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頂噴式噴淋蝕刻機的制作方法

文檔序號:11928121閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.頂噴式噴淋蝕刻機,包括蝕刻機本體及與蝕刻機本體相連接的藥液循環(huán)系統(tǒng),其特征在于:

所述蝕刻機本體由依次連接組裝在一起的過渡區(qū)、清洗區(qū)、蝕刻區(qū)三部分組成;所述過渡區(qū)與所述清洗區(qū)之間裝設(shè)清洗區(qū)開關(guān)門,所述清洗區(qū)與所述蝕刻區(qū)之間裝設(shè)蝕刻區(qū)開關(guān)門,清洗區(qū)上部固定裝設(shè)噴淋裝置、清洗區(qū)排氣管道,蝕刻區(qū)上部移動裝設(shè)噴淋裝置、蝕刻區(qū)排氣管道,過渡區(qū)的下部裝設(shè)伺服驅(qū)動電機,所述伺服驅(qū)動電機與貫穿裝設(shè)在過渡區(qū)、清洗區(qū)下部的同步帶傳送裝置驅(qū)動連接,所述蝕刻機本體下部還設(shè)置有貫穿過渡區(qū)、清洗區(qū)與和蝕刻區(qū)的滑軌,所述滑軌與同步帶傳送裝置共同對蝕刻籃具推送;還包括一推桿,所述推桿用于連接同步帶傳送裝置與蝕刻籃具;還包括一防水蓋,所述防水蓋裝設(shè)在同步帶傳動裝置上,用于隔離清洗區(qū)的水液;

所述藥液循環(huán)系統(tǒng)主要由DI水罐體、化學(xué)藥液罐體、加熱槽以及與蝕刻機本體相連接的管道、閥門以及壓力泵組成,所述化學(xué)藥液罐體上設(shè)置有液位指示器、冷卻水連接器、恒溫傳感裝置、照明燈、藥液溢流口及回酸管口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂噴式噴淋蝕刻機,其特征在于:所述蝕刻機本體底部采用不銹鋼焊接成框架,表面環(huán)氧樹脂處理后采用PVC材料包裹而成,過渡區(qū)、清洗區(qū)、蝕刻區(qū)的腔體采用PVC材質(zhì)焊接制作。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂噴式噴淋蝕刻機,其特征在于:所述清洗區(qū)開關(guān)門由設(shè)置在清洗區(qū)進料側(cè)的驅(qū)動電機、導(dǎo)向輪以及齒輪齒條機構(gòu)共同控制。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂噴式噴淋蝕刻機,其特征在于:所述蝕刻區(qū)開關(guān)門由設(shè)置在蝕刻區(qū)進料側(cè)的驅(qū)動電機、導(dǎo)向輪以及齒輪齒條機構(gòu)共同控制。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂噴式噴淋蝕刻機,其特征在于:所述噴淋裝置主要由橫縱管圍成的矩形管及設(shè)置在矩形管之間的數(shù)個噴淋管組成,噴淋管的下方設(shè)置數(shù)個均布的可拆卸噴嘴單元,噴淋管兩端設(shè)置有快速拆裝的由令,矩形管下方連接有進液管,進液管下方設(shè)置有快速拆裝的活接頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂噴式噴淋蝕刻機,其特征在于:所述伺服驅(qū)動電機輸出端連接有減速器,減速器輸出端連接有同步帶輪,同步帶輪通過同步帶與同步帶傳送裝置相配合。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂噴式噴淋蝕刻機,其特征在于:所述化學(xué)藥液罐體數(shù)量為2個,DI水罐體數(shù)量為2個,加熱槽數(shù)量為2個。

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