本技術(shù)涉及單晶爐，具體地，涉及一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐。

背景技術(shù)：

1、如申請(qǐng)?zhí)枮閏n202020274688.3公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有的單晶爐保溫性能不夠完善，使用起來(lái)不夠方便的問(wèn)題。所述單晶爐殼體的下方安裝有安裝架，所述單晶爐殼體下端的一側(cè)設(shè)置有排氣口，所述排氣口的前端安裝有調(diào)節(jié)閥，所述單晶爐殼體下端的中間位置處安裝有電機(jī)，所述單晶爐殼體前端的上端安裝有可視玻璃窗，所述單晶爐殼體的上端安裝有法蘭密封下連接蓋，所述法蘭密封下連接蓋的上端安裝有法蘭密封上連接蓋，所述法蘭密封上連接蓋上方的一側(cè)設(shè)置有真空抽氣口。

2、然而上述半導(dǎo)體生產(chǎn)單晶爐依舊存在以下問(wèn)題，該設(shè)計(jì)所采用的是將半導(dǎo)體進(jìn)料口設(shè)置在單晶爐的頂部，需要工作人員從單晶爐的頂部進(jìn)行投料，這樣的做法容易導(dǎo)致半導(dǎo)體原料粘附在單晶爐的內(nèi)壁，同時(shí)由于單晶爐本身具有一定高度，該投料方式使得工作人員在投料時(shí)有一定的跌落風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提出一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，解決了相關(guān)技術(shù)中半導(dǎo)體生產(chǎn)單晶爐入料的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，包括電機(jī)保護(hù)罩，所述電機(jī)保護(hù)罩的內(nèi)腔固定連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一側(cè)活動(dòng)連接有啟動(dòng)按鈕，所述電機(jī)保護(hù)罩的一側(cè)固定連接有螺紋桿套，所述螺紋桿套的內(nèi)側(cè)安裝有驅(qū)動(dòng)桿，所述驅(qū)動(dòng)桿的外側(cè)固定連接有送料螺紋桿，所述驅(qū)動(dòng)桿通過(guò)電機(jī)保護(hù)罩的一側(cè)貫穿圓形開(kāi)槽驅(qū)動(dòng)連接有在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一側(cè)。

3、優(yōu)選的，所述電機(jī)保護(hù)罩與支撐面板的頂部半圓形開(kāi)槽為固定連接。

4、優(yōu)選的，所述支撐面板的底部四周固定連接有支撐桿。

5、優(yōu)選的，所述支撐面板的頂部一側(cè)固定連接有操控面板，所述操控面板的頂部活動(dòng)連接有操控按鈕。

6、優(yōu)選的，所述支撐面板的中部貫穿開(kāi)設(shè)有圓形開(kāi)槽，所述支撐面板的中部貫穿圓形開(kāi)槽內(nèi)固定連接有爐體。

7、優(yōu)選的，所述爐體的一側(cè)固定連接有抽氣管，所述抽氣管與爐體的內(nèi)部相連通，所述抽氣管的頂部固定連接有抽氣控制閥。

8、優(yōu)選的，所述爐體的一側(cè)在靠近抽氣管的下方固定連接有泄氣管，所述泄氣管與爐體的內(nèi)部連通，所述泄氣管的頂部固定連接有泄氣控制閥。

9、優(yōu)選的，所述螺紋桿套與爐體的內(nèi)部相連通。

10、優(yōu)選的，所述爐體的頂部活動(dòng)連接有頂蓋。

11、優(yōu)選的，所述爐體的內(nèi)腔固定連接有入料坩堝，所述入料坩堝的底部連接有加工管，所述加工管的外側(cè)固定連接有石墨加熱器，所述石墨加熱器的輸入端與操控面板底部輸出端為電連接。

12、本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：

13、1、本實(shí)用新型通過(guò)在爐體的一側(cè)設(shè)有與之內(nèi)部相連通的螺紋桿套，通過(guò)螺紋桿套內(nèi)腔的送料螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)可以將半導(dǎo)體生產(chǎn)原料均勻的送入爐體內(nèi)，該自動(dòng)送料設(shè)計(jì)高效簡(jiǎn)潔，且該設(shè)計(jì)使得工作人員無(wú)需從具有一定高度的爐體頂部進(jìn)行投料，使得生產(chǎn)工作安全性提升。

14、2、本實(shí)用新型通過(guò)將與爐體內(nèi)部相連通的抽氣管和泄氣管設(shè)置在爐體的側(cè)面，相對(duì)于設(shè)置在爐體頂部，該設(shè)計(jì)可以便于工作人員及時(shí)對(duì)爐體的內(nèi)部進(jìn)行抽氣以及泄氣工作。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，包括電機(jī)保護(hù)罩(6)，其特征在于，所述電機(jī)保護(hù)罩(6)的內(nèi)腔固定連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(602)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(602)的一側(cè)活動(dòng)連接有啟動(dòng)按鈕(601)，所述電機(jī)保護(hù)罩(6)的一側(cè)固定連接有螺紋桿套(7)，所述螺紋桿套(7)的內(nèi)側(cè)安裝有驅(qū)動(dòng)桿(603)，所述驅(qū)動(dòng)桿(603)的外側(cè)固定連接有送料螺紋桿(604)，所述驅(qū)動(dòng)桿(603)通過(guò)電機(jī)保護(hù)罩(6)的一側(cè)貫穿圓形開(kāi)槽驅(qū)動(dòng)連接有在驅(qū)動(dòng)電機(jī)(602)的一側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述電機(jī)保護(hù)罩(6)與支撐面板(4)的頂部半圓形開(kāi)槽為固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述支撐面板(4)的底部四周固定連接有支撐桿(401)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述支撐面板(4)的頂部一側(cè)固定連接有操控面板(5)，所述操控面板(5)的頂部活動(dòng)連接有操控按鈕(501)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述支撐面板(4)的中部貫穿開(kāi)設(shè)有圓形開(kāi)槽，所述支撐面板(4)的中部貫穿圓形開(kāi)槽內(nèi)固定連接有爐體(1)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述爐體(1)的一側(cè)固定連接有抽氣管(2)，所述抽氣管(2)與爐體(1)的內(nèi)部相連通，所述抽氣管(2)的頂部固定連接有抽氣控制閥(201)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述爐體(1)的一側(cè)在靠近抽氣管(2)的下方固定連接有泄氣管(3)，所述泄氣管(3)與爐體(1)的內(nèi)部連通，所述泄氣管(3)的頂部固定連接有泄氣控制閥(301)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述螺紋桿套(7)與爐體(1)的內(nèi)部相連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述爐體(1)的頂部活動(dòng)連接有頂蓋(101)。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，其特征在于，所述爐體(1)的內(nèi)腔固定連接有入料坩堝(8)，所述入料坩堝(8)的底部連接有加工管(9)，所述加工管(9)的外側(cè)固定連接有石墨加熱器(10)，所述石墨加熱器(10)的輸入端與操控面板(5)底部輸出端為電連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，提出了一種用于半導(dǎo)體生成的單晶爐，包括電機(jī)保護(hù)罩，電機(jī)保護(hù)罩的內(nèi)腔固定連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一側(cè)活動(dòng)連接有啟動(dòng)按鈕，電機(jī)保護(hù)罩的一側(cè)固定連接有螺紋桿套，本技術(shù)通過(guò)在爐體的一側(cè)設(shè)有與之內(nèi)部相連通的螺紋桿套，通過(guò)螺紋桿套內(nèi)腔的送料螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)可以將半導(dǎo)體生產(chǎn)原料均勻的送入爐體內(nèi)，該自動(dòng)送料設(shè)計(jì)高效簡(jiǎn)潔，且該設(shè)計(jì)使得工作人員無(wú)需從具有一定高度的爐體頂部進(jìn)行投料，使得生產(chǎn)工作安全性提升，本技術(shù)通過(guò)將與爐體內(nèi)部相連通的抽氣管和泄氣管設(shè)置在爐體的側(cè)面，相對(duì)于設(shè)置在爐體頂部，該設(shè)計(jì)可以便于工作人員及時(shí)對(duì)爐體的內(nèi)部進(jìn)行抽氣以及泄氣工作。

技術(shù)研發(fā)人員：趙紅武,崔志剛,范磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢芯致半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231218
技術(shù)公布日：2024/12/19