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一種電子級硅粉制備硅塊的方法與流程

文檔序號:11511074閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種電子級硅粉制備硅塊的方法,包括步驟:將電子級硅粉引入位于碳管爐中的管道內(nèi);使碳管爐內(nèi)保持惰性氣氛,加熱管道內(nèi)的硅粉使其熔化,并使硅液流入設(shè)置在碳管爐中的坩堝中固化成硅塊。上述方法,在碳管爐中加熱熔化硅粉,使硅粉熔化后形成的硅液注入冷坩堝中,在坩堝中固化成硅塊,此種方法不需要借助價格昂貴的鑄錠爐或單晶爐鑄錠實現(xiàn),提供了一種工藝簡單且成本低的處理方法。

技術(shù)研發(fā)人員:倪鵬;劉儀科;丁俊
受保護的技術(shù)使用者:江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.26
技術(shù)公布日:2017.10.17
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