本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域設(shè)備，具體是一種晶棒材料合成的固定結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

晶棒材料合成的傳統(tǒng)工藝為將半導(dǎo)體材料放入密閉的石英管內(nèi)抽成真空，將石英管固定在熔煉管架內(nèi)，然后推入熔煉合成爐進行高溫搖擺熔煉，得到需要的半導(dǎo)體合成材料。

材料熔煉時溫度高、時間長，石英管不容易固定，經(jīng)常會造成石英管與熔煉管架相碰。由于爐內(nèi)外溫差大，石英管管壁較薄，內(nèi)部的材料比較重，石英管特別容易破裂。如果石英管破裂，高溫材料會直接從破裂的石英管落入熔煉合成爐，造成材料直接報廢和燒毀設(shè)備。所以在半導(dǎo)體材料高溫搖擺熔煉過程中，石英管消耗量大，生產(chǎn)成本非常高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決石英管固定和易碎的問題。

為達到上述發(fā)明目的，提供一種晶棒材料合成的固定結(jié)構(gòu)，包括石英管和用來安放石英管的熔煉管架，還包括用來夾持石英管的墊塊和保溫襯材；所述墊塊分別抵靠住石英管兩側(cè)，所述墊塊的夾持面適配石英管的兩側(cè)形成凹面；所述保溫襯材的一邊固定于墊塊凹面上方的夾持面上，且該邊與其余各邊形成的區(qū)域覆蓋住該墊塊的凹面。

優(yōu)選的，所述保溫襯材分別貼覆固定于兩側(cè)墊塊的凹面表面。

優(yōu)選的，還包括保溫布，所述保溫布的兩條對邊分別固定于兩側(cè)墊塊上保溫襯材的邊緣。

優(yōu)選的，所述保溫布與保溫襯材一體制成。

優(yōu)選的，所述保溫布采用耐高溫纖維布制成。

優(yōu)選的，所述保溫襯材采用耐高溫纖維布制成。

優(yōu)選的，所述墊塊采用耐高溫陶瓷制成。

優(yōu)選的，所述墊塊卡套于コ型的外套中，所述外套底部的橫板下設(shè)置有與所述熔煉管架間隙相匹配的螺紋孔。

外套具有一定的彈性，并且開口方向朝向石英管，使得墊塊在方便地卡入后能夠緊緊地卡住，不易滑脫。

設(shè)置墊塊及其上保溫襯材，通過固定住墊塊從而固定住石英管，石英管在保溫襯材的緩沖下，不易被夾碎。

保溫襯材貼覆固定，保證石英管夾持時與保溫襯材、墊塊緊密地固定，此時的保溫襯材能起到增大摩擦，防止意外滑脫的作用。

保溫布與保溫襯材的邊緣固定，將石英管兜住，防止碎裂后污染設(shè)備。同時由于保溫特性，在入爐和出爐時不至于溫差過大，導(dǎo)致碎裂。

保溫布與保溫襯材一體制成，提高兩者之間的強度，防止兩者之間連接脫落，導(dǎo)致保溫布的作用失效。

耐高溫纖維布具有較好的孔隙率和保溫性能，能完整地實現(xiàn)保溫布與保溫襯材的效果，并且價格低廉。

耐高溫陶瓷，相較爐內(nèi)常用的石墨材料，結(jié)構(gòu)性能更好。表面不容易氧化產(chǎn)生粉末脫落，外形較為固定，單架較低，能持續(xù)固定住石英管，降低石英管熔煉管架相碰的風(fēng)險。

コ型的外套與熔煉管架之間通過螺栓緊固，所述螺栓的螺桿穿過熔煉管架間隙，插入螺紋孔，緊固后螺栓頭部壓在熔煉管架上，從而將熔煉管架與外套固定緊密，同時也不會對墊塊產(chǎn)生較大的局部應(yīng)力。使墊塊不容易碎裂，大大延長了墊塊的使用壽命。

本實用新型的有益效果是大大降低了材料合成過程石英管破裂和燒毀設(shè)備的風(fēng)險；同時又降低了生產(chǎn)成本和提高生產(chǎn)人員的效率。

附圖說明

圖1為本實用新型固定結(jié)構(gòu)的示意圖圖

其中：

1-石英管 2-熔煉管架 3-墊塊

4-保溫襯材 5-保溫布 6-外套

具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例，對本實用新型做進一步說明。

根據(jù)圖1所示的一種晶棒材料合成的固定結(jié)構(gòu)，包括石英管1和用來安放石英管1的熔煉管架2，還包括用來夾持石英管1的墊塊3和保溫襯材4；所述墊塊3分別抵靠住石英管1兩側(cè)，所述墊塊3的夾持面適配石英管1的兩側(cè)形成凹面；所述保溫襯材4的一邊固定于墊塊3凹面上方的夾持面上，且該邊與其余各邊形成的區(qū)域覆蓋住該墊塊3的凹面。

所述保溫襯材4分別貼覆固定于兩側(cè)墊塊3的凹面表面。

還包括保溫布5，所述保溫布5的兩條對邊分別固定于兩側(cè)墊塊3上保溫襯材4的邊緣。

所述保溫布5與保溫襯材4一體制成。

所述保溫布5和保溫襯材4采用耐高溫纖維布制成。

所述墊塊3采用耐高溫陶瓷制成。

所述墊塊3卡套于コ型的不銹鋼外套6中，所述外套6底部的橫板下設(shè)置有與所述熔煉管架2間隙相匹配的螺紋孔。用螺栓的螺桿穿過熔煉管架2間隙，插入螺紋孔，緊固后螺栓頭部壓在熔煉管架2上，從而將熔煉管架2與外套6固定緊密。

外套6具有一定的彈性，并且開口方向朝向石英管1，使得墊塊3在方便地卡入后能夠緊緊地卡住，不易滑脫。

在一種實施例中(圖中未示出，但是根據(jù)描述本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解)，所述保溫布5的兩條對邊分別固定于兩側(cè)墊塊3上保溫襯材4的下部邊緣，從而可以托住石英管1碎裂后的物質(zhì)，防止污染。

在如圖1所示的另一種實施例中，保溫布5的兩條對邊分別將兩側(cè)墊塊3上保溫襯材4的邊緣全部固定住，從而可以從360°全面防護石英管1碎裂后的物質(zhì)的掉落。

保溫布5一般選用矩形的耐高溫纖維布時，但并不排斥選擇其他形狀也能實現(xiàn)托住碎裂后的物質(zhì)的形狀和材質(zhì)。比如六邊形的石棉，網(wǎng)狀多邊形的巖棉布、防火布等。

實際使用時，熔煉管架2固定在熔煉合成爐臺面上，熔煉管架2上安裝陶瓷墊塊3，一只陶瓷墊塊3上裝入石英管1的一端，使石英管1的一端和該陶瓷墊塊3的凹面吻合。拉開保溫布5，并將石英管1裝入另一只陶瓷墊塊3，使石英管1的另一端和該陶瓷墊塊3的凹面吻合。通過外套6將兩只陶瓷墊塊3固定在熔煉管架2上。將石英管1推入熔煉合成爐進行晶棒材料合成。

以上已對本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例進行了具體說明，但本實用新型創(chuàng)造并不限于所述的實施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本實用新型創(chuàng)造精神的前提下還可以作出種種的等同的變型或替換，這些等同變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。