技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種多晶硅溶液液面距定位方法，包括：密封單晶爐的主爐室和副爐室，對(duì)單晶爐的主爐室和副爐室抽真空，并加熱坩堝內(nèi)的多晶硅，在密封單晶爐的主爐室和副爐室之前，所述方法還包括：確定導(dǎo)流筒的下沿的位置；坩堝內(nèi)的多晶硅完全熔化后，所述方法還包括：下降籽晶，并根據(jù)導(dǎo)流筒的下沿的位置和預(yù)設(shè)的液面距m控制籽晶下降的距離；其中，液面距m是指坩堝內(nèi)多晶硅溶液液面與導(dǎo)流筒的下沿之間的距離；該方法可以準(zhǔn)確定位多晶硅溶液液面距，使得多晶硅溶液液面距的定位不再依賴(lài)操作員的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行，提高準(zhǔn)確性和可靠性，從而固化拉晶工藝；此外，該方法操作簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)，適用范圍廣泛。

技術(shù)研發(fā)人員：王保勝;何紫平;孫喜良;郭振宇;馬衛(wèi)康;翟勝濤;蘇金玉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：特變電工新疆新能源股份有限公司
文檔號(hào)碼：201510482493
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.07
技術(shù)公布日：2017.02.22