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技術(shù)編號(hào)：11542486

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本實(shí)用新型屬于晶體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有長(zhǎng)晶桿壓力均衡與保護(hù)功能的晶體生長(zhǎng)爐。背景技術(shù)晶體生長(zhǎng)壓力爐在進(jìn)行育晶工作時(shí)，晶體生長(zhǎng)壓力爐內(nèi)的長(zhǎng)晶桿需要承受爐膛內(nèi)的壓力，由于長(zhǎng)晶桿在育晶過(guò)程中需要上下移動(dòng)，目前的長(zhǎng)晶桿只能承受30-40kg的力，當(dāng)爐膛內(nèi)的壓力超出長(zhǎng)晶桿的受力范圍，會(huì)導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)電機(jī)無(wú)法驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)晶桿移動(dòng)，長(zhǎng)晶桿受力時(shí)會(huì)產(chǎn)生震動(dòng)和變形，最終使長(zhǎng)晶桿損壞，嚴(yán)重影響育晶工作的進(jìn)行；一方面，晶體生長(zhǎng)時(shí)對(duì)長(zhǎng)晶桿部件的減震要求特別高，而實(shí)際生產(chǎn)證明晶體越接近于相對(duì)平靜生長(zhǎng)狀態(tài)下，越有助于生長(zhǎng)...
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