本實用新型涉及石墨加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種表面噴砂石墨。

背景技術(shù)：

近年來國內(nèi)半導體晶圓廠，國家出臺了4000億國家集成電路的產(chǎn)業(yè)大基金來支持國內(nèi)的半導體行業(yè)。離子注入機是目前半導體晶圓廠內(nèi)的最精密的關(guān)鍵設(shè)備，石墨類的耗材需求量很大，對石墨類的零部件不但要求高純度無污染，還要求同一套石墨保護組件能最大限度提升使用壽面，延長機臺倆次保養(yǎng)的間隔時段，這樣石墨噴砂就有了應用市場，為此，我們提出一種表面噴砂石墨。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的主要目的在于提供一種表面噴砂石墨，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術(shù)方案為：

一種表面噴砂石墨，包括石墨件和砂料，所述石墨件表層經(jīng)噴砂處理有砂料，所述砂料均勻分布在石墨件表層，且經(jīng)過噴砂處理后的石墨件表層粗糙度Ra大于6.4，所述砂料為銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂和海南砂其中的一種。

進一步的，所述石墨件采用高純石墨材料制成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下有益效果：該實用新型由于采用石墨噴砂處理，使得石墨件表層均勻附著有砂料，能夠增大石墨件的表面粗糙度，可以有效增強表面附著污染物的能力，延長石墨件使用壽命，有效延長機臺兩次保養(yǎng)的間隔時段。

【附圖說明】

圖1為石墨件表面無噴砂處理的表面效果；

圖2為本實用新型表面噴砂石墨噴砂處理后效果示意圖。

圖中：1、石墨件；2、砂料。

【具體實施方式】

為使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。

如圖1-2所示，一種表面噴砂石墨，包括石墨件1和砂料2，所述石墨件1表層經(jīng)噴砂處理有砂料2，所述砂料2均勻分布在石墨件1表層，且經(jīng)過噴砂處理后的石墨件1表層粗糙度Ra大于6.4，所述砂料2為銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂和海南砂其中的一種。

其中，所述石墨件1采用高純石墨材料制成。

應說明的是，該實用新型由于采用石墨噴砂處理，使得石墨件1表層均勻附著有砂料2，能夠增大石墨件1的表面粗糙度，可以有效增強表面附著污染物的能力，延長石墨件1使用壽命，有效延長機臺兩次保養(yǎng)的間隔時段。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。