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一種改善單晶硅太陽電池絨面的制備方法及制備工具與流程

文檔序號:12579236閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種改善單晶硅太陽電池絨面的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟一:將裝有單晶硅太陽電池硅片置于溫度為60℃,質(zhì)量濃度為10%的NH4F水溶液的處理槽中,同時將臭氧氣體通入NH4F溶液中,去除單晶硅太陽電池硅片硅片表面的臟污和有機(jī)物。

步驟二:將處理后的制備工具置于質(zhì)量濃度為1%~3%的NaOH和質(zhì)量濃度25%的表面活化劑、質(zhì)量濃度為15%的絨面催化劑和質(zhì)量濃度為10%絨面緩蝕劑的制絨添加劑混合溶液中。

步驟三:將制絨后的制備工具放入質(zhì)量濃度為5%~10%的HCl和質(zhì)量濃度為5%~10%的HF混合液中清洗單晶硅太陽電池硅片表面,且混合液比例為1:1;之后用水漂洗硅片表面的酸,經(jīng)慢提拉工藝,使硅片表面充分脫水。

步驟四:將酸洗后的制備工具采用5N純度的氮?dú)夂娓?,烘干溫度?00~500℃,烘干時間為300~600s;進(jìn)行烘干后,取出單晶硅太陽電池硅片。

2.如權(quán)利要求1所述的一種改善單晶硅太陽電池絨面的制備方法,其特征在于,所述用于制造臭氧的臭氧發(fā)生器容積為1.2L,氧氣流量為25sccm。

3.如權(quán)利要求1所述的一種改善單晶硅太陽電池絨面的制備方法,其特征在于,通過調(diào)節(jié)藥液溫度、藥液配比以及外加電源的電流強(qiáng)度來控制絨面的形貌。

4.一種基于權(quán)利要求1所述制備方法所使用的改善單晶硅太陽電池絨面的制備工具,其特征在于,包括石墨板和陶瓷桿;若干所述石墨板之間相互平行層疊排列;石墨板上設(shè)有若干通孔,且通孔軸線與石墨板平面相互垂直;陶瓷桿穿過若干石墨板上對應(yīng)位置的通孔,將若干石墨板相互串接;石墨板上設(shè)有若干凹槽,,單晶硅太陽電池片置于凹槽中;凹槽邊設(shè)有硅片卡點(diǎn),通過硅片卡點(diǎn)將單晶硅太陽電池硅片固定在凹槽里;石墨板對稱的兩邊設(shè)有凸起;凸起上設(shè)有石墨螺絲,作為陽極。

5.如權(quán)利要求1所述的一種改善單晶硅太陽電池絨面的制備工具,其特征在于,所述陶瓷桿穿過平行排列的石墨板上的通孔,并通過石墨螺絲將陶瓷桿和石墨板之間相互固定。

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