1.一種單晶爐底部加熱器,其特征在于,包括中心盤,若干加熱單元,所述加熱單元均一端固接于所述中心盤,各所述加熱單元自中心盤軸向向外延伸,所述加熱單元包括加熱板和纏繞所述加熱板的加熱絲,加熱板固接于所述中心盤的一端處纏繞所述加熱板的加熱絲的密度小于所述加熱板固接于所述軸向向外延伸的末端處纏繞所述加熱板的加熱絲的密度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐底部加熱器,其特征在于,所述加熱板為蛇形鎢加熱板(2),所述蛇形鎢加熱板(2)開(kāi)有若干依次相鄰的槽口,所述加熱絲纏繞于所述依次相鄰的槽口上,所述蛇形鎢加熱板(2)固接于所述中心盤一端的相鄰槽口間距大于所述蛇形鎢加熱板(2)向外延伸末端的相鄰槽口間距。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐底部加熱器,其特征在于,還包括若干與各所述加熱單元一一對(duì)應(yīng)的四邊形鎢卡環(huán)(4)和若干與各所述四邊形鎢卡環(huán)(4)一一對(duì)應(yīng)的四邊形鎢卡塊(1),所述加熱單元的蛇形鎢加熱板(2)向外延伸的末端插入對(duì)應(yīng)的所述四邊形鎢卡環(huán)(4),所述對(duì)應(yīng)的四邊形鎢卡塊(1)插入對(duì)應(yīng)的所述四邊形鎢卡塊(4)固定所述加熱單元的蛇形鎢加熱板(2)向外延伸的末端。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐底部加熱器,其特征在于,還包括若干與各所述四邊形鎢卡環(huán)(4)一一對(duì)應(yīng)的鎢電極爪(1),所述鎢電極爪接合固定相對(duì)應(yīng)的所述四邊形鎢卡環(huán)(4)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐底部加熱器,其特征在于,還包括若干與各所述加熱單元一一對(duì)應(yīng)的四邊形鎢卡環(huán)(4)和若干與各所述四邊形鎢卡環(huán)(4)一一對(duì)應(yīng)的四邊形鎢卡塊(1),所述四邊形鎢卡環(huán)(4)均固接于所述中心盤,所述加熱單元的蛇形鎢加熱板(2)固接至中心盤的一端均插入對(duì)應(yīng)的所述四邊形鎢卡環(huán)(4),所述對(duì)應(yīng)的四邊形鎢卡塊(1)插入對(duì)應(yīng)的所述四邊形鎢卡塊(4)固將所述加熱單元均一端固接于所述中心盤。
6.一種單晶爐底部加熱器,其特征在于,包括中心盤和環(huán)繞所述中心盤的加熱單元,所述中心盤底部單位面積的加熱功率小于所述加熱單元底部單位面積的加熱功率。