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一種具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐的制作方法

文檔序號:11542486閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,包括加熱爐(1)、爐架(6)和長晶裝置,所述的加熱爐(1)設(shè)置于爐架(6)上,所述的加熱爐(1)底部設(shè)置長晶裝置,且長晶裝置的長晶桿(3c)伸入加熱爐(1)內(nèi),其特征在于:所述的長晶裝置之長晶桿(3c)聯(lián)接設(shè)置于爐架(6)上長晶桿控制機(jī)構(gòu)(3),所述的長晶桿(3c)底部通過驅(qū)動座(4)聯(lián)接長晶桿控制機(jī)構(gòu)(3),所述的長晶桿(3c)通過驅(qū)動座(4)設(shè)置于恒張力裝置(5)之上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的長晶桿控制機(jī)構(gòu)(3)包括立柱(3d)、驅(qū)動桿(3b)、導(dǎo)軌(3a)、驅(qū)動電機(jī)(3e),所述立柱(3d)的兩端固接于爐架(6)上,立柱(3d)上設(shè)置驅(qū)動桿(3b)和導(dǎo)軌(3a),所述的驅(qū)動桿(3b)與驅(qū)動電機(jī)(3e)驅(qū)動配合,所述的驅(qū)動座(4)動配合通過導(dǎo)軌(3a)與長晶桿(3c)驅(qū)動配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的恒張力裝置(5)包括缸體(5a)、活塞桿(5c)、缸蓋(5d)、導(dǎo)液管口(5b),所述的缸體(5a)設(shè)置于爐架(6)下方,所述的缸體(5a)底部設(shè)置導(dǎo)液管口(5b),缸體(5a)頂部設(shè)置缸蓋(5d),活塞桿(5c)與缸體(5a)動配合,其自由端通過平衡支撐球(7)與驅(qū)動座(4)支撐配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的驅(qū)動座(4)之縱向臂頂部固接長晶桿(3c),底部通過平衡支撐球(7)聯(lián)接恒張力裝置(5)之活塞桿(5c);驅(qū)動座(4)之橫臂聯(lián)接導(dǎo)軌(3a)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的驅(qū)動座(4)與長晶桿(3c)底端快接式緊固接配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的驅(qū)動桿(3b)為精密滾珠驅(qū)動桿。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的活塞桿(5c)頂端設(shè)置限位槽(8),與相應(yīng)設(shè)置于驅(qū)動座(4)之縱臂下端的限位槽(8)呈抱持式配合,共同與平衡支撐球(7)支撐配合。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的恒張力裝置(5)設(shè)置于爐架(6)的底梁上,且恒張力裝置(5)之活塞桿(5c)與長晶桿(3c)同軸設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的平衡支撐球(7)為高耐磨高強(qiáng)度剛性球。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有長晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長爐,其特征在于:所述的限位槽(8)圓錐形槽或弧形槽。

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