōu)選地,在所述通過引入等離子體的氧化氣氛去除銅基底表面雜質(zhì)的過程中,控制壓力范圍0.1~100pa;控制加熱溫度為100~400℃,加熱時(shí)間為10~200s。

14、優(yōu)選地,所述固體石墨烯包括石墨烯片,所述石墨烯片的比表面積為300~1000m2/g,層數(shù)<5層。

15、優(yōu)選地,所述生長石墨烯的反應(yīng)溫度為:250~600℃,優(yōu)選反應(yīng)溫度為:300~500℃,最佳反應(yīng)溫度為:400℃。

16、優(yōu)選地,所述生長石墨烯的反應(yīng)時(shí)間為:10~600min,優(yōu)選反應(yīng)時(shí)間為:60~180min,最佳反應(yīng)時(shí)間為:60min。

17、優(yōu)選地,所述去除銅基底表面雜質(zhì)的操作和所述在所述銅基底表面生長石墨烯的操作均在管式爐反應(yīng)腔中進(jìn)行;所述固態(tài)碳源是由通入所述管式爐反應(yīng)腔中的保護(hù)氣帶入,所述保護(hù)氣為氮?dú)饣驓鍤庵械闹辽僖环N與氫氣的混合氣,所述氫氣占混合氣的比例為1%~100%,所述氫氣占混合氣的較佳比例為:3%-10%,所述氫氣占混合氣的最佳比例為5%,所述保護(hù)氣的氣體流量為5~500sccm,較佳流量為:100~200sccm,最佳流量為100sccm。

18、優(yōu)選地,所述銅基底包括銅箔、銅線、銅板、銅塊、銅件,所述銅基底包括規(guī)則形狀和不規(guī)則形狀,所述銅件系由銅制成的具有一定形狀和規(guī)格零件或制品。

19、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果為:

20、本發(fā)明通過使用等離子體氣氛可以快速高效的去除銅基底表面雜質(zhì),顯著地提高了低溫生長石墨烯的效率,等離子體氣氛貫穿整個(gè)石墨烯生長工藝,由于等離子體中的活性粒子具有高能量,它們能夠促進(jìn)固態(tài)碳源的快速裂解,但這可能導(dǎo)致碳源的供給難以精確控制,進(jìn)而使得生長速度過快,影響最終石墨烯產(chǎn)品的質(zhì)量。對此,本發(fā)明引入了石墨烯粉體或石墨烯片作為芳香族化合物的吸附載體。這種方法可以有效調(diào)節(jié)裂解速度,確保碳源的均勻供給,從而有助于提高生長過程中石墨烯的質(zhì)量。也就是說,本發(fā)明通過等離子體氧化氣氛促進(jìn)固態(tài)碳源裂解與石墨烯粉體或石墨烯片控制裂解速度,這兩種手段的結(jié)合,兼顧了石墨烯生長的速度和質(zhì)量。

21、本發(fā)明通過固態(tài)芳香族化合物與石墨烯粉體或石墨烯片混合蒸干后的固態(tài)碳源或者經(jīng)轉(zhuǎn)化成固態(tài)碳源的液態(tài)芳香族化合物作為生長石墨烯的碳源,較傳統(tǒng)cvd生長石墨烯等方法,減少了控制反應(yīng)氣體流量等步驟,簡化了操作流程;

22、本發(fā)明采用固態(tài)碳源在銅連接器上進(jìn)行石墨烯生長的技術(shù),成功拓寬了石墨烯生長基底的應(yīng)用范圍。這一技術(shù)進(jìn)步意味著可以在銅制連接器和銅制插接件表面生長石墨烯,從而為石墨烯與銅材料結(jié)合的產(chǎn)品開辟了更加廣闊的發(fā)展前景。



技術(shù)特征:

1.一種生長石墨烯的方法,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述將芳香族化合物與固體石墨烯混合包括:

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述將芳香族化合物與固體石墨烯混合包括:

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述液態(tài)芳香族化合物包括苯、甲苯、二甲苯、吡咯、硝基苯、苯乙腈、聯(lián)吡啶中的至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,在所述通過引入等離子體的氧化氣氛去除銅基底表面雜質(zhì)的過程中,控制壓力范圍0.1~100pa;控制加熱溫度為100~400℃,加熱時(shí)間為10~200s。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述固體石墨烯包括石墨烯片,所述石墨烯片的比表面積為300~1000m2/g,層數(shù)<5層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述生長石墨烯的反應(yīng)溫度為:250~600℃,優(yōu)選反應(yīng)溫度為:300~500℃,最佳反應(yīng)溫度為:400℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述生長石墨烯的反應(yīng)時(shí)間為:10~600min,優(yōu)選反應(yīng)時(shí)間為:60~180min,最佳反應(yīng)時(shí)間為:60min。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述去除銅基底表面雜質(zhì)的操作和所述在所述銅基底表面生長石墨烯的操作均在管式爐反應(yīng)腔中進(jìn)行;

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長石墨烯的方法,其特征在于,所述銅基底包括銅箔、銅線、銅板、銅塊、銅件,所述銅基底包括規(guī)則形狀和不規(guī)則形狀,所述銅件系由銅制成的具有一定形狀和規(guī)格零件或制品。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種生長石墨烯的方法,包括:通過引入等離子體氧化氣氛去除銅基底表面雜質(zhì);維持等離子體氧化氣氛,采用化學(xué)氣相沉積法,在所述銅基底表面生長石墨烯;其中,生長石墨烯所用碳源為固態(tài)碳源,所述固態(tài)碳源可通過將芳香族化合物與固體石墨烯混合得到。本發(fā)明使用等離子體可高效去除銅表面雜質(zhì),提高了低溫生長石墨烯的效率,能促進(jìn)固態(tài)碳源快速裂解,同時(shí)引入石墨烯粉體或石墨烯片作為芳香族化合物的吸附載體,可有效調(diào)節(jié)裂解速度,有助于提高石墨烯質(zhì)量。本發(fā)明用固態(tài)碳源在銅連接器上生長石墨烯,拓寬了石墨烯生長基底的選擇范圍,為石墨烯與銅材料結(jié)合的產(chǎn)品開辟了更加廣闊的發(fā)展前景。

技術(shù)研發(fā)人員:鄒路,馬宇飛,吳瓊
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蘇州盛光材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/19
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