技術(shù)編號(hào):11600498
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域設(shè)備,具體是一種晶棒材料合成的固定結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)晶棒材料合成的傳統(tǒng)工藝為將半導(dǎo)體材料放入密閉的石英管內(nèi)抽成真空,將石英管固定在熔煉管架內(nèi),然后推入熔煉合成爐進(jìn)行高溫?fù)u擺熔煉,得到需要的半導(dǎo)體合成材料。材料熔煉時(shí)溫度高、時(shí)間長(zhǎng),石英管不容易固定,經(jīng)常會(huì)造成石英管與熔煉管架相碰。由于爐內(nèi)外溫差大,石英管管壁較薄,內(nèi)部的材料比較重,石英管特別容易破裂。如果石英管破裂,高溫材料會(huì)直接從破裂的石英管落入熔煉合成爐,造成材料直接報(bào)廢和燒毀設(shè)備。所以在半導(dǎo)體材料高溫?fù)u擺熔煉過(guò)程中,...
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