技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種獲得液體硅的方法及實現(xiàn)該方法的坩堝,該方法采用同步熔化助溶劑的方式獲得高碳溶解度的液體硅溶液,實現(xiàn)該方法的坩堝包括坩堝體,所述坩堝體內(nèi)壁上設(shè)置有凹槽,所述凹槽一端設(shè)置有擋板,所述凹槽末端底部均勻設(shè)置有小細孔;采用這種方法和相應(yīng)結(jié)構(gòu)的坩堝,可以解決制備碳化硅過程中助溶劑熔點不同導(dǎo)致熔化不同步的問題,使熔化的區(qū)間縮短,形成固定化學(xué)配比的液態(tài)硅溶液,提高碳的溶解度,保證晶體的快速生長。
技術(shù)研發(fā)人員:朱燦;李斌;張亮
受保護的技術(shù)使用者:山東天岳晶體材料有限公司
文檔號碼:201610835100
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.19
技術(shù)公布日:2017.03.22