技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種有效防止?fàn)t膛冷點(diǎn)的加熱模塊,包括保溫護(hù)罩和設(shè)置在保溫護(hù)罩內(nèi)壁上的電熱合金絲,所述電熱合金絲的兩端分別引出埋藏在保溫護(hù)罩兩端內(nèi)的上電極和下電極,上電極和下電極的自由端分別連接引出電極。本實(shí)用新型把上電極和下電極設(shè)計成特殊的U形或C形,引出電極開槽形成弓字形,利用自身發(fā)熱的特性,同時降低其熱導(dǎo)性,消除生長爐溫場由于電極引出產(chǎn)生的“冷點(diǎn)”,大大提高了爐膛溫場的徑向溫度均勻性,解決了單晶的生長在徑向橫截面的溫度不均勻問題。而每個加熱模塊可獨(dú)立溫控,一個加熱爐可以組合不同高度的多個加熱模塊,實(shí)現(xiàn)任意的溫場曲線,適應(yīng)各種需要特殊的溫度曲線的加熱爐。
技術(shù)研發(fā)人員:李照存
受保護(hù)的技術(shù)使用者:昆明沃特爾機(jī)電設(shè)備有限公司
文檔號碼:201621426149
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.23
技術(shù)公布日:2017.07.11