技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種能提高籽晶受熱均勻性的坩堝裝置，其包括坩堝本體、坩堝蓋和至少一個(gè)感應(yīng)環(huán)。坩堝本體呈桶形，具有桶底、桶壁和頂部開口，其中桶底和桶壁圍成用于盛放物料的容置空間；坩堝蓋蓋設(shè)于坩堝本體的頂部開口，坩堝蓋具有朝向桶底的內(nèi)表面和背離桶底的外表面；至少一個(gè)感應(yīng)環(huán)同心設(shè)置于坩堝蓋內(nèi)并靠近坩堝的內(nèi)表面，并且至少一個(gè)感應(yīng)環(huán)的中心與坩堝蓋的中心在同一條直線上。本實(shí)用新型坩堝裝置減小了坩堝蓋徑向溫度梯度，有效提高了坩堝蓋整體的溫度均勻性，能為設(shè)置于坩堝蓋內(nèi)表面中心處的碳化硅籽晶生成成晶體提供了良好的條件，即提高了籽晶徑向溫度的均勻性，減小了晶體生長過程中的熱應(yīng)力，從而能生長出質(zhì)量高的晶體。

技術(shù)研發(fā)人員：楊翠柏;方聰;陳丙振;楊光輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：珠海鼎泰芯源晶體有限公司
文檔號(hào)碼：201621493497
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.09.26