技術編號：12252066
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能行業(yè)單晶硅棒及硅芯的生產技術領域，具體涉及一種多晶硅溶液液面距定位方法。背景技術半導體硅單晶大部分采用切克勞斯基法(簡稱直拉法)制造。在利用直拉法制造半導體單晶硅硅棒過程中，多晶硅被裝進石英坩堝內，加熱熔化，經過穩(wěn)定化后，將籽晶引入單晶爐內，并經過引晶、放肩、轉肩、等徑、收尾等一系列工序完成一支單晶硅硅棒的拉制。由于在單晶硅硅棒生產工藝中，坩堝內多晶硅溶液液面與導流筒下沿之間的距離(即液面距)，是決定單晶硅硅棒品質的重要參數，液面距的大小直接影響單晶硅硅棒中碳元素和氧元素的含量及...
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