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多晶硅鑄錠爐保護(hù)氣熱循環(huán)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11299871閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種多晶硅鑄錠爐保護(hù)氣熱循環(huán)系統(tǒng),所述鑄錠爐包括:爐體,所述爐體上設(shè)置有進(jìn)氣管,所述爐體內(nèi)設(shè)置有保溫護(hù)罩,所述保溫護(hù)罩內(nèi)設(shè)置有坩堝、對(duì)應(yīng)所述坩堝的石墨護(hù)罩、對(duì)應(yīng)所述石墨護(hù)罩的頂部加熱器及側(cè)部加熱器以及位于所述石墨護(hù)罩底部的散熱平臺(tái),所述頂部加熱器與側(cè)部加熱器由安裝在所述爐體頂部的外部加熱銅電極控制以實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨護(hù)罩頂部及側(cè)部的外部加熱,所述保溫護(hù)罩及散熱平臺(tái)通過設(shè)置在所述爐體底部的石墨支柱來支撐,所述散熱平臺(tái)支撐所述石墨護(hù)罩;

其特征在于,所述進(jìn)氣管的出口處設(shè)置有高純度耐高溫材質(zhì)制備的螺旋槳,通過進(jìn)氣管的高速保護(hù)氣氣流沖擊螺旋槳后使螺旋槳旋轉(zhuǎn),進(jìn)而使得進(jìn)入所述石墨護(hù)罩腔室內(nèi)的保護(hù)氣形成有效的螺旋流動(dòng),并進(jìn)一步帶動(dòng)硅液流動(dòng)而有效排出硅液內(nèi)部雜質(zhì);所述石墨護(hù)罩包括石墨底板、石墨側(cè)板及石墨蓋板,所述石墨底板支撐所述坩堝;所述進(jìn)氣管通過所述石墨蓋板連通至所述石墨護(hù)罩內(nèi)部空間,所述石墨側(cè)板與石墨蓋板上設(shè)置有所述排氣孔,所述排氣孔排出的尾氣經(jīng)設(shè)置的集氣罩集氣后通過排氣管排出至所述爐體外部,并導(dǎo)入至熱交換器對(duì)尾氣進(jìn)行熱交換處理;經(jīng)過所述熱交換器處理的尾氣導(dǎo)入吸收器的吸收液內(nèi),且所述吸收器具有攪拌器用于攪拌吸收液;經(jīng)吸收后的尾氣經(jīng)干燥器干燥后導(dǎo)入至尾氣回收罐,尾氣回收罐內(nèi)的保護(hù)氣經(jīng)導(dǎo)氣管引出并經(jīng)過所述熱交換器并與尾氣實(shí)現(xiàn)熱交換預(yù)熱后進(jìn)入所述進(jìn)氣管,經(jīng)所述進(jìn)氣管及螺旋槳循環(huán)進(jìn)入所述石墨護(hù)罩腔室內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐保護(hù)氣熱循環(huán)系統(tǒng),其特征在于,所述石墨側(cè)板的排氣孔設(shè)置在高于所述坩堝上邊緣的位置處;所述石墨蓋板的排氣孔對(duì)應(yīng)開設(shè)在所述集氣罩的下方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐保護(hù)氣熱循環(huán)系統(tǒng),其特征在于,所述石墨側(cè)板通過長(zhǎng)度方向的卡槽與所述石墨底板周向凸出的卡塊卡合連接;所述石墨底板上位于周向的卡塊內(nèi)側(cè)設(shè)置有集液槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅鑄錠爐保護(hù)氣熱循環(huán)系統(tǒng),其特征在于,所述集液槽呈方形環(huán)狀,所述集液槽的外側(cè)壁沿高度方向與所述石墨側(cè)板的內(nèi)側(cè)壁平齊,所述集液槽的內(nèi)徑小于所述坩堝的外徑。

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