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金屬摻雜石墨烯及其成長方法與流程
文檔序號:11258519
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金屬摻雜石墨烯及其成長方法與流程
技術特征:
技術總結
一種金屬摻雜石墨烯及其成長方法。所述金屬摻雜石墨烯包括石墨烯與金屬元素,其中金屬元素占金屬摻雜石墨烯總含量的1at%到30at%。所述成長方法包括以碳前驅物、金屬前驅物以及VI族前驅物,經等離子體化學氣相沉積法(PECVD)成長金屬摻雜石墨烯。
技術研發(fā)人員:
黃昆平;季宇文
受保護的技術使用者:
財團法人工業(yè)技術研究院
技術研發(fā)日:
2016.04.27
技術公布日:
2017.09.19
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